説明

株式会社ディスコにより出願された特許

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【課題】 ウエーハを破損させることなく従来に比べて比較的短時間及び安価にウエーハを所定の厚みに薄化することのできるウエーハの加工方法を提供することである。
【解決手段】 外周に面取り部を有するウエーハを所定厚みへと薄化するウエーハの加工方法であって、ウエーハの表面を支持基板上に貼り付けて積層ウエーハを形成する積層ウエーハ形成ステップと、該積層ウエーハ形成ステップで形成した積層ウエーハの積層方向と平行な回転軸を有する切削ブレードを該ウエーハの表面側の外周側面に位置付けて、該積層ウエーハの外周側から中心に向かって切り込ませ、該ウエーハの表面から該所定厚みに至る面取り部を除去する面取り部除去ステップと、該面取り部除去ステップを実施した後、該積層ウエーハの該ウエーハの裏面側を研削してウエーハを所定厚みへと薄化する薄化ステップと、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 スピンドルが回転中であることを目視で容易に認識できる切削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段とを備えた切削装置であって、該切削手段は、モータにより回転駆動されるスピンドルと、該スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する該スピンドルの先端部に装着された切削ブレードと、該切削ブレードを挟持して該スピンドルに固定するマウントと、を具備し、該マウントと該切削ブレードの少なくとも何れか一方に、該スピンドルの回転中と停止中とで模様が変わることで該スピンドルの回転を認識させる認識マークが形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 作業者がバイトユニットのホイール基台に対する装着の向きを間違えることを防止し、装着の向きを間違えて被加工物や切削刃を損傷させてしまう恐れを低減可能なバイトホイールを提供することである。
【解決手段】 一定方向に回転して被加工物を切削するバイトホイールであって、ホイール基台と、バイトシャンクと、該バイトシャンクの下端に配設された一方向に加工可能な切削刃とを有し、該ホイール基台に着脱可能に取り付けられたバイトユニットとを具備し、該ホイール基台は、該切削刃の加工可能方向が回転方向に向くように該バイトユニットを該ホイール基台に装着するための装着方法表示マークを有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】被加工物の表面における撮像範囲内に切削液が滴下することを抑制することができる切削装置を提供すること。
【解決手段】切削装置は、被加工物Wを保持するチャックテーブル10と、被加工物Wに切削加工を施す切削ブレード及び該切削ブレードに切削液を供給するノズルを有する加工手段と、被加工物Wの表面を撮像する撮像手段30とを備える。撮像手段30は、チャックテーブル10に保持された被加工物Wの表面と対向する対物レンズ31aを備えた顕微鏡31と、顕微鏡31の周囲を覆い、かつ一部に撮像用開口32bが形成された底部32aを有する顕微鏡ボックス31と、遮蔽時と撮像時とで撮像用開口32bを選択的に開閉するシャッター手段33と、からなり、顕微鏡ボックス32の底部32aは、水平面に対して傾斜しており、底部32aに付着している切削液は傾斜した底部32aの下端部32dに誘導され、底部32aに滞留せず滴下を促進する。 (もっと読む)


【課題】バイト工具において、切刃ブロックの寿命を長くする。
【解決手段】被固定部500と自由端部501とを有するバイト基台50と、自由端部501にロー剤で固定されダイヤモンドで形成された切刃ブロック51とから構成されるバイト工具5において、切刃ブロック51は、長辺510と短辺511とを有する直方体または多角柱形状に形成され、長辺方向の一方の端部がバイト基台50の自由端部501に固定され、長辺方向の他方の端部に形成された端面512がすくい面となって被加工物を旋削する切刃512aを構成する。切刃ブロック51の長辺方向の一方の端部がバイト基台50の自由端部501に固定され、当該長辺方向の他方の端部が切刃512aとなるように構成したため、切刃512aの磨耗により目立てを行うと切刃ブロック51が長辺方向に削られていくため、寿命を長くすることができる。 (もっと読む)


【課題】ウエーハ等の板状物を収容したカセットを上下に2段以上重ねた状態で板状物の搬出および搬入を行うことができる搬送装置を提供する。
【解決手段】板状物を保持する保持手段と保持手段を支持するアーム機構とアーム機構を駆動するための駆動機構を備えた保持ユニットと、保持ユニットを上下方向に移動可能に支持する支持機構とを具備する搬送装置であって、支持機構は、保持ユニットが装着される第1の移動基板と、第1の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第1の案内レールを備えた第1の基台と、第1の移動基板を第1の案内レールに沿って移動せしめる第1の移動手段とを備えた第1の支持機構と、第1の基台が装着される第2の移動基板と、第2の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第2の案内レールを備えた第2の基台と、第2の移動基板を第2の案内レールに沿って移動せしめる第2の移動手段とを備えた第2の支持機構とを具備している。 (もっと読む)


【課題】 ウエーハユニットから除去した環状凸部を環状凸部収容部に確実に収容することのできる環状凸部除去装置を提供することである。
【解決手段】 ウエーハユニットから環状凸部を除去する環状凸部除去装置であって、環状凸部除去機構でウエーハユニットから除去された環状凸部を収容する環状凸部収容部を備えている。環状凸部収容部は底面と側面とを有する環状凸部収容ケースと、環状凸部の内径より小さい面積を有し環状凸部収容ケースの底面から立設した立設部を含んでいる。複数の爪で支持された環状凸部の開口に立設部が挿入された状態で、複数の爪が退避位置に移動すると、切削液で環状凸部が何れかの爪に付着して爪とともに退避位置に移動しようとしても環状凸部が立設部に引っかかり、落下して環状凸部収容ケース内に収容される。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成によって板状物を所望の厚みに調整することができ、さらに生産性を向上させると共にコストを低減すること。
【解決手段】本発明の板状物の研削方法は、外部刺激によって硬化する液状部材によって、貼着テープ(92)上に複数の板状物(W)の仕上げ厚みよりも厚くリング部材(93)を形成するステップと、チャックテーブル(31)の回転中心にリング部材(93)の中心を位置付けるように、チャックテーブル(31)上に複数の板状物(W)を保持するステップと、ハイトゲージ(51)によってリング部材(93)の厚みを測定しながら、研削ユニット(4)によってリング部材(93)及び複数の板状物(W)を仕上げ厚みまで研削するステップとを有する構成とした。 (もっと読む)


【課題】遮蔽板と顕微鏡ボックスの底部とが切削液が乾くことで固着することを抑制することができる切削装置を提供すること。
【解決手段】切削装置は、チャックテーブル10と、加工手段と、撮像手段30とを備える。撮像手段30は、顕微鏡31と、顕微鏡31の周囲を覆い、かつ底部32aに撮像用開口32bが形成された顕微鏡ボックス32と、遮蔽時と撮像時とで該撮像用開口32bを選択的に開閉するシャッター手段33とからなる。シャッター手段33は、エアシリンダ機構と、遮蔽板36とを備える。遮蔽板36は、遮蔽時に撮像用開口32bを覆う板状部36aと、底部32aと点接触して遮蔽板36を支持する複数の突起部36b〜36dと、板状部36aの外周から底部32aに向かって延在し、かつ突起部36b〜36dによって形成された板状部36aと該底部32aとの間隔をわずかな隙間を持ってほぼ遮蔽するスカート部36eとからなる。 (もっと読む)


【課題】ワーク洗浄配管の洗浄液供給口から洗浄液が急に吹き出すのを防止する。
【解決手段】洗浄手段3は、ロール状の洗浄部30と、板状ワークWの裏面WBに洗浄液を供給するワーク洗浄配管32とワーク洗浄配管32に連結し洗浄液供給源330に連通する洗浄液供給配管33とこれに分岐する圧力緩和配管34と洗浄液供給配管33に配設される洗浄液供給バルブ35とを少なくとも備え、ワーク洗浄配管32には複数の供給口300が開いており、圧力緩和配管34は、洗浄液供給配管33に洗浄液が満たされると空気室が形成され、空気室の空気は、洗浄液供給バルブ35を開くと収縮し、洗浄液供給バルブ35を閉じると膨張し洗浄液供給配管33及びワーク洗浄配管32の内部における圧力上昇を緩和させる。そして、ワーク洗浄配管32の供給口300から洗浄液が急に吹き出すことを防止できる。 (もっと読む)


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