【課題】アイドリング動作によるスピンドル又は切削ブレード駆動源等の温度変化に起因する寸法変化が許容できる状態で切削加工動作を開始できる切削装置を提供すること。
【解決手段】切削装置１の制御手段６は、判断部６ＰＢが第一の座標記憶部６ＭＡに記憶された第一の位置座標と第二の座標記憶部６ＭＢに記憶された第二の位置座標との誤差が許容値以内に収まっていると判断した場合には、被加工物の切削加工動作を開始し、判断部６ＰＢが第一の座標記憶部６ＭＡに記憶された第一の位置座標と第二の座標記憶部６ＭＢに記憶された第二の位置座標との誤差が許容値以内に収まっていないと判断した場合には、アイドリング動作を繰り返すように制御する。 （もっと読む）

【課題】被加工物毎にバイト工具が過度に切り込むことを防止して、被加工物の被切削面の品質悪化やバイト工具に生じる欠けや異常磨耗を防止する被加工物のバイト切削方法を提供する。
【解決手段】チャックテーブル３２で保持された被加工物１１の第１領域１７ａの上面高さと第２領域１９ａの上面高さをそれぞれ複数点において検出し、第２領域の上面高さの最高位置から第１領域の上面高さの最低位置を減じた値を余剰厚みとして算出する。そして、バイト切削工具が一回の回転で被加工物に切り込める最大切り込み量と余剰厚みとから余剰厚みを除去するのに必要な切削回数を算出し、この切削回数に基づいてバイト切削工具を動作させ余剰厚みを除去し、更にバイト切削工具を動作させて被加工物を切削し、最低位置から所定厚み減じた厚みに被加工物を切削加工する。 （もっと読む）

【課題】 チャックテーブルから被加工物を搬出する際にエアガンでフレームに貼着されたダイシングテープの裏面に付着した切削水を吹き飛ばす作業を不要にできる切削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に支持する切削手段と、該切削ブレードと被加工物とに切削水を供給する切削水供給手段と、該チャックテーブルに対して被加工物を搬入及び搬出する搬出入領域と該切削手段が配設された切削領域とにチャックテーブルを位置付ける位置付け手段と、を備えた切削装置であって、該搬出入領域の前面側近傍に被加工物に付着した切削水を拭い去る弾性部材からなるワイパーが配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザー光線を照射してバッファー層を破壊後、移設基板からエピタキシー基板を脱落させずに搬送することができる光デバイスウエーハの加工方法を提供する。
【解決手段】光デバイス層１２を接合金属層を介して移設基板１５に接合した光デバイスウエーハ１０のバッファー層１３を破壊する加工方法であって、光デバイスウエーハに接合された移設基板側をレーザー加工装置のチャックテーブル３６上に保持するウエーハ保持工程と、エピタキシー基板１１側からバッファー層にエピタキシー基板に対しては透過性を有しバッファー層に対しては吸収性を有する波長のパルスレーザー光線を照射し、バッファー層を破壊するバッファー層破壊工程とを含み、バッファー層破壊工程は、光デバイス領域に対応するバッファー層を完全に破壊する第1のレーザー光線照射工程と、外周余剰領域に対応するバッファー層を不完全に破壊する第２のレーザー光線照射工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】被加工物毎に適切な余裕幅が設定でき、被加工物上面に切削ブレードが衝突することで生じる切削ブレードや被加工物の破損を防止できる切削方法を提供する。
【解決手段】加工開始位置設定ステップで設定した加工開始位置に切削ブレードを退避位置から所定高さ位置へと下降させ切削送りを開始し切削終了点で切削送りを終了させて該繰り返しステップを実施する、切削方法とする。 （もっと読む）

【課題】 発光部及び受光部が液体中の浮遊物で汚染されることのない、簡単な構造の液体濃度計を提供することである。
【解決手段】 浮遊及び／又は溶解している固形物を含んだ液体の濃度を測定する液体濃度計であって、該液体を供給する供給経路と該液体が規定量以上となった際に該液体を廃棄するオーバーフロー経路とを備えた該液体を貯留する貯留部と、該貯留部の下方に配設された測定室と、該貯留部と該測定室を仕切る仕切り壁に貫通して設けられ、該貯留部内の液体を該測定室内で液柱に形成して落下させる液体導入路と、該液柱と所定距離離れた位置から測定光を照射する該測定室に臨んで配設された発光部と、該液柱と所定距離離れた位置で該測定光を受光する該測定室に臨んで配設された受光部と、を具備し、該発光部及び該受光部は、該液柱に直交して交差する直線上で対向して配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速回転する切削ブレードの振動を避けるための回転バランス調整用フランジ機構について、印をマジックなどでつける場合において生じる不具合を解消し、バランス調整の手間を簡略化するための回転バランス調整用フランジ機構を提供する。
【解決手段】固定ナットは、切削ブレードを固定フランジと協働して挟持した際、前端面となる表面からバランス取り用錘を挿入できる錘収容部を周方向に所定の間隔を置いて複数備え、表面の錘収容部の近傍には、各錘収容部の位置を示す表示部を備える。 （もっと読む）

【課題】研削ホイールをホイールマウントに装着する場合に高精度な電極位置精度を不要とすると共に、超音波振動加工時のノード領域の変化によっても電極接触不良を発生させず、かつ、研削ホイールを容易に着脱可能な研削装置を提供すること。
【解決手段】研削装置は、ホイールマウント（３１）に磁力を持つ固定電極（６２）を配設すると共に、ホイールベース（４１３）の収容部（４１３ａ）内に磁力によって引き付けられる可動電極７１３を含む可動電極部（７１）を収容部（４１３ａ）に進退可能に収容する。ホイールベース（４１３）にホイールマウント（３１）に装着されると、固定電極（６２）の固定電極（６２）の接触面（６２１ａ）と平行にＳ極とＮ極を並列させた磁石（６２２）の磁力により可動電極部（７１）が固定電極（６２）に接触し環状超音波振動子（４１５）に通電され、可動電極部（７１）がホイールベース（４１３）に非接触とされる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、樹脂及びワークの側面にエッチング液が付着することを低減し、樹脂のエッチング及びワークの表面のエッチングを防止することを目的とする。
【解決手段】エッチング装置１は、ワークセット２を保持して回転可能な保持テーブル３と、ワークセット２の上方に配設されエッチング液４０を滴下するエッチングノズル４と、保持テーブル３に保持したワークセット２の周囲に配設されワークセット２の側面に向けて水を供給する水供給手段５とを備え、水供給手段５は、水供給源５１と、水供給バルブ５２と、水供給ノズル５０とを少なくとも備え、水供給ノズル５０は、リング形状に形成されワークセット２の周囲からワークセット２の側面に向かう方向に複数の水供給口５０ａを備えている。そして、水供給ノズル５０から供給される水がエッチング液４０を薄めて洗い流すことにより、樹脂２１及びワークＷの下面Ｗａのエッチングを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 被加工物毎に厚みばらつきが大きくても切削の都度切削プログラムを作成する必要がないバイト切削装置を提供することである。
【解決手段】 チャックテーブルの保持面の高さ位置とチャックテーブルで保持された被加工物の上面の高さ位置とを測定する高さ位置測定手段と、切削送り手段と切り込み手段とを制御する制御手段とを備えたバイト切削装置であって、制御手段は、高さ位置測定手段で測定した被加工物の上面の高さ位置とチャックテーブルの保持面の高さ位置とから被加工物の最大厚みを算出する被加工物最大厚み算出部と、被加工物の最大厚みと仕上げ厚みとから被加工物の除去厚みを算出する除去厚み算出部と、最大切り込み量と被加工物の除去厚みとから切削回数を算出する切削回数算出部と、切削回数算出部で算出された切削回数に基づいて、切削送り手段と切り込み手段とを作動させる切削制御手段とを含んでいる。 （もっと読む）