説明

株式会社大真空により出願された特許

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【課題】1つのウエハから多数個の光学ローパスフィルタを製造する光学ローパスフィルタおよびその製造方法において、加工時や取り扱い時における水晶基板の破損や割れを無くすとともに水晶基板の接着による水晶基板の反りも無くし、かつ、光学ローパスフィルタの分離幅を小さくする。
【解決手段】ウエハ1に5つの水晶基板11〜15を用い、5つの水晶基板11〜15を接着剤2を介してそれぞれ主面111〜151を貼り合わせて積層し1つのウエハ1を形成し、1つのウエハ1を切断して9個の光学ローパスフィルタを成形している。そして、1つのウエハ1の形成では、光軸方向を逆方向とし、厚みの異なる2つの水晶基板11,12(および14,15)からなる基板群(0°複屈折板群16,90°複屈折板群17)を積層している。 (もっと読む)


【課題】 振動漏れを抑制して小型化が容易な音叉型圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】 パッケージ7の内部の前記ベース3上に音叉型圧電振動片2が保持されるとともに、前記パッケージの内部が気密封止された音叉型圧電振動デバイスにおいて、前記音叉型圧電振動片は、当該音叉型圧電振動片の基部より長く全長以内に寸法設定された脆性材からなるサポート材6と導電接合材を介して前記ベース上に電気機械的に接合され、前記サポート材は連結部とこの連結部の一端部から突出した同一幅寸法の2本の脚部と当該2本の脚部間の切欠き部とが形成され、前記サポート材の切欠き部と音叉型圧電振動片の切欠き部、または前記サポート材の切欠き部と音叉型圧電振動片の切欠き部の基部側への延長線とが重畳状態で前記ベース上にサポート材と音叉型圧電振動片を配置した接合した。 (もっと読む)


【課題】 小型化に対応し、確実な気密封止を行うことができる電子部品用パッケージおよび、これを用いた圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 平板状の第1の絶縁層2aの上部に、枠状の第2の絶縁層2bが積層され、前記第2の絶縁層2b上に、枠状の第3の絶縁層2cが積層された構成で、凹部24を有する平面視矩形状のベース2と、封止材6が形成された平面視矩形状の蓋体4とからなる電子部品用パッケージであって、前記ベース2は、前記第2の絶縁層2bの内周の4角の一部が、前記凹部24の内側方向へ張り出し、平面視で露出している。 (もっと読む)


【課題】 小型化に対応し、耐衝撃性に優れた圧電振動デバイス用パッケージおよび圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 少なくとも短辺端部が面取り加工された平面視略矩形状の水晶振動片2の一端側と接合される一対の搭載パッド12が、長手方向一端側に並列形成された平面視矩形状のベース1において、前記ベース1の内底面には枕部13が前記搭載パッド12と近接した位置に形成されている。そして前記枕部13は、前記一対の搭載パッド間の中央を通り、前記ベース1の長手方向へ延出した仮想線2上にあり、前記枕部13の周縁の一部または全てが、前記一対の搭載パッド12の対向する二辺の両端の内、前記ベース他端側に近い方の二端点の間を結ぶ仮想線1よりも内側に位置している。 (もっと読む)


【課題】パッケージの物理的強度を上げてパッケージと蓋との接合の際にパッケージにクラックが生じ難くする。
【解決手段】パッケージ3では、水晶振動片2を保持する内部空間12が形成され、内部空間12は平面視長方形の矩形状からなり、内部空間12には、水晶振動片2と電気機械的に接合する電極パッド7が形成された2つの段差部321が対向して設けられている。2つの段差部321は、内部空間12の平面視長方形のうち、短手方向の辺38と、この短手方向の辺38と隣接し対向する長手方向の辺37にそれぞれ接し、2つの段差部321が長手方向の辺37と接する長さは、前記長手方向の辺37の長さに対して少なくとも半分以上の長さに設定される。また、電極パッド7は、内部空間12の段差部321の表面322全面に形成される。 (もっと読む)


【課題】キャリアの破損を低減し、研磨作業における生産性向上、および製造歩留まり向上をはかることができる信頼性の高い研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨装置は下定盤31と、下定盤に対向して形成される上定盤21と、上定盤を昇降させる昇降装置13を有する構成である。各ワークはキャリア34の各ワーク保持部34a内に収納される。キャリア34は下定盤の上面に設置され、キャリア外周にあるギアがポリウレタンからなるサンギア32aとインターナルギア33に各々噛合するように配される。通常キャリア34は下定盤上に複数設置され、複数のワークに対して研磨を行う。キャリア34を配置した後、昇降装置13により上定盤21を下降させることにより、キャリアに上定盤を当接させ、上定盤による荷重をワーク等に対して与える。 (もっと読む)


【課題】 低コストで安定した気密封止を行うことができる蓋体集合体および、当該蓋体集合体を用いた圧電振動デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 上部に凹部6と、前記凹部6を包囲し、上面に第1の封止材S11が形成された環状の堤部7とを具備するベースがマトリクス状に複数かつ一体形成されたベース集合体1を、一括気密封止する、複数の蓋体がマトリクス状に一体形成された蓋体集合体2であって、前記蓋体集合体2の前記ベース集合体1との接合面側には、複数の前記ベースの堤部上面と一対一で対応する位置に、周状の第2の封止材S21が複数形成されている。そして、前記第2の封止材S21の内周縁が、前記堤部7の内壁面と略同一平面上の位置に形成、あるいは前記堤部7の内壁面よりも内側の位置まで張り出して形成されている。 (もっと読む)


【課題】スプラッシュの発生をより軽減することができ、より安価で信頼性の高い電子部品およびその製造方法を提供する。
【解決手段】フランジを有する金属製のキャップ2と、フランジと金属製のリード端子12を有するベース1と、当該ベースに搭載される電子素子を有し、前記ベースに前記キャップをかぶせ、前記ベースのフランジに前記キャップのフランジを当接した状態で抵抗溶接して気密封止された電子部品であって、前記キャップの表面および前記ベースの表面のうち、前記キャップのベースが当接するフランジ部分と、前記ベースのキャップが当接するフランジ部分を含み、内部表面に露出する金属部分には電解ニッケルメッキ15のみが形成されており、外部表面に露出したリード端子には少なくとも無電解ニッケルメッキ16が形成されている。 (もっと読む)


【課題】 ワークに対して荷重をかけすぎず、また強度を維持または向上させ、ワークの品質向上をはかることができるコスト安の研磨装置を提供する。
【解決手段】 研磨装置は下定盤31と、下定盤に対向して形成される上定盤21と、上定盤を昇降させる昇降装置13を有する構成である。上定盤21は定盤本体の上面に断面凹形の溝状の切り欠き部21bが複数形成された構成であり、切り欠き部21b間に補強部21eが形成されている。当該補強部21eは定盤の外周側と内周側の堤部21a間をつなぐ構成となっている。前記切り欠き部21bは蓋体21fにより閉鎖されている。 (もっと読む)


【課題】 気密封止時のベース内の温度勾配を抑制でき、低背化にも対応したベースを用いることによって、信頼性の高い気密封止を行うことができる圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 内部に圧電振動素子を収容するための凹部3と、当該凹部3を囲繞し、上面に金属封止部材4が周状に形成された環状の堤部2とを具備する絶縁性材料からなる平面視矩形状のベース1であって、少なくとも前記べース1の長辺側の堤部の外側面、内部、内側面のいずれか1つ、または2つ以上を組み合わせた位置に、金属導体からなる熱伝導部5が一箇所以上形成されているとともに、前記熱伝導部5の少なくとも1つ以上は、、前記堤部2の深さ方向に、前記凹部3の内底面から水平方向へ延出した仮想ラインLより下の位置まで形成されている。 (もっと読む)


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