説明

ミライアル株式会社により出願された特許

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【課題】化学吸着剤41を清浄に保った状態でケミカルフィルター26を組み立てる。
【解決手段】本体部33の下側を構成する受け皿部37と、本体部33の上側を構成するキャップ38と、受け皿部37の底部に装着される下側フィルター部39と、上記キャップ38の天井部に装着される上側フィルター部40と、上記受け皿部37及びキャップ38を合わせてできる空間に充填される化学吸着剤41と、上記受け皿部37及びキャップ38の合わせ目を覆って取り付けられるリング枠42とを備え、上記下側フィルター部39と上記受け皿部37との間の全周、上記上側フィルター部40と上記キャップ38との間の全周、上記受け皿部37と上記リング枠42との間の全周及び上記キャップ38と上記リング枠42との間の全周を超音波接合した。 (もっと読む)


【課題】薄板支持容器を載置台に載置する際に、位置ずれを補修して正確に位置決めする。
【解決手段】半導体ウエハ等を内部に収納する容器本体22と、この容器本体22に設けられて容器本体22を載置台に載置してその内部の半導体ウエハ等を出し入れするために容器本体22を上記載置台の設定位置に位置決めする位置決め手段23とを備えた薄板支持容器21である。上記位置決め手段23は、上記載置台の嵌合突起に嵌合する嵌合溝24と、当該嵌合溝24が上記嵌合突起に嵌合した状態で当該嵌合突起に接触する傾斜面25とを備えた。上記傾斜面25は、上記嵌合突起との接触面積を小さくして摩擦抵抗を低減するようにシボ加工を施した。 (もっと読む)


【課題】 マイクロレンズアレイを用いたスクリーンにおいて、輝度や視角特性を低下させることなく外光に対する遮光効果を向上させてコントラストの良い背面投射型スクリーンを安価に提供するとともに、ホコリを吸着し難いために長期に渡って画質の劣化を起こさない背面投射型スクリーンを提供することを目的とする。
【解決手段】 平行に入射した光を焦点に集光するマイクロレンズ3を一方の面に配列してなる透明なマイクロレンズアレイシート1と、特定方向からの光を透過し、それ以外の光を吸収する開口を持った指向性光吸収シート2とを少なくとも有する背面投射型スクリーンであって、上記開口は、上記マイクロレンズ3の焦点近傍に開口したピンホール5を配列したピンホールアレイであり、上記ピンホールの開口部は錐体台形をしてなる構造とした。 (もっと読む)


【課題】 極めて薄いシンウエハーを安全にかつ確実に支持することができると共に容易に出し入れできるようにする。
【解決手段】 内部に1枚のシンウエハー4Aを収納する容器本体2と、当該容器本体2に取り付けられる蓋体3とを備えた枚葉収納容器1である。容器本体2側に位置して蓋体3を底面側から支持する底面支持部材35と、蓋体3側に位置して上側表面側から支持する表面支持部材36とを備えた。底面支持部材35は、シンウエハー4Aの中央部分を支持する中央支持部37と、外周部分を支持する外周支持部38と、径方向外方から支持する周縁支持部39と、上記中央支持部37と外周支持部38とを一体的に結合する環状板部40を備えた。表面支持部材36は、シンウエハー4Aを上側から覆う円盤部43と、上記底面支持部材35と共に上記シンウエハー4Aを挟むようにして支持する当接部44,45とを備えた。 (もっと読む)


【課題】 一般の作業者が特殊な道具を用いることなく容易に樹脂製管材の接続が可能な樹脂製管継手を提供することを目的とする。
【解決手段】 筒状の受口7a、7bを一端部に有する合成樹脂製の継手本体2、3と、インナーリング部6b、6cが少なくとも管部の一端に一体に形成された所定の口径と長さを有する合成樹脂製の管ユニット6と、前記継手本体2、3の前記受口7a、7bにねじ込まれる押輪4、5とからなる樹脂製管継手ユニットであって、前記押輪4、5が前記継手本体2、3の前記受口7a、7bにねじ込まれるときに、前記インナーリング部6b、6cの端面を前記継手本体2、3側に押圧することによって前記管ユニット6を前記継手本体2、3に接続する構造とした。 (もっと読む)


【課題】 収納された半導体ウエハー4を容易に出し入れできる枚葉収納容器を提供する。
【解決手段】 内部に1枚の半導体ウエハー4を収納する容器本体2と、この容器本体2に取り付けられる蓋体3とを備えた枚葉収納容器1である。容器本体2が、半導体ウエハー4を載置する底板部5と、この底板部5の周囲に形成された周壁部6とを備え、底板部5が周壁部6よりも高い位置まで隆起させて形成した。容器本体2の底板部5には、半導体ウエハー4を底板部5との間に隙間を空けた状態で支持するための複数の薄板支持凸条8を備えた。蓋体3天板部21の内側面には、容器本体2の底板部5に載置された半導体ウエハー4の周縁部を支持する複数のリテーナー24を備えた。 (もっと読む)


【課題】蓋体内のスペースを拡大して内部に収納する部材の設計の自由度を大きくできる気密容器を提供する。
【解決手段】内部に半導体ウエハーを複数枚収納する容器本体と、容器本体を塞ぐ蓋体14と、容器本体と蓋体14との間を密封するシールとを備えた気密容器であって、蓋体14の内側板部30Aに、半導体ウエハーを1枚ずつ支持する支持溝41を備えた。支持溝41は、蓋体14の内側板部30Aに容器本体側へ向けて開口して形成され、半導体ウエハーが1枚ずつ嵌合して支持される長溝によって構成した。支持溝41の底部にはV字溝部42を形成した。他の構成の支持溝は、内側板部30Aに形成された逃がし溝部と、カバー板と内側板部30Aとの間の薄板支持空間に、逃がし溝部に対応して設けられて逃がし溝部に嵌合した半導体ウエハーを1枚ずつ支持する薄板支持体とから構成した。 (もっと読む)


【課題】 方向を間違えて装着されたレチクル搬送容器11を自動的に修正する。
【解決手段】 レチクル搬送容器11と、レチクル搬送容器11を搬送する搬送手段(4、5)と、回路パターンを焼き付ける露光機と、複数のレチクル12を保管するレチクルストッカー2とを有するレチクル処理システムである。レチクルストッカー2から露光機1の焼き付け位置までの経路に、レチクル搬送容器11の向きを検出してレチクル搬送容器11を適切な向きに変更する向き変更手段81を備えた。向き変更手段81は、レチクル搬送容器11を回転させる回転駆動部82と、レチクルストッカー2から露光機1の焼き付け位置までの経路のいずれかに設けられレチクル搬送容器11の方向を検出する方向検出手段83と、方向検出手段83で検出した方向が180°ずれている場合に回転駆動部82を制御して正規の方向に修正する制御部84とを備えた。 (もっと読む)


【課題】 洗浄、乾燥時の作業性を向上させる。
【解決手段】 容器本体内に半導体ウエハを収納する収納容器である。容器本体に、ハンドル21及びトップフランジが設けられると共に、これらが上記容器本体に対して着脱可能に装着される着脱機構部23を備え、当該着脱機構部23を、上記容器本体側の被嵌合部に直接嵌合される嵌合板と、当該嵌合板が上記被嵌合部に嵌合された状態でこれらを固定するロック部28とから構成した。当該ロック部28は、上記容器本体側に設けられた嵌合穴34と、上記嵌合板側に揺動可能に設けられると共に一端部に上記嵌合穴34に嵌合する嵌合爪35を有する揺動片36と、当該揺動片36が一方へ揺動して上記嵌合爪35が嵌合穴34に嵌合した状態と他方へ揺動して上記嵌合爪が嵌合穴から外れた状態とでそれぞれ固定するストッパとから構成した。 (もっと読む)


【課題】 レチクル搬送容器の方向を間違えてもレチクルストッカーに装着できるようにする。
【解決手段】 一端に開口を有しレチクル12を収納する内部を有し、開口を覆って塞ぐ扉14と、扉14でポッド13を塞いだときに内部を気密にシールするシール材15とを備えたレチクル搬送容器11である。扉14の外側表面に形成されて、装置側に位置決めして取り付けるためのキネマティックピングルーブを、180°方向を変えて二組設けた。ポッド13の外側表面のうち、キネマティックピングルーブに対応した位置には、キネマティックピングルーブを受けて保持するための受け部22を、二組のキネマティックピングルーブをいずれの方向からでも嵌合できるように配設した。 (もっと読む)


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