説明

株式会社大真空により出願された特許

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【課題】 簡便な構成で、周波数調整に係る生産効率に優れた圧電振動デバイスの周波数調整装置を得る。
【解決手段】
圧電振動デバイスの周波数調整装置は、真空室1と、真空室内に設けられたイオンガン2と、水晶振動子(圧電振動デバイス)3と、水晶振動子を搭載するパレット4と、パレット4を搬送する搬送機構とを有し、真空室外部には周波数測定部6や真空ポンプ7(図示せず)あるいは不活性ガス供給部23等を有する構成である。下方にイオンガン2が配置されており、当該イオンガン2はアクチュエータ25により、移動可能となっている。パレットの収納部の一部には電流密度センサ8が収納されている。 (もっと読む)


【課題】 機械的強度を低下させることなく、低背化に対応した圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 水晶振動子1は、一対の基材2,4が、水晶基板3の表裏に接合材を介して各々接合された構成である。水晶基板3の表裏主面には、表裏で形成方向が異なる厚肉部301,303と、薄肉部302,304とが各々形成されている。一対の基材2,4の水晶基板3との接合面側には、厚肉部301,303と対応した薄肉部22,46と、水晶基板3の薄肉部302,304と対応した厚肉部21,45とが各々形成されている。厚肉部21,45は前記基材2,4の少なくとも1つの角部を含む領域に偏って形成されており、一対の基材の薄肉部および厚肉部と、前記圧電基板の厚肉部および薄肉部とが、それぞれ接合材を介して一対一で嵌合される。 (もっと読む)


【課題】 スペースの無駄領域をなくしてパッケージの小型化に対応させながら圧電振動デバイスの電気的特性のばらつきや低下を抑制した表面実装型圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電振動板を収納する絶縁性のベース1と気密封止する蓋3とを有する表面実装型圧電振動デバイスであって、前記ベースは平面視矩形状の底板部と、当該底板部の一方に形成された側壁部と、前記底板部の他方に形成された開放部とを有しており、前記圧電振動板の両端部が前記開放部で金属ろう材4を介して封着され、当該金属ろう材が前記開放部を充填することで第1封着部141と第2封着部151を構成しており、前記蓋の底面側が前記第1の封着部と第2の封着部、および前記ベースの側壁部の上面で絶縁性封止材5を介して前記ベースの上面部に対して封着され、当該絶縁性封止材が第3封着部31を構成してなる。 (もっと読む)


【課題】ワークのコンベックス加工時間が長くなるのを抑えるとともに、一定形状のコンベックス加工を加工対象のワーク全てに施す。
【解決手段】コンベックス研磨装置1には、曲面成形された研磨面31を有する研磨部3と、ワークである水晶素板2を取り付ける取付治具4と、取付治具4を支持する支持部5と、取付治具4を挿脱可能な孔部63を有し、研磨面31の曲面補修をする補修治具6と、が設けられている。このコンベックス研磨装置1では、研磨面31に補修治具6が配され、かつ、補修治具6の孔部63に取付治具4が挿通されて取付治具4に取り付けられた水晶素板2が研磨面31に配された状態で、補修治具6および取付治具4に取り付けられた水晶素板2は研磨面31上を摺動する。 (もっと読む)


【課題】ワークへのコンベックス加工の途中であっても他の製造工程を行うことが可能なコンベックス研磨装置に用いるワークの取付治具を提供する。
【解決手段】取付治具4は、コンベックス研磨装置1に用いられ、ワークである水晶素板2を取り付ける。この取付治具4には、水晶素板2をその外周で保持する保持部43と、当該取付治具4を支持するコンベックス研磨装置1の支持部5を着脱自在に取り付ける取付部44と、が対向して設けられている。そして、この取付治具4では、水晶素板2を保持部43で保持した際、水晶素板2の両主面21,22の振動領域23が非接触状態となる。 (もっと読む)


【課題】 搭載領域の無駄をなくしながら小型化・低背化に対応した表面実装型圧電発振器とその製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電振動板3と集積回路素子2を収納する絶縁性のベース1を有する表面実装型圧電発振器であって、前記ベースは側壁部と第1の収納部10a、当該第1の収納部の側壁部と接続された段差部10cと、前記第1の収納部と前記段差部の上面に配置される第2の収納部10bとが形成されており、表裏面に配線パターンが形成された板状の回路基板4の上面側と前記圧電振動板と、当該回路基板の底面側と前記集積回路素子とがそれぞれ導電性接合材で接合されるとともに、前記段差部上面の配線パターンと前記回路基板の底面側の配線パターンの一部とが導電性接合材で接合される。 (もっと読む)


【課題】傷や異物等がある不確定な部位の実際の大きさ(寸法)を測定する画像検出装置および検査装置を提供する。
【解決手段】画像検出装置6は、ワーク2に対して傷や異物などの不確定な部位があるか否かを、光を用いた画像処理により検出するものである。この画像検出装置6には、外部撮影機器により撮影したワーク2のワーク画像を取得する画像取得部61と、画像取得部61で取得したワーク画像に対して画像可変させた可変ワーク画像を用いて、ワーク画像と可変ワーク画像とから差分画像を作成する作成部62と、作成部62により作成した差分画像から不確定な部位の寸法を算出する寸法算出部63と、が設けられている。 (もっと読む)


【課題】先端部の側面に対して金属膜除去を行なわずに発振周波数の調整を行う。
【解決手段】水晶振動片3の周波数調整方法は、水晶振動片3を複数形成したウエハ6において発振周波数の調整を行うことである。ここでいう水晶振動片3には、基部31と、基部31から突出した2本の脚部32,33とが設けられている。この水晶振動片3の周波数調整方法では、水晶振動片3の脚部32,33の先端部37の側面34に金属膜5を形成して、複数の水晶振動片3を形成したウエハ6における発振周波数のシフト調整を行うシフト調整工程と、水晶振動片3の脚部32,33の先端部37の主面35に金属膜5を形成し、形成した金属膜5を金属膜除去手段により所望の量だけ除去して、ウエハ6における複数の水晶振動片3の発振周波数のバラツキを調整するバラツキ調整工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】 簡便な構成で生産効率に優れた圧電振動デバイスの周波数調整装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電振動デバイスの周波数調整装置は、真空室1と、真空室内に設けられたイオンガン2と、水晶振動子(圧電振動デバイス)3と、水晶振動子を搭載するパレット4と、パレット4を搬送する搬送機構とを有し、真空室外部には周波数測定部6や真空ポンプ7(図示せず)あるいは不活性ガス供給部23等を有する構成である。パレットの下方にイオンガン2が配置されており、当該イオンガン2はアクチュエータ25により、移動可能となっている。 (もっと読む)


【課題】金属ろう材などの導電性接合材を用いて金属サポートと水晶振動板を接合する際の位置決めと接合性が良好で、エージング特性が良好なより信頼性の高い高安定向け水晶振動子を提供する。
【解決手段】金属サポート13,14が設けられた2本の金属リード端子11,12が貫通植設されてなるベース1と、金属サポート13,14に搭載されかつ導電性接合材3を介して電気的機械的に接合される板状の水晶振動板2とからなる水晶振動子であって、前記水晶振動板2の端部のうち応力感度がない2つのポイントに目印21,22を形成し、前記金属サポート13,14の水晶振動板保持部132,142に対して前記水晶振動板2の目印21,22の部分で、前記金属サポート13,14の水晶振動板保持部132,142と前記水晶振動板2とが前記導電性接合材3により接合した。 (もっと読む)


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