説明

株式会社ディスコにより出願された特許

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【課題】ノッチを起点に発生したクラックによってデバイスが破損される恐れを低減可能なウエーハの研削方法を提供する。
【解決手段】複数のバンプを有するデバイスが形成されたデバイス領域と、該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に備え、外周縁にウエーハの結晶方位を示すV字状切欠き23が形成されたウエーハの裏面を研削して所定厚みへと薄化するウエーハの研削方法であって、ウエーハの表面からウエーハの仕上げ厚みに至る深さのクラック防止部としての切削溝25を該V字状切欠きの頂点に対向させてウエーハの該外周余剰領域に形成するステップと、ウエーハの表面に保護部材を配設する保護部材配設ステップと、該保護部材を介してウエーハをチャックテーブルで保持して裏面を露出させたウエーハの裏面を研削手段で研削して該仕上げ厚みへと薄化するステップと、を具備する。 (もっと読む)


【課題】シンプルな構成として破損などのトラブルも生じにくく、安価に製造可能な新規なブレード着脱補助治具を提供する。
【解決手段】切削ブレードが装着される高速回転可能なスピンドルと、該切削ブレードを該スピンドルに固定するための強磁性を有するナットと、を備えた切削装置に用いるブレード着脱補助治具であって、該スピンドルの回転を規制した状態で、該ナットに形成された被係合部と係合して該ナットを回転させるためのナット係合部と、該ナットを磁力によって保持可能な磁石と、を有することを特徴とするブレード着脱補助治具とする。 (もっと読む)


【課題】不透明な材料によって形成されたタンクであっても、タンクに収容された液体が光を浴びることなく、液面を確認することができる液面表示装置を提供する。
【解決手段】タンクに収容された液体の液面を表示する液面表示装置であって、タンクに収容された液体の液面を計測する液面計測手段と、タンクの外側に配設され該液面計測手段によって計測された液体の液面を表示する表示手段と、液面計測手段によって計測された計測信号に基づいて該表示手段に制御信号を出力する制御手段とを具備し、表示手段はタンクに収容された液体の液面の最上位位置から最下位位置に至る複数の位置に対応する位置にそれぞれ配設された複数の発光体を備えており、制御手段は液面計測手段によって計測された液体の液面に対応した発光体を発光せしめる。 (もっと読む)


【課題】チャックテーブルの吸引保持性能の良否を容易に判定できるようにする。
【解決手段】基台90と多孔質部材91とを貼り合わせて構成されるチャックテーブル9における貼り合わせ状態を検査するチャックテーブル検査装置1において、検査玉保持部50から検査玉500をチャックテーブル9の多孔質部材91に向けて落下させて多孔質部材91における検査玉500の跳ね上がりを監視センサ81で監視し、検査玉500の跳ね上がりが監視センサ81より高くなるか否かによって、チャックテーブル9の吸引保持性能の良否を判断する。チャックテーブル9の吸引保持性能の良否を適切に判断することができ、また、温度や湿度の影響を受けにくいため、正確な判定が可能となる。 (もっと読む)


【課題】 手間を掛けずに容易に送付先を変更できる通い袋を提供することである。
【解決手段】 第1の地点と第2の地点間で物品をやり取りする際に使用される通い袋であって、物品を収容する収容部を内部に有した袋本体と、該袋本体の外側に配設された透明部材で形成されたポケットと、第1の地点を送付先として表示する第1表示部と、該第1表示部に隣接して第2の地点を送付先として表示する第2表示部とを一面に有し、該ポケット内に出し入れ可能に配設された送付先明記部材と、該送付先明記部材を該ポケット内に挿入した際に該第1表示部と該第2表示部との間の該ポケットに一辺が接続され、該第1表示部を覆って該第1表示部を非表示とする第1被覆位置と該第2表示部を覆って該第2表示部を非表示とする第2被覆位置とにそれぞれ位置付け可能な不透明なカバー部材と、該カバー部材を該第1被覆位置で固定する第1固定部材と、該カバー部材を該第2被覆位置で固定する第2固定部材と、を具備したことを特徴とする通い袋。 (もっと読む)


【課題】カセット載置テーブルを引き出し及び収納する動作でウエーハカセット内のウエーハが飛び出さないようにすることを目的とする。
【解決手段】ウエーハカセット1は、対向する側板2にウエーハ10を収容する収容溝3が複数形成され、収容溝3は、ウエーハ10が収容される収容領域30と、ウエーハ10を収容領域30に収容する為のガイドの役割となる案内領域31と、から構成され、収容領域30より案内領域31を厚くして段差h3を形成している。そのため、ウエーハカセット1が載置された状態のカセット載置テーブルを引き出し及び収納する動作により、ウエーハ10がウエーハカセット1内から飛び出そうになっても、ウエーハ10の外周10bが案内領域31に形成された段差h3に接触するため、ウエーハ10がウエーハカセット1から飛び出すことを防止できる。 (もっと読む)


【課題】研削装置における隣り合う領域を仕切り板によって遮断するとともに、研削ホイールと仕切り板との接触を確実に回避する。
【解決手段】隣り合う領域の境界に配設される仕切り板11を、ウォーターケース10に固定される上部仕切り板と上部仕切り板に上下動可能に配設される下部仕切り板とで構成し、下部仕切り板がチャックテーブル2aの通過を許容する最上位に移動したときにターンテーブル8を回転可能とし、下部仕切り板13が最下位に移動することで搬入出領域10aと複数の研削領域10b、10cとに区分されそれぞれの領域を遮断するようにすることで、チャックテーブルを仕切り板11に衝突させることなくターンテーブル8を回転させて装置を稼働させることができる。また、下部仕切り板13を上昇させることで、研削ホイールをあまり上昇させなくても、研削ホイールと仕切り板11とを接触させることなくターンテーブル8を回転させることができる。 (もっと読む)


【課題】 被加工物を個々のチップに分割するのと同時に外周側面の少なくとも一部に傾斜面を有するチップを形成可能なチップ形成方法を提供することである。
【解決手段】 被加工物を分割して外周側面の少なくとも一部に傾斜面を有する複数のチップを形成するチップ形成方法であって、被加工物に該チップの該傾斜面に対応した複数の傾斜面を設定する傾斜面設定ステップと、被加工物に対して透過性を有する波長のレーザビームの集光点を被加工物内部に位置付けた状態で該レーザビームを照射しつつ、被加工物と該レーザビームとを相対移動させて該傾斜面に沿って互いに離間した複数の改質層を形成する改質層形成ステップと、該改質層形成ステップを実施した後、被加工物に外力を付与して該改質層を起点に該傾斜面に沿って被加工物を分割して複数のチップを形成する分割ステップとを具備したことを特徴とする (もっと読む)


【課題】ファンに加工屑等の異物が付着する恐れを低減してファンの吸引力の低下を防止可能な加工装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブルと、加工手段24と、加工液供給手段と、加工室31と、一端が該加工室31に連通すると共に他端がファン45に連通して該加工室31内の雰囲気を排気する排気路44とを備えた加工装置であって、該加工室31から該排気路44に流入した排気に含まれる廃液を気体から分離する分離手段48を更に具備し、該分離手段48は、一端に該加工室31に連通する吸気口54を有する底部50aと、上端部に該ファン45に連通する気体排出口56を有する立ち上がり部50bと、該底部50aと該立ち上がり部50bとを連結する屈曲部50cとから構成される筒状本体50と、該筒状本体50の該底部50aに形成された廃液を排出する廃液排出口58と、該廃液排出口58に連通する廃液排出路60と、を含む。 (もっと読む)


【課題】基板サイズに合わせてテープを切断するとともに基板に粘着テープを自動貼着できるテープ貼着装置を提供する。
【解決手段】テープ貼着装置2であって、カセット載置台6に載置されたカセット8から搬出入手段10で搬出された矩形基板を仮保持し反転手段24により180度反転可能な反転テーブル20を備えた仮保持手段と、該仮保持手段の直下に位置付けられて180度反転された反転テーブル20から矩形基板を受け取り矩形基板を保持する保持テーブル28と、保持テーブル28と該仮保持手段とを鉛直方向に相対移動させて該仮保持手段で仮保持した矩形基板を保持テーブル28に受け渡し可能とする鉛直方向移動手段と、保持テーブル28を該仮保持手段の直下である基板受け渡し位置と該保持テーブルで保持した矩形基板にテープを貼着する貼着位置との間で移動させる保持テーブル移動手段42と、該貼着位置に配設されたテープ貼着機構46とを備えた。 (もっと読む)


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