【課題】成膜室の小型化、さらには成膜装置の小型化を実現し、成膜した膜厚分布を良好にすることができ、気化量を多くして成膜のスループットを向上させることである。
【解決手段】液体原料を気化し、基板Ｗ上に堆積させて成膜する成膜装置１であって、基板Ｗを内部に保持する成膜室２と、前記成膜室２に位置を異ならせて配置され、同一の液体原料を前記成膜室２内に直接噴射して、減圧沸騰させることにより、前記液体原料を気化して供給する複数の噴射弁３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】噴射弁３の異常を容易に把握するとともに、噴射弁３のメンテナンス時期を容易に把握することである。
【解決手段】液体原料を気化し、基板Ｗ上に堆積させて成膜するものであって、前記基板Ｗを内部に保持する成膜室２と、当該成膜室２内に前記液体原料又は気体を噴射する噴射弁３と、当該噴射弁３に液体原料又は気体を供給する供給路と、当該供給路上に設けられ、前記噴射弁３に供給される液体原料又は気体の流量を検出する流量計５とを備えた成膜装置１における前記噴射弁３の異常判断方法であって、前記噴射弁３を用いたときの前記供給路における前記液体原料又は気体の流量を測定する測定ステップと、前記測定ステップの測定流量と、正常な噴射弁３を用いたときの前記供給路における前記液体原料又は気体の基準流量とを比較して、その比較結果をパラメータとして、前記噴射弁３の異常を判断する異常判断ステップと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】高温用として使用可能でありながらも小型化や組立易さを改善でき且つトータルコストを削減できるといった優れた静電容量式圧力センサ装置を提供する。
【解決手段】ガスの圧力を感知する静電容量式のセンサ２と、このセンサ２を加熱するヒータＨと、センサ２の値から外部のチャンバのガスの圧力を表す出力信号を発生する回路部３と、センサ２およびヒータＨを収容するセンサ収容部４ａと、回路部３を収容する回路収容部４ｂと、これら各収容部を間仕切り且つヒータＨで発生した熱が回路収容部４ｂに伝熱することを防止する伝熱防止部４ｃとを備えるケース４と、センサ２と回路部３とを電気的に接続するとともに、センサ２と回路部３とを安定支持する構造体としての機能および伝熱防止部４ｃと少なくとも同程度に各収容部間の伝熱を防止する伝熱防止体としての機能のうち少なくともいずれか一方の機能を有するコネクタ５とを具備して成るようにした。 （もっと読む）

【課題】膜品質を担保でき、しかも装置の小型化や低コスト化を図ることができる成膜装置を提供する。
【解決手段】基板２を内部に収容する成膜室３と、その基板２から所定距離離間させて配置され、成膜原料を前記成膜室３内に液体状態で噴射する噴射弁４と、を備えてなり、前記噴射弁４に設けられた噴射孔Hの横断面形状が、短手方向にはほぼ一定寸法であるとともに、長手方向には奥から出口に近づくほど徐々に拡開し、出口近傍において少なくとも細長い帯状をなすように構成した。 （もっと読む）

【課題】 締付けトルク管理等の取付作業者のスキルに左右されることなく、ネジ止め時に発生する応力歪の伝達を抑制して計測精度、質量流量制御精度の向上を図ることができ、かつ、全体の軽量化も図ることができるようにする。
【解決手段】 複数の凹部５内に静電容量型圧力計３を収容配置して固定し、肉厚部には各圧力計３に流体圧力を作用させるための流体流路１０ａ〜１０ｄが形成されている直方体形状のボディブロック２のうち、圧力計３の固定保持部分２Ａ及び流体流路１０ａ〜１０ｄ外周の取り囲み部分２Ｂを除く残りの肉厚部分２Ｄが切り落とし除去され、かつ、複数の圧力計３の固定保持部分２Ａに対応させてマスフローコントローラの本体ボックスもしくはパネル１１へのネジ止め固定用の複数の取付部１２ａ〜１２ｃを形成している。
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【課題】 限られた占有スペース内で必要なコンダクタンスを精度よく求めて、所定のガス流量を安定よく、かつ、再現性よく設定することができるガス流量制御方法を提供する。
【解決手段】 ガス配管２の途中に設けられる流量制限部材８に、予め設定された径及び長さで、かつ、角部のない切り溝１５を機械加工することによってコンダクタンスを所定の公式に基いて算出可能な単一の制限流路１６を形成し、その単一制限流路１６によるコンダクタンスＣと圧力差（Ｐ１−Ｐ２）とにより、プロセスチャンバー１へ供給されるガス流量Ｑを設定する。
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【課題】流量設定値の変化に対する追随速度を犠牲にすることなく、圧力変動が生じても流量変動を抑制でき、クロストークが生じ得るようなシステムにも採用できるコントローラの提供。
【解決手段】流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部２と、その流量センサ部２の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ３と、前記流量測定信号から得られる流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部６と、前記フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブ３に出力する開度制御信号出力部７と、を備えたものにおいて、前記比例演算におけるゲイン値を算出するための関数を、前記流量設定値を所定量以上変化させた時点からの所定期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間とにおいて異ならせた。 （もっと読む）

【課題】 外来ノイズの機器内への侵入を効果的に防止して機器動作やデータ伝送等への悪影響を最小限に抑えることができるようにする。
【解決手段】 デバイスネット機器１とパソコンなどの本体とを信号線５を介して接続するために機器シャーシ３に固定されるＩＥＣ準拠の金属製コネクタ４に、信号線５とシャーシ３間をＡＣ結合するコンデンサ１３を実装してなるノイズ対策基板１０を取り付けることによって、外来ノイズがデバイスネット機器１の内部ケーブル６へ侵入することを抑制するように構成している。
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【課題】 シールリング締付面の研磨作業性の向上を図るとともに、感圧部の損傷や汚損、さらにはシールリング締付面の研磨不良をなくして圧力計測性能、品質および製品歩留まりの著しい向上を達成することができるようにする。
【解決手段】 ケース本体３から外方へ突出する環状フランジ部５のうち、シールリング締付面５ａを有する外周側フランジ部分５Ａをケース本体３に一体形成された内周側フランジ部分５Ｂと別体とし、この別体外周側フランジ部分５Ａのシールリング締付面５ａを研磨により鏡面化した上、この外周側フランジ部分５Ａを内周側フランジ部分５Ｂに一体接合することにより、所定の突出幅の環状フランジ部５を有する静電容量型圧力計１を組立構成している。
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【課題】 最小限の機器を用いてコストの増大を抑えつつ、製造プロセスの圧力条件いかんにかかわらず最適な測定環境圧力のもとで高感度・高精度な分析を実現でき、かつ、分析計自体の耐久性向上も図れるようにする。
【解決手段】 減圧下の製造プロセスを経たプロセスガスを吸引し排気する排気系統２に介在される真空ポンプ３を、ガス排気方向に直列配置して各圧縮室６隔壁９で区画してなる複数段のルーツポンプ３Ａ〜３Ｅから構成し、これら複数段のルーツポンプ３Ａ〜３Ｅにおける圧縮室６の排気口の何れか一つに選択的に接続可能とした赤外線ガス分析計４によりガス成分を測定するように構成している。
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