【課題】発振されたレーザー光線の平行度を容易に調整することができる平行度調整機能を備えたレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】パルスレーザー光線発振手段６２と集光器６３の間に配設されたビーム径調整手段６４と、通過したレーザー光線を集光器に向けて光路を変換する光路変換ミラー６５と、レーザー光線を集光器６３に導く作用位置と、検出光路に導く非作用位置に位置付けるミラー位置付け手段６６と、検出光路に導かれたレーザー光線のビーム径を検出する撮像手段６９と、撮像手段６９の光路長を変更する光路長変更手段７０と、撮像手段６９とビーム径調整手段６４および光路長変更手段７０を制御する制御手段とを具備し、撮像手段６９を光路長が異なる２個所に位置付け、２個所においてレーザー光線のビーム径を検出し、検出された２個のビーム径に基づいて２個のビーム径が所定の関係になるようにビーム径調整手段６４を制御する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な方法でチャックテーブル上に搬入されたウエーハの中心とチャックテーブルの回転中心とを容易に一致させることのできるウエーハの位置補正方法を提供することである。
【解決手段】 チャックテーブルに載置したウエーハの中心位置を該チャックテーブルの回転中心に一致させるウエーハの位置補正方法であって、搬送手段によってウエーハを該チャックテーブルの保持面に搬送して載置するウエーハ載置ステップと、該ウエーハ載置ステップを実施する前又は後に、液体供給手段により該チャックテーブルの該保持面とウエーハとの間に液体を供給して該保持面とウエーハの間を液体で満たし、液体の表面張力によって自律的にウエーハの中心位置を該チャックテーブルの回転中心位置に一致させる位置補正ステップと、該位置補正ステップを実施後、該チャックテーブルの該保持面上から液体を排出しつつウエーハを該チャックテーブルで吸引保持する吸引保持ステップと、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マーク部分に形成されるシャープエッジに起因してウェーハが破損するおそれを防止するウェーハの加工方法を提供する。
【解決手段】ウェーハ１１の表面から外周縁に沿って切削ブレードを切り込ませ、ウェーハ１１の表面から少なくとも仕上げ厚みｔ１に至る深さの面取り部２３ｃを除去する面取り部除去ステップと、面取り部除去ステップを実施する前または後に、マークに隣接するとともにウェーハ１１の表面から少なくとも仕上げ厚みｔ１に至る深さの直線溝２５を形成してマークに代わって結晶方位を示す代替マークとする溝形成ステップと、溝形成ステップを実施した後、ウェーハ１１の表面に保護部材３３を配設する保護部材配設ステップと、保護部材配設ステップを実施した後、ウェーハ１１の裏面を研削して仕上げ厚みｔ１へと薄化するとともに直線溝２５をウェーハ１１の裏面に露出させる研削ステップと、を備えるウェーハ１１の加工方法。 （もっと読む）

【課題】加工装置の各可動部等から塵埃が飛散しても塵埃を除去することができる加工装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブル５２を被加工物搬入・搬出領域と加工領域に移動するチャックテーブル機構５と、被加工物を旋削するバイト工具３３を備えた加工装置であって、クリーンルーム被加工物搬入・搬出領域と第1のカセット載置領域および第２のカセット載置領域との間に配設され下部に被加工物の移動を許容する隙間６１１を備えた隔壁６１と、チャックテーブル５２を備えたチャックテーブル機構５および被加工物を旋削するためのバイト工具３３を備えた旋削手段を覆う天壁６２と、隔壁６１とともに天壁６２の外周下側を覆う側壁６３、６４とによって空気流通室６を形成し、天壁６２に空気導入開口６２１を設けるとともに、加工領域の近傍に吸引口６５１を設けた空気流出手段６５が配設されている。 （もっと読む）

【課題】研磨加工中の板状基板に割れが発生したことを適確に判断することができ、板状基板の割れに速やかに対処することができる板状基板の割れ検知方法を提供する。
【解決手段】加工送り量制御手段５０で研磨手段２０の加工送り量を制御しながら基板１を研磨している最中に、研磨手段２０の研磨工具２６と基板１との接触によって発生する荷重が予め定められた所定の範囲を超えて減少した時に、基板１に割れが発生したと判断する。 （もっと読む）

【課題】高速回転するスピンナーテーブルからフレームとともにウエーハが脱落しないようにすることを目的とする。
【解決手段】ウエーハＷを洗浄する洗浄装置２Ａに備えるフレーム保持手段３０は、フレーム４の下部４ｂを支持するフレーム支持部３１と、フレーム４の上部４ａを押さえスピンナーテーブル２０の回転中心に対して等角度に配設された複数のフレーム押さえ部３２とを備え、フレーム押さえ部３２は、アーム部３００と、上部３０１に形成されたフレーム４を押圧する爪部３１０と、下部３０２に形成された錘部３２０と、爪部３１０がフレーム４の上部４ａを押圧するようにアーム部３００を回転可能に支持する支点軸３３０と、を備え、錘部３２０にはスピンナーテーブル２０の回転時に遠心力に加え揚力が生じるように翼３２１が形成され、フレーム押さえ部３２がフレーム４を押さえてウエーハＷがスピンナーテーブル２０から脱落するのを防止する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な方法でチャックテーブル上に搬入されたウエーハの中心とチャックテーブルの回転中心とを容易に一致させることのできるウエーハの位置補正方法を提供することである。
【解決手段】 ウエーハの位置補正方法であって、撮像ユニットによってチャックテーブルに保持されたウエーハの外周縁の少なくとも３箇所を検出してウエーハの中心座標を算出し、ウエーハの中心座標とチャックテーブルの回転中心の座標との間の距離（ずれ量）を算出する。次いで、ウエーハの中心とチャックテーブルの回転中心を結ぶ直線がスピンドルの軸心の投影と一致するように、チャックテーブルを加工送り方向へ移動させるとともに所定角度を回転する。そして、チャックテーブルの負圧を解除してから、切削ブレードの先端をウエーハの側面に当接させた状態で切削ブレードを割り出し送り方向にずれ量分だけ移動し、ウエーハの中心とチャックテーブルの回転中心を一致させる。 （もっと読む）

【課題】マグネットスタンドに対して測定器具を柔軟に装着可能なスタンドベースを提供する。
【解決手段】マグネットスタンドのスタンドベース１０であって、直方体形状のベース本体１２と、該ベース本体１２の前面１２ａに配設され該ベース本体１２の底面に作用する磁力をＯＮ／ＯＦＦするコック１４と、測定器具を装着するアームの雄ねじが螺合する該ベース本体１２の上面１２ｂに形成された上面ねじ穴１６と、該アームの雄ねじが螺合する該ベース本体１２の側面１２ｃに形成された側面ねじ穴１８と、を具備した。 （もっと読む）