説明

株式会社大真空により出願された特許

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【課題】ワークを保持部などの保持機構で保持した状態であっても、誤認識なくワークの良否判定を行う。
【解決手段】検査装置1では、ワーク2を照明する円環状の光源部33を有する照明部3と、ワーク2を撮影する撮影部4とが設けられ、ワーク2を保持する保持部5が、照明部3と撮影部4との間に固定もしくは移動可能に配され、照明部3の光源部33からワーク2に照射した光の照射方向上から外れた位置に、撮影部4が配されている。そして、ワーク2に異物を含む不確定な物がある場合、光源部33からワーク2に照明した光は、異物を含む不確定な物によりその光路が変更されて撮影部4にて撮影される。 (もっと読む)


【課題】 効率的な膜厚制御を行うことができる圧電振動片集合体と当該圧電振動片集合体の膜厚制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 基部3と、当該基部3から一方向に伸びる一対の腕部21,22とからなる音叉型圧電振動片2が、マトリクス状に多数個整列して一体形成され、前記腕部21,22の先端付近の膜付加領域に1回以上のめっきによって、金属膜が一括的に付加される圧電振動片集合体1であって、前記圧電振動片集合体1には、前記めっき後における前記金属膜の膜厚を管理するためのモニタ用圧電振動片Mが少なくとも1個以上形成されている。 (もっと読む)


【課題】 圧電発振器の周波数温度特性の劣化をなくしたより安定度の高い圧電発振器を提供する。
【解決手段】 回路基板2上に圧電振動子4と発振回路を構成してなる発振部3が実装され、これら圧電振動子と発振部を覆うように前記回路基板に一体的に取り付けられた金属蓋6とを備えた圧電発振器において、前記発振部の上面部と金属蓋の底面部の対向する領域に熱伝導性樹脂剤M2が介在し、当該熱伝導性樹脂剤によりお互いを接合している。 (もっと読む)


【課題】 低背化に対応し、安定した気密封止を行うことができる圧電振動デバイスおよび圧電振動デバイスの気密封止方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 水晶基板3と、当該水晶基板3の表裏主面にレーザービームあるいは電子ビームによって接合される、透光性の第1のパッケージ基材2と第2のパッケージ基材4とからなる水晶振動子1であって、前記各パッケージ基材の前記水晶基板3との接合面の少なくとも周縁部分には、金属からなる下地層と、当該下地層の上に熱吸収接合材が形成されているとともに、前記熱吸収接合材は前記下地層よりも軟質金属で、かつ厚膜状態で形成されている。 (もっと読む)


【課題】 低背化に対応し、安定した気密封止を行うことができる圧電振動デバイスおよび圧電振動デバイスの気密封止方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 水晶基板3と、当該水晶基板3の表裏面の各々に金属膜201,301,302,401を介して接合される透光性材料からなる第1のパッケージ基材2と第2のパッケージ基材4とで構成される水晶振動子1であって、前記第1と第2のパッケージ基材2,4と前記水晶基板3との接合領域は平面視で重なっていない。 (もっと読む)


【課題】 低背化に対応し、耐衝撃性に優れた圧電振動デバイス用パッケージおよび圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 ベース1の凹部7の一端側に形成された一対の搭載パッド12に、端部が面取り加工された水晶振動片2の長辺方向一端側の端面と、当該端面近傍で前記凹部7の内底面と対向する面取り加工領域の一部とが、導電性接合材5によって片持ち支持接合されている。そして、前記凹部7を蓋体3で気密封止してなる水晶振動子4であって、
前記凹部7の、水晶振動片2の長辺方向他端側の下方には枕部11が形成されているとともに、当該枕部11の上面は前記搭載パッド12の上面から前記枕部11に対して水平方向に延出した仮想線Lより上方に位置している。 (もっと読む)


【課題】特性を悪化させずに基板の振動領域の厚さを薄くして高周波化に対応させる。
【解決手段】水晶振動片2では、ATカット水晶片からなる基板20と、基板20に積層した堤部21と、基板20と堤部21との間に介在させて基板20と堤部21との接合補強を行う、軟質の金属材料からなる接合部22と、が設けられている。堤部21と接合部22とが当該水晶振動片2の壁面23として構成されるとともに、基板20が当該水晶振動片2の台部として構成され、かつ、壁面23および台部により当該水晶振動片2の一主面201に凹部27が形成されている。また、凹部27の内底面を含む基板20の両主面201,202に一対の励振電極36が対向して形成されている。 (もっと読む)


【課題】内部空間に封止材のガスが残留するのを抑える。
【解決手段】水晶振動子1では、ベース3と蓋4とが封止材5を介して接合されて本体筐体11が構成され、この本体筐体11の内部空間12に水晶振動片2が気密封止されている。ベース3と蓋4との予め設定した接合領域のうち一接合領域13において、ビーム溶接方式によってベース3と蓋4とが封止材5を介して線状に接合するライン接合されている。また、ライン接合後に、ベース3と蓋4との予め設定した接合領域のうち他接合領域14において、ビーム溶接方式によってベース3と蓋4とが点状に接合するドット接合されている。 (もっと読む)


【課題】ベースへ圧電振動片を接合する際の接合強度のバラツキを抑える。
【解決手段】水晶振動子1では、水晶振動片2を保持するサポート材5と、サポート材5を介して水晶振動片2を保持するベース3と、ベース3に保持した水晶振動片2を気密封止するためにベース3と接合する蓋4とが設けられている。そして、ベース3にサポート材5がベース用バンプ71によりバンプ接合されるとともにサポート材5に水晶振動片2が水晶振動片用バンプ72によりバンプ接合されている。この水晶振動子1では、サポート材5の水晶振動片2との接合部位51、もしくは水晶振動片2のサポート材5との接合部位261,262の少なくとも一方の接合部位が凹凸形状からなる。 (もっと読む)


【課題】 気密封止時のベース内の温度勾配を抑制でき、低背化にも対応したベースを用いることによって、信頼性の高い気密封止を行うことができる圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 凹部3を囲繞し、上面に金属封止部材が周状に形成された環状の堤部2を具備する平面視矩形状のベース1であって、前記ベース1は絶縁材料からなる複数の層の積層体であり、前記積層体の積層間には放熱用導体41、42が形成されている。さらに、凹部内底面12には、放熱用導体43が敷設されている。そして、前記堤部2の少なくとも一辺の外側面、内部、内側面のいずれか1つ、または2つ以上を組み合わせた位置には、堤部上面11から前記堤部2の深さ方向に伸長するとともに、前記放熱用導体41、42と接続した熱伝導部5が形成されている。 (もっと読む)


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