【課題】シンプルな構成として破損などのトラブルも生じにくく、安価に製造可能な新規なブレード着脱補助治具を提供する。
【解決手段】切削ブレードが装着される高速回転可能なスピンドルと、該切削ブレードを該スピンドルに固定するための強磁性を有するナットと、を備えた切削装置に用いるブレード着脱補助治具であって、該スピンドルの回転を規制した状態で、該ナットに形成された被係合部と係合して該ナットを回転させるためのナット係合部と、該ナットを磁力によって保持可能な磁石と、を有することを特徴とするブレード着脱補助治具とする。 （もっと読む）

【課題】不透明な材料によって形成されたタンクであっても、タンクに収容された液体が光を浴びることなく、液面を確認することができる液面表示装置を提供する。
【解決手段】タンクに収容された液体の液面を表示する液面表示装置であって、タンクに収容された液体の液面を計測する液面計測手段と、タンクの外側に配設され該液面計測手段によって計測された液体の液面を表示する表示手段と、液面計測手段によって計測された計測信号に基づいて該表示手段に制御信号を出力する制御手段とを具備し、表示手段はタンクに収容された液体の液面の最上位位置から最下位位置に至る複数の位置に対応する位置にそれぞれ配設された複数の発光体を備えており、制御手段は液面計測手段によって計測された液体の液面に対応した発光体を発光せしめる。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルの吸引保持性能の良否を容易に判定できるようにする。
【解決手段】基台９０と多孔質部材９１とを貼り合わせて構成されるチャックテーブル９における貼り合わせ状態を検査するチャックテーブル検査装置１において、検査玉保持部５０から検査玉５００をチャックテーブル９の多孔質部材９１に向けて落下させて多孔質部材９１における検査玉５００の跳ね上がりを監視センサ８１で監視し、検査玉５００の跳ね上がりが監視センサ８１より高くなるか否かによって、チャックテーブル９の吸引保持性能の良否を判断する。チャックテーブル９の吸引保持性能の良否を適切に判断することができ、また、温度や湿度の影響を受けにくいため、正確な判定が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 手間を掛けずに容易に送付先を変更できる通い袋を提供することである。
【解決手段】 第１の地点と第２の地点間で物品をやり取りする際に使用される通い袋であって、物品を収容する収容部を内部に有した袋本体と、該袋本体の外側に配設された透明部材で形成されたポケットと、第１の地点を送付先として表示する第１表示部と、該第１表示部に隣接して第２の地点を送付先として表示する第２表示部とを一面に有し、該ポケット内に出し入れ可能に配設された送付先明記部材と、該送付先明記部材を該ポケット内に挿入した際に該第１表示部と該第２表示部との間の該ポケットに一辺が接続され、該第１表示部を覆って該第１表示部を非表示とする第１被覆位置と該第２表示部を覆って該第２表示部を非表示とする第２被覆位置とにそれぞれ位置付け可能な不透明なカバー部材と、該カバー部材を該第１被覆位置で固定する第１固定部材と、該カバー部材を該第２被覆位置で固定する第２固定部材と、を具備したことを特徴とする通い袋。 （もっと読む）

【課題】カセット載置テーブルを引き出し及び収納する動作でウエーハカセット内のウエーハが飛び出さないようにすることを目的とする。
【解決手段】ウエーハカセット１は、対向する側板２にウエーハ１０を収容する収容溝３が複数形成され、収容溝３は、ウエーハ１０が収容される収容領域３０と、ウエーハ１０を収容領域３０に収容する為のガイドの役割となる案内領域３１と、から構成され、収容領域３０より案内領域３１を厚くして段差ｈ３を形成している。そのため、ウエーハカセット１が載置された状態のカセット載置テーブルを引き出し及び収納する動作により、ウエーハ１０がウエーハカセット１内から飛び出そうになっても、ウエーハ１０の外周１０ｂが案内領域３１に形成された段差ｈ３に接触するため、ウエーハ１０がウエーハカセット１から飛び出すことを防止できる。 （もっと読む）

【課題】研削装置における隣り合う領域を仕切り板によって遮断するとともに、研削ホイールと仕切り板との接触を確実に回避する。
【解決手段】隣り合う領域の境界に配設される仕切り板１１を、ウォーターケース１０に固定される上部仕切り板と上部仕切り板に上下動可能に配設される下部仕切り板とで構成し、下部仕切り板がチャックテーブル２ａの通過を許容する最上位に移動したときにターンテーブル８を回転可能とし、下部仕切り板１３が最下位に移動することで搬入出領域１０ａと複数の研削領域１０ｂ、１０ｃとに区分されそれぞれの領域を遮断するようにすることで、チャックテーブルを仕切り板１１に衝突させることなくターンテーブル８を回転させて装置を稼働させることができる。また、下部仕切り板１３を上昇させることで、研削ホイールをあまり上昇させなくても、研削ホイールと仕切り板１１とを接触させることなくターンテーブル８を回転させることができる。 （もっと読む）

【課題】 被加工物を個々のチップに分割するのと同時に外周側面の少なくとも一部に傾斜面を有するチップを形成可能なチップ形成方法を提供することである。
【解決手段】 被加工物を分割して外周側面の少なくとも一部に傾斜面を有する複数のチップを形成するチップ形成方法であって、被加工物に該チップの該傾斜面に対応した複数の傾斜面を設定する傾斜面設定ステップと、被加工物に対して透過性を有する波長のレーザビームの集光点を被加工物内部に位置付けた状態で該レーザビームを照射しつつ、被加工物と該レーザビームとを相対移動させて該傾斜面に沿って互いに離間した複数の改質層を形成する改質層形成ステップと、該改質層形成ステップを実施した後、被加工物に外力を付与して該改質層を起点に該傾斜面に沿って被加工物を分割して複数のチップを形成する分割ステップとを具備したことを特徴とする （もっと読む）

【課題】ファンに加工屑等の異物が付着する恐れを低減してファンの吸引力の低下を防止可能な加工装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブルと、加工手段２４と、加工液供給手段と、加工室３１と、一端が該加工室３１に連通すると共に他端がファン４５に連通して該加工室３１内の雰囲気を排気する排気路４４とを備えた加工装置であって、該加工室３１から該排気路４４に流入した排気に含まれる廃液を気体から分離する分離手段４８を更に具備し、該分離手段４８は、一端に該加工室３１に連通する吸気口５４を有する底部５０ａと、上端部に該ファン４５に連通する気体排出口５６を有する立ち上がり部５０ｂと、該底部５０ａと該立ち上がり部５０ｂとを連結する屈曲部５０ｃとから構成される筒状本体５０と、該筒状本体５０の該底部５０ａに形成された廃液を排出する廃液排出口５８と、該廃液排出口５８に連通する廃液排出路６０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】基板サイズに合わせてテープを切断するとともに基板に粘着テープを自動貼着できるテープ貼着装置を提供する。
【解決手段】テープ貼着装置２であって、カセット載置台６に載置されたカセット８から搬出入手段１０で搬出された矩形基板を仮保持し反転手段２４により１８０度反転可能な反転テーブル２０を備えた仮保持手段と、該仮保持手段の直下に位置付けられて１８０度反転された反転テーブル２０から矩形基板を受け取り矩形基板を保持する保持テーブル２８と、保持テーブル２８と該仮保持手段とを鉛直方向に相対移動させて該仮保持手段で仮保持した矩形基板を保持テーブル２８に受け渡し可能とする鉛直方向移動手段と、保持テーブル２８を該仮保持手段の直下である基板受け渡し位置と該保持テーブルで保持した矩形基板にテープを貼着する貼着位置との間で移動させる保持テーブル移動手段４２と、該貼着位置に配設されたテープ貼着機構４６とを備えた。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルやウェーハの表面の高さを高精度で認識することを可能とする加工装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、被加工物の表面を撮像する撮像手段と、Ｚ軸方向に加工手段又は撮像手段を移動させチャックテーブルに向かって接近・離反させるＺ軸移動手段と、Ｚ軸移動手段の駆動を制御する制御手段と、を備えた加工装置において、Ｚ軸移動手段は、加工手段又は撮像手段が固定された基台部と、基台部をＺ軸方向に移動させる駆動部を備え、基台部には、下端部に配設される当接部と、Ｚ軸の下降によってチャックテーブルの保持面又は保持面に保持された被加工物の表面に当接部が当接したことを電気信号で制御手段に出力する出力部と、を備えるタッチセンサーが搭載されていることを特徴とする加工装置とする。 （もっと読む）