【課題】半導体ウエハを裏面研削した後の極薄ウエハ（１０〜２００μｍウエハ厚み）は強度が小さく破損しやすい。また、変形しやすくその後のプロセスの自動化が困難である。
【解決手段】極薄化ウエハを真空吸着し固定できるウエハ処理トレイを用いる。トレイの真空吸着部は、ウエハを載置するウエハ吸着面、吸着面上に開口したウエハを真空吸着する複数の吸着孔、吸着孔が接続する減圧室、外部真空ラインと接続する吸引口、および減圧室と吸引口とを接続する吸気孔を持つ。ウエハが吸着面に載置された後に、吸引口から真空吸着部が真空引きされウエハが吸着面に吸着固定される。切替弁を閉じることにより真空吸着部の真空度が保持される。処理トレイの搬送やプロセスも自動化が可能となる。また、トレイ周縁部が吸着されたウエハより高いので、トレイの積み重ねもできる。トレイは繰り返し使用できるため、環境負荷も少ない。 （もっと読む）

【課題】 サブ波長格子がその機能を常時有効に発揮することができるサブ波長格子光学素子を提案する。
【解決手段】 本発明のサブ波長格子光学素子は、少なくとも１つが透明な材料で形成されている複数の基材によって気密空間を形成する。この気密空間を構成する少なくとも１面に、光を制御するためのサブ波長格子が設けられている。サブ波長格子が気密空間内に存在するため、サブ波長格子の突起の損傷を防止でき、また、サブ波長格子に対する水や油などの付着を防止できる。 （もっと読む）

【課題】極薄ウエハを破損せずに出し入れすると同時に、搬送、処理することが可能な薄板収納容器を提供する。
【解決手段】極薄化ウエハ３７を真空吸着し固定できる薄板収納容器を用いる。収納容器の真空吸着部は、ウエハを載置するウエハ吸着面、吸着面上に開口したウエハを真空吸着する複数の吸着孔、吸着孔が接続する減圧室、外部真空ラインと接続する吸引口および減圧室と吸引口とを接続する吸気孔を持つ。減圧室には支持隔壁が設置され、吸着板を支える。吸着板は、収納容器から分離できる構造である。吸着面が弾性材料で、他方が一定の強度を有する高分子材料で構成する二層構造である。収納容器は、好適にはウエハ吸着面が周縁部に対し凹状である。ウエハが真空吸着固定されるので、薄板収納容器の搬送やプロセスも自動化が可能となる。収納容器は繰り返し使用でき、環境負荷も少ない。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハを裏面研削した後の極薄ウエハ（１０〜２００μｍウエハ厚み）は強度が小さく破損しやすい。また、変形しやすくその後のプロセスの自動化が困難である。
【解決手段】裏面研削後に、ウエハ表面保護フィルムを付着させたまま処理トレイに真空吸着させウエハを固定する。処理トレイは真空吸着部を持ち、ウエハ搭載面に真空吸着孔がある。保護フィルムを剥離後、ウエハ切断、チップ移載を行う。ウエハは処理トレイで固定されていて、平坦な状態を維持できるので、処理トレイ吸着後の工程を自動化できる。ウエハの破損もなくなり各種検査もできるので、コストの低いプロセスを構築できる。また、裏面加工歪除去をエッチングトレイを用いて処理可能である。トレイは繰り返し使用できるため、環境負荷も少ない。トレイには情報表示手段を載せ枚葉管理もでき、トレーサビリティ等の製品信頼性も向上する。 （もっと読む）

【課題】 製造工数を抑えて安価な光源モジュールを提供する。
【解決手段】 本発明は、例えば、少なくとも３原色ＬＥＤと、Ｘ型ダイクロイックプリズムとを有する光源モジュールに関する。Ｘ型ダイクロイックプリズムのＸ型ダイクロイックプリズムのＸ面における光反射面が位置する部分には、所定の間隙が環境から気密に形成されており、第１帯域の光を反射する第１面は異なるプリズム面を含む同一面上に形成され、第２帯域の光を反射する第２面も異なるプリズム面を含み第１面と直交する同一面上に形成され、第１面には前記第１帯域の光を選択的に反射するサブ波長格子が形成されており、第２面には第２帯域の光を選択的に反射するサブ波長格子が形成されている。３原色ＬＥＤから出射された光がＸ型ダイクロイックプリズムで略同一光軸上で加法混色して出射される。 （もっと読む）

【課題】極薄ウエハを破損せずに出し入れすると同時に、搬送、処理することが可能な薄板保持容器を提供する。
【解決手段】薄板収納容器２１の上側面の第１載置部２３Ａが薄板収納容器２１の周縁部２５Ａに対して凹状になり、薄板収納容器２１の下側面の第２載置部２３Ｂが薄板収納容器２１の周縁部２５Ｂに対して凸状になっている。薄板収納容器２１を重ねた時に、下の薄板収納容器２１における上側面の周縁部２５Ａが上の薄板収納容器２１における下側面の周縁部２５Ｂと重なり、上の薄板収納容器２１の第２載置部２３Ｂは下の薄板収納容器２１の凹部に入り込む構造になっている。載置部２３は柔軟性材料や弾性材料で形成される。ウエハは上下の載置部２３に挟持されて固定する。この結果、ウエハを搭載した薄板収納容器２１の搬送やプロセスも自動化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】薄板収納容器用フック５を容易に取り付け、下側容器部２と上側容器部３とを容易に固定する。
【解決手段】板状の本体部２５と、上側容器部３の係止板１５に引っ掛けるための溝部２６Ａを形成する上側フック部２６と、下側容器部２の係止板７に引っ掛けるための溝部２７Ａを形成する下側フック部２７と、前記上側フック部２６及び下側フック部２７の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠いて形成されたバネ取付け部２８と、各バネ取付け部２８に掛け渡して取り付けられた板バネ２９と、この板バネ２９の途中に設けられ下側容器部２側及び上側容器部３側の各係止板７、１５にそれぞれ形成された切り欠き８に嵌合して位置決め支持する係止用突起３０とを備えて構成した。前記上側フック部２６と下側フック部２７とは、上下対称に形成した。また、上側フック部２６及び下側フック部２７はそれぞれ左右対称に形成した。 （もっと読む）

【課題】低い荷重でシール性を有するとともに、シール面全周領域における締め代のバラツキが生じても安定したシール性を発揮できるシール材を提供する。
【解決手段】リップ部１６にはリップ部１６の装着溝１２の底面１２Ｃに対する傾斜角度を変更させる屈曲部１８が形成されているため、相手部材２０からリップ部１６に反力が作用した場合でも、急激にシール反力が増加することなくリップ部１６の撓み量とシール反力とが略比例関係となる。この結果、シール面全周にわたりシール材１０の圧縮量に多少のバラツキが生じてもリップ部１６の弾性変形によりこれを許容でき安定したシール性を発揮できる。また比較的接触面積の少ないリップ部１６によりシールすることにより、少ない締め付け荷重によりシールを実現でき、オープナー開閉装置による自動開閉作業が前提となる半導体ウエハ用の運送・搬送容器のシール材として好適なものとなる。 （もっと読む）

【課題】 コントラストの向上や外光の悪影響の抑制できる、製造が容易で低コストの光学シートや画像表示装置を提供する。
【解決手段】 本発明の光学シートは、一面が平面で他面がマイクロレンズ面のマイクロレンズアレイシートと、入射方向によって光吸収特性が異なる、マイクロレンズ面に面した異方性光吸収シートとが近接して配置されて構成されている。また、マイクロレンズアレイシート、異方性光吸収シート及びピンホールアレイシートが、この順に近接して配置されて光学シートが構成されていても良い。さらに、マイクロレンズアレイシート、異方性光吸収シート、ピンホールアレイシート及び光拡散シートが、この順に近接して配置されて光学シートが構成されていても良い。本発明の画像表示装置は、画像表示素子の表示面に近接して、本発明の光学シートを配したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 部品点数が少ない背面投射型画像投射装置用スクリーンを提供する。
【解決手段】 本発明は、背面投射型画像投射装置に適用するスクリーンに関する。本発明のスクリーンは、一面にフレネルレンズ面が形成されていると共に、他面にマイクロレンズアレイ面が形成されている光学シートと、入射方向によって光吸収特性が異なる、マイクロレンズアレイ面に面した異方性光吸収シートとが近接して配置されて構成されている。別の本発明のスクリーンは、上述の光学シート、上述の異方性光吸収シートと、ピンホールアレイシートとが、この順に近接して配置されて構成されている。さらに別の本発明のスクリーンは、上述の光学シート、上述の異方性光吸収シートと、ピンホールアレイシートと、光拡散シートとが、この順に近接して配置されて構成されている。 （もっと読む）