説明

株式会社ブイテックスにより出願された特許

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【課題】バルブシートの着脱作業を容易に行い得るバルブ装置を提供する。
【解決手段】四方の側壁部11,12及び上下の端壁部13から成るバルブ収納体3内に配置され且つ中央に開口部17が形成されたバルブシート4と、バルブシート4に沿ってスライド可能に配置されて開口部17を開閉可能なバルブ本体5と、バルブ収納体3の下端壁部13Dに設けられてバルブ本体5をスライドさせて開口部17を開閉駆動するバルブ駆動体6とから構成し、バルブシート4をバルブ駆動体6の設置側とは反対側である上端壁部13Uに固定し、バルブシート4の下縁部に、その先端が細くなるようにシート側傾斜面4iを形成すると共に、バルブ収納体3の内部に、シート側傾斜面4iに対応する固定側傾斜面15iを有してバルブシート4をバルブ収納体3内に挿入する際に側壁部11に押し付けて固定し得る縁部押圧部材15を、配置したもの。 (もっと読む)


【課題】水平面および傾斜面からなるシール面に、通常の切削機であっても支障なく形成し得るようなシール用溝部を有するバルブ装置を提供する。
【解決手段】開口部16が形成された正面視が台形状と逆台形状とを合わせてなる六角形状の仕切面Sを有するバルブシート4と、この仕切面Sと平行に移動されて開口部16を開閉し得るバルブ本体5とを有するバルブ装置であって、バルブシート4とバルブ本体5とのシールを行うためのシール面21〜23,26〜28を、仕切面Sと直交する方向、つまり前後方向で形成すると共にこの仕切面Sの外周に沿ってそれぞれ六角形状となし、バルブ本体5側のシール面26〜28に、断面が円形のシール材32に対応して円形状にされると共にその外周から中心に向かって所定高さだけ切除されてなる内面C字形状のシール用溝部31を形成したもの。 (もっと読む)


【課題】フィルムが弾性筒体の内面に貼着するゲートバルブの使用でも、遮断による真空確保の問題を改善し、かつフィルムの貼着力を小さくし、通常のフィルム通過に問題を派生させないゲートバルブおよびフィルムのゲートバルブ通過方法を提供する。
【解決手段】入口側と出口側のフィルム通過窓と内部のま空間部が形成されたバルブ本体と、前記空間部内を延在し、前記入口側と出口側のフィルム通過窓をそれぞれ包囲閉塞する弾性筒状部を備えた筒体と、前記空間部の前記弾性筒状部のフィルム10,が通過する側を内面とした時に、外面に接触して該弾性筒状部を面押圧するピストン71A、71Bと、から構成された気密を保持するゲートバルブにおいて、前記ピストン71A、71Bは、その押圧する面が、フィルム端部に接触する面で幅広とし、中央部96、97において幅狭とし、幅狭面の幅は8mm未満、幅広面の幅は8〜20mmとする。 (もっと読む)


【課題】ガスの種類、流量等で変化する真空容器内の圧力をシミュレーションし得る装置を提供する。
【解決手段】真空バルブにより真空容器内圧力を所定の処理時間間隔で制御する圧力制御装置9を具備する真空処理装置における真空容器のシミュレーション装置で、開度検出器22で検出されたバルブ開度を入力してバルブ特性曲線に基づきバルブのコンダクタンスを求めるコンダクタンス取得部72と、ここで得られたコンダクタンスに、前回処理時の真空容器内圧力を乗算して排出ガス量を求める排出ガス量計算部73と、ここで得られた排出ガス量に、ガス流量テーブルから処理経過時間に応じて得られた今回処理時における流入ガス量を入力して真空容器内の圧力変化を求める圧力変化計算部75と、ここで得られた圧力変化に前回処理時における真空容器内圧力を加算して今回処理時における真空容器内圧力を求める容器圧力計算部76とを具備したもの。 (もっと読む)


【課題】ゲートの退避および閉塞移動時も含めてゲート開放状態から閉塞状態および閉塞状態から開放状態において、ゲート退避室への異物の侵入、付着を少なくする。
【解決手段】シャッタは、ゲートがゲート退避室に収納されたときに、シャッタ移動室を移動されてシャッタシール部が固定シール部に接触することによって入口を閉塞し、かつゲートがシャッタ移動室を移動されて第一のゲートシール部が固定シールに接触することによって排気口を閉塞したときに、シャッタ移動室を移動されてシャッタシール部が第二のゲートシール部に接触することによって入口を閉塞する。 (もっと読む)


【課題】外部リークをより少なくして真空状態を維持することができ、頻度の高いローラ交換時に素早く雰囲気圧力状態を形成し、1min(分)に1回は要する動作頻度に即座に対応することのできるフィルム搬送装置に使用するゲートバルブを提供する。
【解決手段】入口側のフィルム通過窓、弾性筒体の内部および出口側のフィルム通過窓はフィルムを通過させ、該フィルムが通過の一過程で、ピストンは弾性筒体を面押圧して該弾性筒体の内部両面を前記フィルムを介して密着させて前記入口側のフィルム通過窓および出口側のフィルム通過窓の連通を遮断する。 (もっと読む)


【課題】弁への負荷を軽減し、弁の開閉動作とシール動作とを独立させて小型化かつ安価なゲートバルブを提供する。
【解決手段】弁体アッセンブリの長手方向にあって、弁箱に固定された2つの第2の駆動装置を有し、第2の駆動装置と弁体アッセンブリの間に第2の駆動装置によって生成した長手方向の操作力を直角方向の操作力に変換する操作方向変換部を備え、第1の駆動装置によって、弁体アッセンブリを垂直方向に移動させて弁体アッセンブリを弁座に対していずれにも非接触状態である中立位置に保持し、第2の駆動装置によって、長手方向の操作力を生成し、操作方向変換部によって、長手方向の操作力をいずれかの直角方向の操作力に変換して中立位置にある弁体アッセンブリをいずれかの直角方向に移動させる。 (もっと読む)


【課題】低真空領域での圧力制御を容易に可能とすることができ、制御時間を大幅に短縮する。
【解決手段】弁支えの弁デスクに対する相対的な移動に伴なって弁デスクを弁座の方向に受け板を反弁座面の方向に拡げる手段と、受け板を保持する手段と、を有して、受け板を保持手段によって保持する時に弁デスクは弁座に対して未完閉止状態におかれ、弁支えの弁デスクに対する更なる相対的移動に伴なって弁デスクは弁座に対して完全閉止状態におかれるようにして構成される。 (もっと読む)


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