【課題】表面の凹凸、輪郭線近傍の欠陥等の存在を高い精度で検出することができ、良品判定を確実に行うことができる画像処理装置、画像処理方法、及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】撮像手段で撮像された、良品に関する複数の第一の多値画像を取得し、取得した第一の多値画像の画素ごとに、撮像手段からの距離を濃淡値に変換した第一の距離画像を生成する。生成した第一の距離画像の画素ごとの濃淡値の、良品判定を行うための分布範囲を算出する。判定対象物に関する第二の多値画像を取得し、取得した第二の多値画像の画素ごとに、撮像手段からの距離を濃淡値に変換した第二の距離画像を生成する。生成した第二の距離画像の画素ごとの濃淡値が対応する分布範囲に含まれているか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】 距離画像を用いて外観検査を行う際に、メモリ資源の効率的な活用と検出精度の低下を防ぐ。
【解決手段】 ３次元形状のワークを撮像するカメラ３０からワーク表面までの距離に応じて各画素の濃淡値が変化する距離画像を生成し、生成された距離画像からその距離画像に含まれるワーク固有の形状情報を削減するために、生成された距離画像の一部又は全部の画素について、それぞれ形状情報に基づく濃淡値との差分を求め、形状情報が削減された距離画像を用いて画像処理を実行し、ワークの良否を判定し、判定結果を示す判定信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】画像合成を行う際の位置合わせ作業を容易にする。
【解決手段】観察対象の任意の観察位置について、略同一の視野方向と略同一の倍率で取得した電子顕微鏡画像と光学画像とを、それぞれを第一表示領域及び第二表示領域に表示させた状態で、いずれか一方の画像上にて任意の位置にて第一対応点を指定し、他方の画像上で該第一対応点に対応する位置にて第二対応点を指定するための対応点指定手段１８０と、対応点指定手段１８０により指定された複数の第一対応点と、該複数の第一対応点それぞれに対応する複数の第二対応点とを、各々略一致させるように画像の少なくとも一方を補正するための補正パラメータを算出する補正パラメータ算出手段１８１とを備えており、画像合成手段が、補正パラメータ算出手段１８１で算出された補正パラメータに基づいて、電子顕微鏡画像と光学画像を一致させるように合成して合成画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】モード変更やこれに伴うパラメータ調整といった面倒な作業を行うことなく、電子顕微鏡の倍率変更をシームレスに行えるようにする。
【解決手段】第一倍率制御モードで設定されるパラメータ値セットと、第二倍率制御モードで設定されるパラメータ値セットとを記憶するためのパラメータ値セット記憶手段１８９と、電子線撮像手段１１で撮像される電子顕微鏡画像の電子顕微鏡倍率を調整するための電子顕微鏡倍率調整手段と、倍率制御モード切替手段による倍率制御モードの切り替えに伴って、パラメータ値セット記憶手段１８９に記憶されたパラメータ値セットを切り替えて設定するためのパラメータ値セット設定手段１８８とを備え、倍率制御モード切替手段が、電子顕微鏡倍率調整手段で調整される表示倍率が所定の倍率制御モード切替倍率に達したとき、第一倍率制御モードと第二倍率制御モードとを切り替える。 （もっと読む）

【課題】読み取り対象となる一次元コード、二次元コード等のバーコードシンボルを特定することが困難である場合であっても確実にバーコードシンボルを読み取ることができるバーコードシンボル読取装置、バーコードシンボル読取方法、及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】少なくとも一のバーコードシンボルを含む画像を取得し、取得した画像を表示する。少なくとも一のバーコードシンボルを含む画像上で、バーコードシンボルの特徴に関する設定項目の設定パラメータを抽出するチューニング領域の指定を、一のバーコードシンボルを囲むように受け付ける。設定パラメータの入力を部分的に受け付け、指定を受け付けたチューニング領域内でバーコードシンボルを検出する。検出したバーコードシンボルを正常にデコードすることができるか否かを判断し、正常にデコードすることができると判断した場合、バーコードシンボルの設定パラメータを抽出する。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡画像の観察中においても、試料台と電子顕微鏡レンズとの位置関係を確認可能とする。
【解決手段】電子線撮像手段１１を用いて試料を観察する前に、電子線撮像手段１１を用いて試料の観察を開始するための所定操作が行われたことを契機として、試料室内観察手段を用いてこの時点における試料を含んだ試料室内画像を試料室内基準画像ＫＧとして取得するための試料室内基準画像取得手段２０２と、少なくとも電子線撮像手段１１で試料を観察する間の、先端部の回動位置に関する位置情報を逐次取得するための位置情報取得手段２０４と、位置情報取得手段２０４から取得した位置情報に基づいて、先端部の回動位置における姿勢を逐次仮想イメージＫＩとして生成し、電子線撮像手段１１で試料を観察する間に、試料室内基準画像取得手段２０２で取得された試料室内基準画像ＫＧ上に重ねて表示させるための仮想イメージ生成手段２０６とを備える。 （もっと読む）

【課題】同一の観察対象を電子顕微鏡画像と光学画像を用いて観察する際の、視野ずれを補正し易くする。
【解決手段】第一観察手段と略同一の視野方向で、試料台３３に載置された観察対象を該視野方向で観察する際の観察位置にて、第二観察手段を用いて試料の観察像を観察するように胴部２４又は試料台３３を回動させる回動手段３０と、第二観察手段を用いて観察位置の試料における相対位置を視認するための視認倍率で観察される第二観察像を、第二表示領域に表示させた際に、該表示と連動して、広域画像取得手３２０により取得された広域画像に基づいて、第一観察手段によって当該視認倍率と同じ倍率で取得されるべき視認倍率画像を取得し、第一表示領域に表示させるための視認倍率画像生成手段３２２と、第一表示領域に視認倍率画像が表示された状態で、第二表示領域に表示された第二観察像の視野位置を補正するための視野ずれ補正手段３２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】明暗の違和感を低減した、光学画像と電子顕微鏡画像を合成したカラー合成画像を作成する。
【解決手段】光学系撮像手段１２で取得された光学画像から、色情報を分離するための色分離手段２５５と、電子線撮像手段１１で取得された電子顕微鏡画像及び色分離手段２５５で色情報を分離された光学画像から、それぞれ輝度情報を抽出するための抽出手段２５６と、抽出手段２５６で抽出された電子顕微鏡画像の輝度情報と、光学画像の輝度情報との、合成比率を調整するための比率調整手段２５０と、比率調整手段２５０で調整された合成比率に基づいて、電子顕微鏡画像の輝度情報と、光学画像の輝度情報とを合成するための輝度合成手段２５７と、輝度合成手段２５７により合成された合成輝度情報に対して、色分離手段２５５で分離された色情報を付加することにより、カラー合成画像を生成するためのカラー画像合成手段１１６Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡側が回転する拡大観察装置のチャンバ内の様子を、回転位置によらず安定的に観察可能とする。
【解決手段】試料室内の環境を観察する試料室内画像を取得するための試料室内観察手段１３と、試料室内観察手段１３で撮像された試料室内画像を表示するための表示手段とを備えており、胴部２４は、試料室内において、回動手段３０による胴部２４の回動によって移動する回転部分と、回動手段３０により胴部２４が回動されても移動しない固定部分とを有しており、試料室内観察手段１３が、固定部分に固定されている。これにより、胴部２４を回転させても、試料室内観察手段１３は移動しないため、試料室内画像が胴部２４の回転に伴い移動することなく、安定的に試料室の内部を観察でき、例えば電子線撮像手段１１の鏡筒先端が試料に接触しないように監視できる。 （もっと読む）

【課題】異なる観察手段を用いた傾斜観察において傾斜角度の換算を不要として、容易に傾斜角度を一致させる。
【解決手段】電子線撮像手段１１又は光学系撮像手段１２のいずれか一方の観察手段で取得した静止画を記憶するための静止画記憶手段２６６と、静止画が取得されたときの、回動手段３０の回動位置に基づく位置情報を、第一回動位置情報として記憶するための回動位置記憶手段２６７と、静止画記憶手段２６６で記憶された静止画と、該静止画を取得した観察手段とは異なる他方の観察手段で観察中の観察像を、表示内容を逐次更新して表示するライブ画像とを、表示手段２に表示させると共に、静止画記憶手段２６６で記憶された該静止画の傾斜角度を示す第一回動位置情報と、表示手段２上で表示中のライブ画像における、回動手段３０の回動位置に基づく位置情報を第二回動位置情報として、表示手段２に表示させるための傾斜角度換算手段２６１とを備える。 （もっと読む）