説明

株式会社ディスコにより出願された特許

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【課題】被加工物上面が乾燥することを防止して被加工物上に切削屑が固着することを防止可能な切削装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブル18と、スピンドルと、被加工物11を切削する切削ブレード28と、該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、切削ブレード28を覆うブレードカバー46と、を含む切削手段と、該チャックテーブル18と該切削手段とを相対移動させる加工送り手段と、該チャックテーブル18と該切削手段とを該加工送り方向に直交する割り出し送り方向に相対移動させる割り出し送り手段と、を具備し、該ブレードカバー46は、加工進行方向先頭側に配設されて該切削ブレード28に向かって切削液を供給する切削液ノズル70と、該ブレードカバー28から加工進行方向後ろ側に伸長するように配設されて、被加工物11を洗浄する洗浄液からなる洗浄液カーテンを形成する洗浄液カーテン形成手段50と、を有する。 (もっと読む)


【課題】研削ホイールが回転中であるか停止中であるかを一目で判別できるための新規な技術を提供する。
【解決手段】スピンドルハウジング20から露出したスピンドル先端部21s(下端部)に固定されるホイールマウント23と、ホイールマウント23に装着された研削ホイール24とからなり、スピンドル先端部21sの外周側面21c、ホイールマウント23の外周側面23c、上面23dには、スピンドル21の回転方向に交差する縞目33A、33AC、33Eから構成される縞模様が表示される。 (もっと読む)


【課題】遮蔽板と顕微鏡ボックスの底部とが切削液が乾くことで固着することを抑制することができる切削装置を提供すること。
【解決手段】切削装置は、チャックテーブル10と、加工手段と、撮像手段30とを備える。撮像手段30は、顕微鏡31と、顕微鏡31の周囲を覆い、かつ底部32aに撮像用開口32bが形成された顕微鏡ボックス32と、遮蔽時と撮像時とで該撮像用開口32bを選択的に開閉するシャッター手段33とからなる。シャッター手段33は、エアシリンダ機構と、遮蔽板36とを備える。遮蔽板36は、遮蔽時に撮像用開口32bを覆う板状部36aと、底部32aと点接触して遮蔽板36を支持する複数の突起部36b〜36dと、板状部36aの外周から底部32aに向かって延在し、かつ突起部36b〜36dによって形成された板状部36aと該底部32aとの間隔をわずかな隙間を持ってほぼ遮蔽するスカート部36eとからなる。 (もっと読む)


【課題】ワーク洗浄配管の洗浄液供給口から洗浄液が急に吹き出すのを防止する。
【解決手段】洗浄手段3は、ロール状の洗浄部30と、板状ワークWの裏面WBに洗浄液を供給するワーク洗浄配管32とワーク洗浄配管32に連結し洗浄液供給源330に連通する洗浄液供給配管33とこれに分岐する圧力緩和配管34と洗浄液供給配管33に配設される洗浄液供給バルブ35とを少なくとも備え、ワーク洗浄配管32には複数の供給口300が開いており、圧力緩和配管34は、洗浄液供給配管33に洗浄液が満たされると空気室が形成され、空気室の空気は、洗浄液供給バルブ35を開くと収縮し、洗浄液供給バルブ35を閉じると膨張し洗浄液供給配管33及びワーク洗浄配管32の内部における圧力上昇を緩和させる。そして、ワーク洗浄配管32の供給口300から洗浄液が急に吹き出すことを防止できる。 (もっと読む)


【課題】円板状板状物の中心がずれた状態の円板状板状物ユニットでも、搬送先のチャックテーブルに中心を位置合わせして搬送可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】環状フレームFに円板状板状物の貼着された円板状板状物ユニットを搬送先のチャックテーブルへ搬送する装置2は、前記円板状板状物ユニットの吸引保持と該チャックテーブルの中心位置合わせを行なう吸引保持位置合わせ機構と、該吸引保持位置合わせ機構の移動機構とを具備し、前記吸引保持位置合わせ機構は、環状フレームFを吸引保持する吸引保持部46と、前記円板状板状物ユニットの前記円板状板状物の外周側面に作用する複数の爪30を待機位置と互いに半径方向に接近した作用位置との間で移動させることで、前記チャックテーブルの中心に位置付けする手段と、吸引保持部46を吸引保持位置とその上方の退避位置とに位置付ける吸引保持部位置付け手段18とを含む。 (もっと読む)


【課題】レーザー光線が被加工物を保持する保持面に対して垂直に照射されているか否かを正確に確認することができるレーザー加工装置における光路確認方法。
【解決手段】レーザー光線発振器と、光学伝送手段と、チャックテーブルに保持された被加工物に照射する集光器とを具備しているレーザー加工装置における光路確認方法であって、チャックテーブルの保持面に反射鏡を保持する反射鏡保持工程と、ピンホール81が設けられた発光プレート8を該レーザー光線発振器が発振したレーザー光線の光路にレーザー光線がピンホールを通過するように位置付ける発光プレート位置付け工程と、レーザー光線発振器から発振され発光プレートに設けられたピンホールを通過して反射鏡に照射されたレーザー光線の反射光を発光プレートで捉え、発光プレートにおける反射光によって発光した位置と発光プレートに設けられたピンホールとのズレを検出するズレ確認工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】ウエーハの円形凹部の深さに応じて複数の保持テーブルを保有する場合でも従来に比べて費用を抑制できるとともに、保持テーブルの交換で発生する作業性を改善可能な保持テーブルを提供する。
【解決手段】裏面に形成された円形凹部と該円形凹部を囲繞する環状補強部とを有するウエーハを保持する保持テーブル2であって、前記円形凹部を嵌合して保持する凹部保持部10が上端に形成された円柱状立ち上がり部12と、その回りを囲繞するスペーサ支持部8とを有し、一端が凹部保持部10に連通して他端に第1吸引路が形成されたハット状ベース4と、ハット状ベース4のスペーサ支持部8に着脱可能に装着され円柱状立ち上がり部12が嵌合される開口を有する環状スペーサ6とを具備し、環状スペーサ6の厚みはハット状ベース4の円柱状立ち上がり部12の厚みから前記ウエーハの前記円形凹部の深さを減じた値に基づいて設定される。 (もっと読む)


【課題】吸着保持面を有するチャックテーブルにおいて板状ワークを保持する場合に、吸着保持面が完全に覆われるように板状ワークを載置できるようにする。
【解決手段】チャックテーブル2に位置決めブロック24が固定され、位置決めブロック24には板状ワークWのオリエンテーションフラットOFと吸着保持部20に形成されたフラット部200とを平行にする角度位置決め部243と、角度位置決め部243の両端に設けられチャックテーブル2の中心と板状ワークW中心とを一致させる2つの中心位置決め部244とを備え、板状ワークWを位置決めブロック24に押し当てるだけで、板状ワークWの角度と中心位置をあわせることができ、板状ワークWを容易かつ確実に吸着保持することができる。 (もっと読む)


【課題】 作業者がバイトユニットのホイール基台に対する装着の向きを間違えることを防止し、装着の向きを間違えて被加工物や切削刃を損傷させてしまう恐れを低減可能なバイトホイールを提供することである。
【解決手段】 一定方向に回転して被加工物を切削するバイトホイールであって、ホイール基台と、バイトシャンクと、該バイトシャンクの下端に配設された一方向に加工可能な切削刃とを有し、該ホイール基台に着脱可能に取り付けられたバイトユニットとを具備し、該ホイール基台は、該切削刃の加工可能方向が回転方向に向くように該バイトユニットを該ホイール基台に装着するための装着方法表示マークを有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】被加工物の表面における撮像範囲内に切削液が滴下することを抑制することができる切削装置を提供すること。
【解決手段】切削装置は、被加工物Wを保持するチャックテーブル10と、被加工物Wに切削加工を施す切削ブレード及び該切削ブレードに切削液を供給するノズルを有する加工手段と、被加工物Wの表面を撮像する撮像手段30とを備える。撮像手段30は、チャックテーブル10に保持された被加工物Wの表面と対向する対物レンズ31aを備えた顕微鏡31と、顕微鏡31の周囲を覆い、かつ一部に撮像用開口32bが形成された底部32aを有する顕微鏡ボックス31と、遮蔽時と撮像時とで撮像用開口32bを選択的に開閉するシャッター手段33と、からなり、顕微鏡ボックス32の底部32aは、水平面に対して傾斜しており、底部32aに付着している切削液は傾斜した底部32aの下端部32dに誘導され、底部32aに滞留せず滴下を促進する。 (もっと読む)


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