説明

株式会社キーエンスにより出願された特許

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【課題】演算処理量、使用メモリ量を低減し、画像撮像時間を短縮するとともに、検査領域ごとに、それぞれ検査に適した画像を取得することができる画像処理装置、画像処理方法、及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】 異なる露光時間で撮像された、複数の多値画像に基づいて元の多値画像より階調の大きい合成画像を生成し、生成した合成画像を該合成画像の階調よりも低い階調へ階調圧縮する。検査を実行する複数の検査領域の指定を受け付け、検査領域ごとに階調圧縮の条件の指定を受け付け、記憶する。少なくとも記憶された検査領域を含む領域を異なる露光時間で撮像して、明るさが異なる複数の多値画像を取得し、取得した複数の多値画像を合成して元の多値画像より階調の大きい合成画像を生成する。記憶された検査領域ごとに指定を受け付けた階調圧縮の条件に基づいて、検査領域ごとに画像を階調圧縮する。 (もっと読む)


【課題】 複数のセンサアンプの動作モードや設定値の管理を効率的に行うことができるユーザフレンドリなセンサアンプ管理装置を提供する。
【解決手段】 センサアンプ1の機種と、各機種の有する設定可能項目を含む複数項目との対応を記憶する記憶部26と、複数のセンサアンプの機種及び設定項目を含む複数の欄を有する一覧表示を行うための表示装置6と、一覧表示において、機種欄への入力に伴って機種別機能データベース33を参照し、機種欄の機種に対応する設定可能項目を取得して一覧表示の設定項目の欄に表示させると共に、その機種の有する設定可能項目を取得して一覧表示の設定項目の欄のそれぞれにおいてデフォルト値以外の設定値を選択可能に表示させる処理部28と、一覧表示で設定された設定データをセンサアンプ1に対して通信ユニット2を介して送信するための通信部32とを備えている。 (もっと読む)


【課題】FAシステムが稼働する現場であっても、小さな設置スペースでレンズの絞り調整、フォーカス調整の程度を視認することができる撮像装置及び撮像システムを提供する。
【解決手段】少なくともレンズ及び絞りのうち1つを含む撮像光学系を介して検査対象物を撮像し、1次元又は2次元の多値画像を取得する撮像素子により取得した多値画像を画像処理装置へ送信する。撮像素子により取得した多値画像の明るさに関する情報を算出し、撮像素子により取得した多値画像の鮮鋭度に関する情報を算出する。算出した明るさに関する情報及び鮮鋭度に関する情報を表示する。 (もっと読む)


【課題】一様に連続している背景模様が存在する場合であっても、ゴミ、傷、汚れ等の欠陥を正しく検出することができる欠陥検出装置、欠陥検出方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検出対象の欠陥のサイズを設定して記憶し、背景模様が一様に連続している第一の方向の指定を受け付けて記憶する。記憶された欠陥のサイズに応じた画像縮小率で、記憶された第一の方向へ縮小した縮小画像を生成する。縮小画像に対して縮小画像における欠陥を除去するためのフィルタ処理を第一の方向に実行し、フィルタ処理が実行された縮小画像を、画像縮小率の逆数に相当する画像拡大率で第一の方向へ拡大した第一の拡大画像を生成する。多値画像と第一の拡大画像との差分演算を実行した差分画像を生成する。 (もっと読む)


【課題】検査対象領域を撮像して取得した多値画像の明暗が変化した場合であっても、非検出対象物であるノイズを効果的に除去し、検出対象物であるブロブ(集合体)状の傷、汚れ等の欠陥の有無、大きさ、形状等を検査する画像検査装置、画像検査方法、及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検査対象領域の多値画像を取得し、取得した多値画像の濃度情報に基づいて基準濃度値を算出する。多値画像の各画素の濃度値と算出した基準濃度値との差分を画素ごとに算出し、基準濃度値の変化に追従して変化するように基準濃度値に対して相対的に閾値を設定して記憶する。算出した差分が閾値より大きい複数の画素を抽出し、抽出された複数の画素の輝度値の連結性に基づいて画素の集合体を特定し、特定された画素の集合体に対して、差分を用いた特徴量を算出する。算出した特徴量に基づいて、特定された画素の集合体の欠陥を判別する。 (もっと読む)


【課題】危険領域を分かり易くして、危険領域への侵入を未然に防止することのできる多光軸光電センサを提供する。
【解決手段】第1表示要素31aの形状は方形以外の三角形等であってもよい。第1表示要素31aは、投光素子7の両端部の近傍にのみ設けられていてもよい。第1表示要素31aは、2種以上の形状で形成されていてもよい。第1表示要素31aは投光素子7ごとに設けられていてもよい。最も端の投光素子7よりも更に端寄りに第1表示要素31aを設けてもよい。第1表示要素31aは中心線Z1上に設けられていればよく、中心線Z1に対し芯ズレ(オフセット)していてもよい。 (もっと読む)


【課題】 低倍率視野内のワークを高倍率視野内へ自動搬送してワークの寸法を高い精度で測定することができる寸法測定装置を提供する。
【解決手段】 XY方向に移動可能な可動ステージ12と、特徴量情報及び測定箇所情報を保持する測定設定データ記憶手段と、ワークWを低倍率で撮影し、低倍率画像を生成する低倍率撮像手段と、特徴量情報に基づいて、低倍率画像におけるワークWの位置及び姿勢を特定するワーク検出手段と、特定された位置及び姿勢に基づいて、ワークWの測定対象箇所が高倍率視野内に収まるように、可動ステージ12を制御するステージ制御手段と、高倍率視野内に移動した測定対象箇所を高倍率で撮影し、高倍率画像を生成する高倍率撮像手段と、測定箇所情報に基づいて、高倍率画像から測定対象箇所のエッジを抽出するエッジ抽出手段と、抽出されたエッジに基づいて、測定対象箇所の寸法値を求める寸法値算出手段により構成される。 (もっと読む)


【課題】 ワークの寸法を高い精度で測定することができるとともに、被写界深度を越える段差を有するワークであっても、測定対象とする箇所を容易に設定することができる寸法測定装置を提供する。
【解決手段】 可動ステージ12上のワークWを撮影する撮像手段と、可動ステージ12のZ方向の位置が異なる複数のワーク画像を深度合成し、深度合成画像を生成する深度合成手段と、マスターピースを撮影して得られる深度合成画像をマスター画像M1として画面表示するマスター画像表示手段と、マスター画像M1に対し測定対象箇所及び測定方法を指定し、測定箇所情報を生成する測定箇所情報生成手段と、測定箇所情報に基づいて、ワークWを撮影して得られた深度合成画像から測定対象箇所のエッジを抽出するエッジ抽出手段と、抽出されたエッジに基づいて、測定対象箇所の寸法値を求める寸法値算出手段により構成される。 (もっと読む)


【課題】ユーザが煩雑な作業を行うことなく、観察対象物の表面の状態を短い時間で正確に観察することが可能な顕微鏡システム、表面状態観察方法および表面状態観察プログラムを提供する。
【解決手段】観察対象物に照射された光を受光する受光素子の出力信号に基づいて複数の画素に対応する画素データが出力される。画素データの値を調整するための感度パラメータが設定される。感度パラメータとして第1の感度値が設定された状態で、複数の画素データが取得され、画素データのピーク値がしきい値以下である画素の数が検出される。単位領域の全画素数に対する検出された画素数の比率が算出され、比率が予め定められた基準値以上である場合に第1の感度値とは異なる第2の感度値により画素データが取得され、比率が予め定められた基準値よりも小さい場合に第1の感度値とは異なる第2の感度値により画素データが取得されない。 (もっと読む)


【課題】観察対象物の所望の領域に対して相対的な光学系の焦点の位置を自動的に検出することが可能な顕微鏡システムおよび焦点位置検出方法および焦点位置検出プログラムを提供する。
【解決手段】レーザ光源から出射された光が集光されつつ観察対象物に照射され、観察対象物により反射される光が対物レンズを通して受光素子に導かれる。受光素子の出力信号に基づいて複数の画素に対応する画素データが出力される。複数の画素データに基づく評価値が、出力上限値Emaxよりも小さくかつノイズレベルと評価値を算出するための画素数との乗算値Enlよりも大きくなるように設定される。対物レンズを現在の位置zs1から上に向かう方向に移動させつつ設定されたゲインで評価値を算出する。評価値が出力上限値Emaxに達するごとに一定量ゲインを減少させる。評価値がピークになるときの対物レンズ3のZ方向の位置が検出される。 (もっと読む)


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