【課題】投影露光装置において、広い露光エリアを確保しながら、高精度のパターンを形成する。
【解決手段】投影露光装置の投影光学系３０において、第１レンズ群３２、第２レンズ群３４、第３レンズ群３６、第４レンズ群３８を備え、第１レンズ群３２と第２、３レンズ群３４、３６との間に、偏光ビームスプリッタ４０を配置する。そして、マスクＰＭの光軸上点からのマージナル光線ＭＬ１、ＭＬ２が偏光ビームスプリッタ４０の入射面に対し垂直入射するように、第１レンズ群３２の光学特性が定められている。 （もっと読む）

【課題】 結像性への影響を最小限に抑えつつ被照明面での照明むらを容易に調整できる補正光学系を備える照明光学系を提供する。
【解決手段】 照明光学系１は光源１１からの照射光がインテグレータ光学系１４を経てコンデンサレンズ１７に入射して被照明面２０に導かれる。この照明光学系１に、照度むらを補正するために、インテグレータ光学系１４の出射側に補正光学系１５を配置する。補正光学系１５は、２つの屈折光学素子１５ａ、１５ｂを有していて、屈折光学素子１５ｂは光軸に対して移動可能である。 （もっと読む）

【課題】エキシマランプにおいて、発光効率を高める。
【解決手段】誘電体バリア放電によって発光するエキシマランプにおいて、エキシマランプ１０の発光管２０内部に内側電極４０を配置させ、発光管２０の外部に、網状構造の外側電極３０を配置する。外側電極３０は、接触部Ｓ１、Ｓ２において発光管２０と接触し、発光管２０と外側電極３０との間に絶縁空間（非放電領域）６０Ａ、６０Ｂが形成されるように、その断面形状が楕円状に形成される。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤ光源装置を用いた露光装置において、高照度化を図る。
【解決手段】露光装置などにおいて使用されるＬＥＤ光源装置２０は、ＬＥＤ４０Ａ〜４０Ｆを支持部材３２の各側面に配置したＬＥＤユニット３０と、リフレクター１２Ａ〜１２Ｆから構成される反射部１２とを備える。そして、リフレクター１２Ａ〜１２Ｆは一体的に形成されておらず、それぞれＬＥＤ４０Ａ〜４０Ｆの配置された側面に沿って個別に取り付け調整されている。 （もっと読む）

【課題】放電ランプに対し、適切な照度測定に基づいて安定した定照度点灯を実現する。
【解決手段】ランプ点灯部が、低周波矩形波点灯方式に従って交流ランプ電流を放電ランプに供給し、放電ランプを交流作動させる。そして、反転型の合成波形信号（波形補正信号）に基づき、ＤＣ／ＤＣコンバータからフルブリッジ回路へ送られる直流電流量をＰＷＭ制御によって調整する。その結果、半周期開始直後に極大電流値ＰＭ、その直後に極小電流値ＰＮをもち、半周期終了直前に最小電流値ＫＮ、そして最大電流値ＫＭをもつ交流ランプ電流Ｐが生成される。 （もっと読む）

【課題】エキシマランプにおいて、紫外線およびオゾンを適切に発生させる。
【解決手段】外管３０と内管４０から成る発光管２０、外側電極５０Ａ、５０Ｂ、内側電極６０とを備えたエキシマランプ１０において、発光管２０の開放空間８０に内側電極６０を非接触で配置する。点灯時、発光管２０の壁中に密閉状態で形成された放電空間７０に誘電体バリア放電が生じて紫外線が放射される一方、内管４０と内側電極６０との間でコロナ放電が生じ、オゾンが発生する。 （もっと読む）

【課題】点灯中、封止管の破裂を防ぐ信頼性の高い封止構造をもった放電ランプを得る。
【解決手段】放電ランプの封止管２０内において、金属箔３６と溶接する内側金属リング２６を電極支持棒２２と挿通させた状態で接合させ、内側金属リング２６の周囲には外側巻き箔４６を巻く。外側巻き箔４６は、内側金属リング２６を越えて電極側ガラス管２４まで延在し、外側巻き箔４６の電極側端部４６Ｔは、内側金属リング２６よりも電極軸Ｅに沿って電極側に位置する。 （もっと読む）

【課題】露光装置において、光源の寿命を落とすことなく、適切な光量調整を行なう。
【解決手段】光量調整を行なう場合、ＤＭＤの有効ミラーをＯＮ状態にして投影光の光量を測定し、測定された光量と目標光量との比である使用率を定める。そして、使用率に基づいて、不使用ミラーの配列を示す調光フィルタデータを生成する。このとき、不使用ミラーが略一様な分布で、かつ不規則に並ぶようにする。ＤＭＤを利用した光量調整を行なっている間、放電ランプの出力が徐々に低下し、測定光量が目標光量に達しない状況になると、測定光量が目標光量より所定量多い基準光量に達するまで放電ランプの出力をアップする。 （もっと読む）

【課題】陽極の形状安定性と耐蒸発性を向上させ、同時に、製造中、陽極材料に高温加工を受けさせた後でも陽極の優れた加工性を提供するような、１ｋＷよりも大きい公称電力での直流動作向けショートアーク高圧放電ランプを提供する。
【解決手段】バルク領域４ｂ内のタングステン系材料の結晶粒数が、１ｍｍ^２当たり１００粒よりも多く、その場合、前記結晶粒数が、陽極４の縦軸線Ｚに垂直な第２の平面内で測定され、しかも、前記第２の平面が、機能面領域４ａの表面まで軸方向の距離ｓ（ただし、ｓはｄよりも大きい）を持っており、前記縦軸線Ｚに平行な方向の前記機能面領域４ａと前記バルク領域４ｂとの間で、前記陽極４の前記タングステン系材料の結晶粒度に急変化が存在することを特徴とする。その他封入圧力、封入水銀量、電子放射物質、電極形状、電力を規定する。 （もっと読む）

【課題】高精度のパターンを形成しながら、スループット向上を実現する。
【解決手段】基板に直接描画パターンを形成することが可能な露光装置の投影光学系に画像分割光学系２７を設ける。画像分割光学系２７により、第一結像光学系によって形成されたパターン像ＭＰを第１結像光学系の結像面ＦＳにおいて３分割し、３つの分割パターン像を、主走査方向Ｘに関して互いに間隔を空けながら、副走査方向Ｙに沿って並ぶように形成する。 （もっと読む）