説明

株式会社ディスコにより出願された特許

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【課題】バイト工具において、切刃ブロックの寿命を長くする。
【解決手段】被固定部500と自由端部501とを有するバイト基台50と、自由端部501にロー剤で固定されダイヤモンドで形成された切刃ブロック51とから構成されるバイト工具5において、切刃ブロック51は、長辺510と短辺511とを有する直方体または多角柱形状に形成され、長辺方向の一方の端部がバイト基台50の自由端部501に固定され、長辺方向の他方の端部に形成された端面512がすくい面となって被加工物を旋削する切刃512aを構成する。切刃ブロック51の長辺方向の一方の端部がバイト基台50の自由端部501に固定され、当該長辺方向の他方の端部が切刃512aとなるように構成したため、切刃512aの磨耗により目立てを行うと切刃ブロック51が長辺方向に削られていくため、寿命を長くすることができる。 (もっと読む)


【課題】ウエーハ等の板状物を収容したカセットを上下に2段以上重ねた状態で板状物の搬出および搬入を行うことができる搬送装置を提供する。
【解決手段】板状物を保持する保持手段と保持手段を支持するアーム機構とアーム機構を駆動するための駆動機構を備えた保持ユニットと、保持ユニットを上下方向に移動可能に支持する支持機構とを具備する搬送装置であって、支持機構は、保持ユニットが装着される第1の移動基板と、第1の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第1の案内レールを備えた第1の基台と、第1の移動基板を第1の案内レールに沿って移動せしめる第1の移動手段とを備えた第1の支持機構と、第1の基台が装着される第2の移動基板と、第2の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第2の案内レールを備えた第2の基台と、第2の移動基板を第2の案内レールに沿って移動せしめる第2の移動手段とを備えた第2の支持機構とを具備している。 (もっと読む)


【課題】 ウエーハユニットから除去した環状凸部を環状凸部収容部に確実に収容することのできる環状凸部除去装置を提供することである。
【解決手段】 ウエーハユニットから環状凸部を除去する環状凸部除去装置であって、環状凸部除去機構でウエーハユニットから除去された環状凸部を収容する環状凸部収容部を備えている。環状凸部収容部は底面と側面とを有する環状凸部収容ケースと、環状凸部の内径より小さい面積を有し環状凸部収容ケースの底面から立設した立設部を含んでいる。複数の爪で支持された環状凸部の開口に立設部が挿入された状態で、複数の爪が退避位置に移動すると、切削液で環状凸部が何れかの爪に付着して爪とともに退避位置に移動しようとしても環状凸部が立設部に引っかかり、落下して環状凸部収容ケース内に収容される。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成によって板状物を所望の厚みに調整することができ、さらに生産性を向上させると共にコストを低減すること。
【解決手段】本発明の板状物の研削方法は、外部刺激によって硬化する液状部材によって、貼着テープ(92)上に複数の板状物(W)の仕上げ厚みよりも厚くリング部材(93)を形成するステップと、チャックテーブル(31)の回転中心にリング部材(93)の中心を位置付けるように、チャックテーブル(31)上に複数の板状物(W)を保持するステップと、ハイトゲージ(51)によってリング部材(93)の厚みを測定しながら、研削ユニット(4)によってリング部材(93)及び複数の板状物(W)を仕上げ厚みまで研削するステップとを有する構成とした。 (もっと読む)


【課題】 ノズルの位置を規定及び確認し易く、再現性も確保可能なブレードカバー装置を提供することである。
【解決手段】 スピンドルの先端に装着された切削ブレードを覆うブレードカバー装置であって、該スピンドルに固定されたベース部と、該切削ブレードの外周端面と対向配置され該切削ブレードに切削液を供給するノズルを有する該ベース部に移動可能に装着されたノズル機構とを具備し、該ノズル機構は、該ベース部に移動可能に取り付けられた本体部と、該本体部に取り付けられた該ノズルを備えたノズルアセンブリと、該ベース部に対して該本体部の鉛直方向への移動を許容する位置調整手段と、該ベース部に対して鉛直方向における該本体部の位置を示す目盛と表示マークとからなる位置表示手段と、を含むことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】複数のウェーハを自動的に搬送して連続的に加工を行うための搬出入装置について、部品点数が少なく、簡易な構成にて実現可能であり、更に、安価な製作コストを実現できる搬出入装置を提供する。
【解決手段】ユニット支持部は、ターンテーブルの回転中心から外周部に渡って放射状に形成された立上り部と、立上り部から隣接する立上り部の下端にかけて傾斜する扇状の載置面を有して構成されることで、ターンテーブルの周回方向に複数のユニット支持部が形成され、ユニット支持部の載置面には、被加工物ユニットが1つずつ載置されて、隣り合うユニット支持部に載置される被加工物ユニット同士は接触せずに上下方向に重なる位置関係に載置可能であり、載置面には、フレームを保持するためのフレーム保持手段が配設される。 (もっと読む)


【課題】キーパターンを決定する際に、被加工物に形成されたデバイスの特徴領域の表面状態の影響を低減すること。
【解決手段】キーパターン決定方法は、被加工物Wに形成された任意のデバイスを撮像部30で撮像し、キーパターンとして最適な特徴領域の画像をキーパターン候補として画像記憶部113に記憶するキーパターン候補記憶工程と、分割予定ラインの規則に従って撮像部30とチャックテーブル10とを相対的に移動して複数のデバイスを撮像部30で撮像し任意のデバイスで撮像した同じ特徴領域の画像を画像記憶部113に記憶する複数画像記憶工程と、画像記憶部113に記憶された複数の画像を統合し、統合画像を算出する統合画像算出工程と、統合画像をキーパターンとして決定し、キーパターン記憶部111に記憶するキーパターン決定工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】 反りを有した板状物でも確実に吸引保持することのできる板状物の保持方法を提供することである。
【解決手段】 反りを有した板状物をチャックテーブルで吸引保持する板状物の保持方法であって、板状物より大きい面積の保持面を有する保持部と、一端が該保持部に連通し他端が吸引源に選択的に接続される吸引路とを備えたチャックテーブルを準備するチャックテーブル準備ステップと、該チャックテーブル準備ステップを実施する前又は後に、該チャックテーブルの該保持面の面積以上の面積を有する粘着テープ上に板状物を貼着する貼着ステップと、該粘着テープに貼着された板状物を該粘着テープを介して該チャックテーブル上に載置して該粘着テープで該保持面の全面を被覆する載置ステップと、該載置ステップを実施した後、該吸引源を作動させて該粘着テープを介して板状物を吸引保持する保持ステップと、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 ノズルの位置を規定及び確認し易く、再現性も確保可能なブレードカバー装置を提供することである。
【解決手段】 スピンドルの先端に装着された切削ブレードを覆うブレードカバー装置であって、該スピンドルに固定されたベース部と、該切削ブレードの外周端面と対向配置され該切削ブレードに切削液を供給するノズルを有する該ベース部に装着されたノズル機構とを具備し、該ノズル機構は、該ベース部に取り付けられた該ノズルを備えたノズルアセンブリと、該ベース部に対して該ノズルのスピンドルの軸方向への位置を可変とする位置調整手段と、該スピンドルの軸方向における該ノズルの位置を示す目盛と表示マークとからなる位置表示手段と、を含むことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】複数のウェーハを自動的に搬送して連続的に加工を行うための搬出入装置について、部品点数が少なく、簡易な構成にて実現可能であり、更に、安価な製作コストを実現できる搬出入装置を提供する。
【解決手段】ユニット支持部には、複数の該被加工物ユニットを重ねて収容可能なユニットケースが着脱自在に配設され、搬出入手段のフレーム保持部の直下に、ターンテーブルのユニット通過部と、保持手段が位置付けられた際に、搬出入手段のフレーム保持部を上下動させることで保持手段に対する被加工物ユニットの搬入又は搬出が行われ、搬出入手段のフレーム保持部の直下に、ターンテーブルのユニット支持部が位置付けられた際に、搬出入手段のフレーム保持部を上下動させることでユニット支持部に対する被加工物ユニットの搬出又は搬入が行われる、ユニット搬出入装置とする。 (もっと読む)


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