【課題】固定砥粒ワイヤソーを用いた被加工物の切断において、切断位置でのワイヤ張力を適切に制御することが可能な固定砥粒ワイヤソーによる加工方法及び該加工方法によって作製されたウエハを提供する。
【解決手段】１本の固定砥粒ワイヤ１０を、メインローラ１８Ａ，１８Ｂに一定ピッチで複数回巻き掛けて構成したワイヤ列２０をその長手方向に往復走行させ、往復走行するワイヤ列２０に被加工物５０を押し当てることで、被加工物５０を複数箇所で同時に切断して複数枚のウエハへと加工する固定砥粒ワイヤソー１において、往復走行の走行方向の反転タイミングを、ワイヤ繰り出し側における予め設定した基準位置にあるワイヤ部位の移動する距離が、メインローラ１８Ａ，１８Ｂに巻き回されているワイヤの長さ以上となる時点とした。 （もっと読む）

【課題】うねりの小さい基板を容易に製造できるようにした切断装置及び基板の製造方法、半導体ウエハを提供する。
【解決手段】一対のローラー１０間にワイヤー２０が巻き掛けられてワイヤー列２１が構成され、ワイヤー列２１を一対のローラー１０間で移動させながら当該ワイヤー列２１にインゴット１を押し当てて該インゴット１を切断するワイヤーソー１００であって、補助ローラー６０を備える。この補助ローラー６０は、ワイヤー列２１に対しインゴット１からの負荷がない状態で、ワイヤー列２１に当接してその張力を増加させる。 （もっと読む）

【課題】シリコンインゴットを切断して枚葉化したウェハを効率よく洗浄し分離可能にでき、ウェハの量産に適したローダー装置を提供する。
【解決手段】液槽(2)の上方から液槽内に向けて放射状に延びる複数の腕部材(32)を回転盤(31)に有し、腕部材の座部(32a)のそれぞれにシリコンインゴットを切断してなる枚葉化した多数枚のウェハ群Ｗを横置きに層状に積載した積載台(40)を載置して液体内で一方向に旋回させ順次送りながらウェハ群を貯留する貯留装置(30)と、積載台支持部材(13,14)を液体内で上下方向を含む２軸方向に延びる互いに平行な面内にてそれぞれ独立して自在に移動させる一対の昇降機(11,12)からなる昇降装置(10)とを備え、これら一対の昇降機は、それぞれ貯留装置の腕部材の所定の停止位置にて積載台支持部材と腕部材の座部との間で直接的に積載台の授受を行い、上記２軸方向の面内で積載台を搬送する。 （もっと読む）

【課題】固定砥粒ワイヤソーを用いた半導体インゴットの切断効率を向上するのに好適な半導体インゴットの切断方法及び固定砥粒ワイヤソーを提供する。
【解決手段】固定砥粒ワイヤ１０を、メインローラ１８Ａ，１８Ｂに複数回巻き掛けて構成したワイヤ列２０をその長手方向に走行させて、走行するワイヤ列２０に半導体インゴット５０を押し当てることで、半導体インゴット５０を複数箇所で同時に切断して複数枚のウエハへと加工するに際して、切断時のワイヤ走行速度Ｖｗを、１００[ｍ／ｍｉｎ]＜Ｖｗ＜４００[ｍ／ｍｉｎ]の範囲内の速度とした。 （もっと読む）

【課題】インゴット等を複数のウエハに切断するワイヤソー装置及びこれを用いたウエハの製造方法を提供する。
【解決手段】ワーク５０を切断するワイヤＷを切断後のウエハの厚さに対応するように複数本並行した状態で保持する保持部を外周に設けたワイヤ保持ローラ１１，１２と、複数のワークを同時に切断するための複数のワーク切断部を前記ワイヤ保持ローラ間に形成するようにワイヤ保持ローラ間に配置された少なくとも２つの補助ローラ１５，１６と、ワイヤ保持ローラと補助ローラが取り付けられる基台とを有したワイヤソー装置であって、基台と補助ローラとの間には補助ローラ移動機構４０が備わり、補助ローラ移動機構を介してワイヤ保持ローラと補助ローラにかけられる一周分のワイヤ長さを変えることなく、ワーク切断部におけるワイヤの傾きが逐次変化するようにワイヤを揺動させる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハを、安価で効率良く、かつ製品歩留まりを上げながら製造することができるワイヤソーのクーラント管理システムを提供する。
【解決手段】半導体のインゴットから厚さの薄い半導体ウエハを複数枚製造する固定砥粒方式のワイヤソーのクーラント管理システムであって、インゴットをワイヤソー６００（６１０，６２０，６３０）によって切断した際に使用したクーラントの少なくとも一部を、そのＳＳ濃度を低下させてリサイクルクーラントとしてワイヤソーによるインゴット切断に再び使用するリサイクルクーラント循環流路を備え、かつリサイクルクーラント循環流路の途中に使用済みクーラントのＳＳ濃度を低下させたリサイクルクーラントを生成するフィルタプレス８１０，８２０（８００）を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハを、安価で効率良く、かつ製品歩留まりを上げながら製造することができるワイヤソー装置を提供する。
【解決手段】固定砥粒方式のワイヤソー装置１において、ワイヤをインゴットに対して特定の方向に相対移動させてインゴットを切断した後、逆方向にワイヤをインゴットに対して相対移動させて、ワイヤをインゴットから抜くようになっており、ワイヤによるインゴット切断中に切断部分にかけるインゴット切断用クーラントを供給すると共に、ワイヤをインゴットから抜く際に、インゴット切断用クーラントとは異なるワイヤ抜き用クーラントをかけるようになっており、ワイヤ抜き用クーラントは、クーラント内に含有するインゴット切削屑の割合がＳＳ濃度で３％乃至０％である。 （もっと読む）

【課題】インゴットからなるワークをソーマークやチッピングのない複数のウエハに切断するワイヤソー装置及びこれを用いたウエハの製造方法を提供する。
【解決手段】ワーク１１０を切断するワイヤＷを保持するワイヤ保持部材を外周に設けたワイヤ保持ローラ１２０，１３０と、ワークを切断するワイヤを保持するワイヤ保持部材を外周に設けた補助ローラ１４０を有し、これらローラの外周に備わったワイヤ保持部材は、その外周面にワイヤずれ防止用の溝が所定間隔隔てて複数形成され、各ワイヤ保持ローラのワイヤ保持部材の溝から補助ローラのワイヤ保持部材の溝に掛けられたワイヤのなす角が一定の角度となるように、補助ローラのワイヤ保持ローラに対する突出し量を調整する補助ローラ位置調整手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】容器内の液体を万遍なく当該容器内において循環させることができる液体循環装置及びこれを用いた家庭用水耕栽培装置を提供する。
【解決手段】液体６を収容するための容器２と、液体中に開口した入口３ａ及び出口３ｂを有し、液体６を循環させるための循環経路３と、該循環経路３にエア供給口４ａを介して接続され、液体６を前記入口３ａから吸い込んで一方向に流通させ、前記出口３ｂから送出させるためのエア供給管４と、エア供給管４に接続されたエアポンプ５とを備え、循環経路３の前記入口３ａ及び前記出口３ｂの一方又は両方は、容器２の内壁面の近傍にて内壁面に沿う方向に開口し、前記エア供給口４ａは、循環経路３における前記液体６の流通方向で上昇している部分に設けられている。 （もっと読む）

【課題】水に酸素を含ませて光触媒反応を行うことができ、濁水に対する浄水性を高めることができる浄水装置を提供する。
【解決手段】水圏外に配置された浄化容器５と、浄化容器５内に収容された光触媒フィルタ４と、浄化容器内の水を排水するための排水部６とを含む、光触媒ユニット２と、浄化容器５内に配設された出口、水圏中に配置された入口を有し、この入口からエアが供給されたとき、このエアとともに前記水圏中の前記濁水を前記浄化容器５内に供給する曝気配管９と、曝気配管９の入口内に一端を有するとともに水圏外に他端を有するエア供給管８と、エア供給管８の他端に接続され、エア供給管８を通じて曝気配管９内にエアを送り込むエアポンプ７とを含む、曝気ユニット７で構成した。 （もっと読む）