説明

株式会社キーエンスにより出願された特許

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【課題】観察対象物の所望の領域に対して相対的な光学系の焦点の位置を自動的に検出することが可能な顕微鏡システムおよび焦点位置検出方法および焦点位置検出プログラムを提供する。
【解決手段】レーザ光源から出射された光が集光されつつ観察対象物に照射され、観察対象物により反射される光が対物レンズを通して受光素子に導かれる。受光素子の出力信号に基づいて複数の画素に対応する画素データが出力される。複数の画素データに基づく評価値が、出力上限値Emaxよりも小さくかつノイズレベルと評価値を算出するための画素数との乗算値Enlよりも大きくなるように設定される。対物レンズを現在の位置zs1から上に向かう方向に移動させつつ設定されたゲインで評価値を算出する。評価値が出力上限値Emaxに達するごとに一定量ゲインを減少させる。評価値がピークになるときの対物レンズ3のZ方向の位置が検出される。 (もっと読む)


【課題】観察対象物の表面の断面曲線を正確でかつ高速に検出することが可能な共焦点顕微鏡システム、画像処理方法および画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】使用者が観察対象物Sの断面曲線データの取得範囲を指示する。CPU210は、その指示に基づいてX方向に沿って連続的に並ぶ複数の帯状領域を設定するとともに、各帯状領域においてX方向に平行な複数の測定ライン上でレーザ光を走査することにより、複数の測定ラインに基づく画素データを制御部300から取得する。CPU210は、取得した複数の測定ラインの画素データに基づいて帯状領域の複数の断面曲線データを生成し、作業用メモリ230に記憶する。CPU210は、複数の帯状領域の複数の測定ラインについて生成された断面曲線データをX方向に沿って連続する測定ラインごとに連結することにより、連結された複数の断面曲線データを得る。 (もっと読む)


【課題】軽量化および小型化が実現されるとともに組み立て作業の効率が向上しかつ分解が可能な圧力センサを提供する。
【解決手段】パイプ部材20内の下部フレーム80の上端面が上部ケース10内の上部フレーム50の下端面に当接した状態で、複数のねじ17aにより下部フレーム80が上部ケース10に固定される。下部フレーム80のフランジ上端面82aはパイプ部材20の凸部下端面24eに当接する。パイプ部材20の上端部は、デザインリング90の上端部を介して上部ケース10の大径部13の下端面により保持される。それにより、パイプ部材20が上部ケース10と下部フレーム80とで挟持される。表示基板40は上部ケース10内に取り付けられる。パイプ部材20内で電源基板60およびメイン基板70は上部フレーム50および下部フレーム80により軸方向に沿って保持される。 (もっと読む)


【課題】読取安定度を向上させるため、ユーザによる目視読み取りではなく、光学情報読取装置による読み取りに基づいて印字条件を設定する。
【解決手段】画像取得手段61により得られた撮像画像中から、印字品質を評価可能なシンボルを抽出するためのシンボル抽出手段56;63と、シンボル抽出手段56;63により抽出されたシンボルの印字品質を評価するための印字品質評価手段65と、画像取得手段61により得られた撮像画像に含まれる特定パターンに基づいて、シンボル抽出手段56;63により抽出されたシンボルの印字位置を認識するための印字位置認識手段68と、シンボル抽出手段56;63により抽出されたシンボルに応じて、印字品質評価手段65による印字品質の評価結果を出力するための評価出力手段とを備え、特定パターンの印字位置がそれぞれ、特定パターンが付されたシンボルを印字した印字条件と関連付ける。 (もっと読む)


【課題】 走査装置の故障によって走査用ミラーが停止したことを速やかに検知することができるレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】 レーザー光Lを生成するレーザー生成手段と、レーザー光LをワークWに向けて反射させる走査用ミラー471と、走査用ミラー471の回動位置を指定する位置制御信号Vrを生成する位置制御手段と、走査用ミラー471の回動位置を検出し、位置検出信号Vposを生成する角度センサ75と、位置制御信号Vr及び位置検出信号Vposに基づいて、走査用ミラー471の回動位置に応じた制御偏差を求める位置偏差信号生成部71と、制御偏差に基づいて、走査用ミラー471を回動させるミラー駆動部72,73,472と、制御偏差に基づいて、ミラー駆動部の故障検出を行う故障検出部475により構成される。 (もっと読む)


【課題】 緊急停止状態を解除するための解除手順を簡素化しつつ、緊急停止状態が誤って解除されるのを抑制することができるレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】 ワーク加工用のレーザー光Lを生成するレーザー生成器と、外部からの緊急停止信号に基づいてレーザー光LのワークWへの出射を禁止する緊急停止状態へ移行した後、緊急停止解除信号に基づいて緊急停止状態を解除する緊急停止制御部131と、ユーザが緊急停止状態を解除するための解除操作を行う解除スイッチと、解除スイッチに対する解除操作を検出し、検出タイミングに基づく複数の解除操作検出信号を出力する電気接点回路11,12と、電気接点回路11,12から出力される複数の解除操作検出信号の出力タイミングの時間差に基づいて、緊急停止解除信号を生成する停止解除部134により構成される。 (もっと読む)


【課題】 高精度のレーザー加工を行うことができるレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】 レーザー光Lを生成するレーザー発振器41と、ワークW上におけるレーザー光Lの照射位置をXY方向に走査させるXYスキャナ47と、XYスキャナ47から入射するレーザー光Lの入射角にかかわらず、ワークWに向けて出射するレーザー光Lの出射角を一定にするテレセントリックレンズ48と、レーザー発振器41及びXYスキャナ47を収容する一体成形された筐体フレーム60により構成される。筐体フレーム60は、レーザー発振器41の出射光軸に交差するように配置された仕切り板61を有する。 (もっと読む)


【課題】使用者が広い範囲を観察範囲として指定した場合にも無駄な時間を費やさずに観察対象物の表面の画像を表示可能な共焦点顕微鏡システム、画像処理方法および画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】使用者により指示された取得範囲内の画素データの総画素数が作業用メモリ230の表示処理可能画素数を超える場合には、単位領域の複数の画素データの取得率が調整される。受光素子30の出力信号に基づいて単位領域の複数の画素データが順次取得される。複数の画素データに基づいて共焦点画像データが生成され、共焦点画像データに基づいて表面画像データが生成される。設定された複数の単位領域について生成された表面画像データが連結される。連結された表面画像データに基づいて観察対象物Sの表面の画像が作業用メモリ230を用いて表示部400に表示される。 (もっと読む)


【課題】読取安定度を向上させるため、ユーザによる目視読み取りではなく、光学情報読取装置による読み取りに基づいて印字条件を設定する。
【解決手段】シンボル抽出手段63により抽出されたシンボルの印字位置を認識するための印字位置認識手段68と、シンボル抽出手段63により抽出されたシンボルに応じて、印字品質評価手段65による印字品質の評価結果を出力するための評価出力手段とを備え、特定パターンの印字位置がそれぞれ、特定パターンが付されたシンボルを印字した印字条件と関連付けられており、複数のシンボルは、それぞれが特定の二次元コードの構成単位であるセルを一又は複数組み合わせた評価パターンであって、それぞれが該特定の二次元コードよりも大きさの小さい評価パターンから構成されており、さらに各評価パターンを、セルのパターンを印字位置毎に異なるパターンで印字する。 (もっと読む)


【課題】 温度変化によるスキャナの角度誤差を抑制することにより、高精度のレーザー加工を行うことができるレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】 レーザー加工用のXYスキャナが、モータ軸100を回動させる駆動モータ10と、レーザー光を反射させる反射ミラー20、及び、モータ軸100に取り付けられるマウンタ係合部21Bを有するミラーモジュールと、モータ軸100を挟んでミラーマウンタ21と対向するように配置され、モータ軸100に取り付けられるミラー固定部材22とを備え、マウンタ係合部21B及びミラー固定部材22は、モータ軸100との接触面を減らすための非接触領域がモータ軸100を挟んで両側に存在する状態で、モータ軸100を挟持する。 (もっと読む)


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