説明

株式会社大真空により出願された特許

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【課題】導電性接合材が励振電極へ拡散する事の悪影響をなくし、金属サポートと水晶振動板を接合する際の接合性が良好な水晶振動子の提供。
【解決手段】金属サポート13,14が設けられた2本の金属リード端子11,12が貫通植設されてなるベース1と、金属サポート13,14に搭載されかつ導電性接合材3を介して電気的機械的接合の板状水晶振動板2とからなる水晶振動子に於いて、前記水晶振動板2はその主面に励振電極25,26と引出電極27,28と接続電極とが形成され、前記接続電極は水晶振動板2の少なくとも2点の端部のみに形成され、前記金属サポート13,14の水晶振動板保持部132,142と前記水晶振動板2の接続電極とが前記導電性接合材3により接合されて、前記金属サポート13,14の水晶振動板保持部132,142の外部表面と前記水晶振動板2の励振電極25,26とを接続する引出電極27,28を形成した。 (もっと読む)


【課題】ベースと蓋とを接合する際にスプラッシュによる金属成分の飛散物が発生しても、その飛散物が内部空間に届くのを抑える。
【解決手段】発振器1の本体筐体11は、水晶振動片3とICチップ2とを搭載するベース4と、ベース4と接合して内部空間12を形成し、水晶振動片3とICチップ2とを内部空間12に気密封止する蓋5と、から構成される。蓋5のベース4との接合面51には、その外周52に曲率半径をR1とする外周角部53が形成されている。また、ベース4と蓋5との接合の際に蓋5と接する接触部(金属リング7)の接合面71には、その内周72に内部空間12に面した曲率半径をR2とする内周角部73が形成されている。蓋5の外周角部53の曲率半径R1は、金属リング7の内周角部73の曲率半径R2より小さい。 (もっと読む)


【課題】 効率的で安定したイオンビームを用いた圧電振動子の周波数調整装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 周波数調整装置は、真空室1と、真空室内に設けられた斜めに配置されたイオンガン2と、水晶振動子3と、水晶振動子を搭載するパレット4と、パレット4を搬送する搬送機構と、捕捉体24を有し、真空室外部には周波数測定部6や真空ポンプ7あるいは不活性ガス供給部23等を有する構成である。イオンガンの複数のグリッド開口20aは全体として略菱形状に配置された構成で、各グリッド開口20aはその平面形状が楕円形状となっている。 (もっと読む)


【課題】 小型化に対応し、効率良く周波数調整を行うことができる圧電振動デバイスの周波数調整方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 基部3と一対の腕部2,2とからなる音叉型圧電振動片1の、前記腕部の先端領域に周設された調整用金属膜4の質量を削減することによって、周波数調整を行う圧電振動子デバイスの周波数調整方法であって、前記調整用金属膜4は、主面金属膜41,42と側面金属膜43,44とで構成され、前記側面金属膜の質量を削減することによって周波数調整を行う側面調整工程と、当該側面調整工程後に、前記主面金属膜の質量を削減することによって周波数調整を行う主面調整工程とからなる。 (もっと読む)


【課題】 超小型であっても安定したバンプ接合を行うことができる圧電振動デバイスおよび、該圧電振動デバイスの製造方法を提供することを目的とする
【解決手段】 水晶振動片2が、バンプ5を介して筐体1と接合される水晶振動子において、水晶振動片2は、筐体1との接合部に凹陥部4が形成されており、筐体1の水晶振動片2との接合部には、凸状の頂部を有するバンプ5が配され、前記頂部に、前記凹陥部4を一対一で冠着して接合することによって、バンプの一部が凹陥部4内に埋没している。 (もっと読む)


【課題】 小型の圧電振動片においても充分な調整量を確保し、効率的な周波数調整を行うことができる圧電振動デバイスの周波数調整方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 周波数調整工程は、音叉型圧電振動片1の腕部2の主面側に形成された調整用金属膜4の大部分または全領域を薄肉化して、周波数の粗調整を行う粗調整工程と、前記粗調整工程において薄肉化された領域の一部もしくは全領域を、さらに薄肉化または除去することによって周波数の微調整を行う微調整工程とからなる。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、真空容器内の透明窓部の曇りをなくしてレーザ加工性能を低下させることのない、小型化・簡素化されたメンテナンスの容易なレーザ加工装置とレーザ加工装置用のパレットを提供する。
【解決手段】 ワークの上部からレーザビームを照射することでレーザ加工する装置があり、当該レーザ加工する装置は透明窓部を有する真空容器2と、真空容器内の加工部22と、真空容器外のレーザ源1とを有しており、前記レーザ源から前記透明窓部21を介して前記真空容器内の加工部に配置したワークに対してレーザビームを照射してなり、前記真空容器内の加工部に対して、前記ワークを複数個収納した状態で位置決め固定するレーザ加工装置用パレット3において、前記パレット3のワーク収納部の上面には着脱構造の透明板4が設けられてなる。 (もっと読む)


【課題】 周波数調整時の金属膜の付着による接合不良を防止し、筐体への良好な圧電振動片の接合を行うことができる圧電振動デバイスの製造方法および圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 多数個の音叉型圧電振動片4が一体的に形成された圧電振動片集合体において、各圧電振動片4の基部51の表裏面には一対の接合部7が各々設けられており、
各圧電振動片に複数の電極を形成する電極形成工程と、一対の腕部41,42の先端領域の外周面に調整用金属膜43,44を形成する調整膜形成工程と、前記調整用金属膜にレーザービームを照射して周波数調整を行う周波数調整工程と、各圧電振動片を前記圧電振動片集合体から分割した後に、裏主面側にある接合部7c,7dを筐体内部に接合する接合工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】 小型化・低背化に対応させながらベースの底面に近接して形成された接続されていない配線パターン間で短絡することのないより信頼性の高い表面実装型圧電発振器を提供する。
【解決手段】 圧電振動板と集積回路素子を有し、これらを収納する絶縁性のベース1と気密封止する蓋とを有する表面実装型圧電発振器であって、前記ベース1の収納部10の底面には絶縁性の保持台10cと第1の配線パターン12a〜12fとが形成され、前記保持台の上面部には第2の配線パターン13a,13bが形成されるとともに、前記第2の配線パターンに対して少なくとも接続されていない第1の配線パターンが交差する保持台の上面部の端部領域には無電極部131a,131bを形成し、前記保持台の集積回路素子搭載側の側面部と交わる保持台の上面部の他の端部領域には前記第2の配線パターンを形成した。 (もっと読む)


【課題】保管環境や製造環境に関係なく、接合材の酸化を防止する。
【解決手段】水晶振動子1の本製造方法は、ベース3と蓋4とが接合材を介して接合し、水晶振動片2を気密封止する方法である。当該製造方法は、ベース3と蓋4とを少なくとも金と錫とからなる接合材を用いて共晶接合して、本体筐体11を構成する本接合工程を有し、ベース3と蓋4との共晶接合により接合材を、金リッチ相の金錫接合材5として生成する。 (もっと読む)


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