説明

株式会社大真空により出願された特許

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【課題】 小型化に対応するとともに良好な特性を得ることができる水晶振動子および当該水晶振動子の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 一主面にコンベックス加工された平面視略円形の凸部20を有し、表裏主面200,210に励振電極22,24が形成された水晶振動片2を容器3に収容し、容器3に蓋8を接合することにより励振電極22,24を気密封止した水晶振動子1であって、水晶振動片2と一体成形された脚部21が、4箇所、他主面210から突出して環状に形成されているとともに、脚部21が支持部材として容器3に接合されている。そして脚部21を構成する側面のうち、外縁側面21aが平面視で凸部20と略同心円状の円弧で形成されている。 (もっと読む)


【課題】 生産性に優れ、かつ測定における信頼性の高い圧電振動板の周波数測定装置を提供する。
【解決手段】 圧電振動板の周波数測定装置は、上電極体43と、上電極体43と一体的に動作する接触体44と、上電極体43に対向する下電極体37と、下電極体を保持する緩衝体44とを有している。上電極体43を下電極体37に向かって近接させると、まず前記接触体44,45、46が下電極体に接触する。ここで下電極体37の表面に傾きが生じていた場合、まずいずれか一方の接触体が下電極体に接触し、最終的に接触体の接触面44aと45aと46aが下電極体37に接触し、当該各接触面で形成される平面に追随するかたち緩衝体が変形して、上電極体43と下電極体37が所定間隔のギャップをもって平行に対向する。この対向状態で両電極体間に所定周波数の電圧を印加することにより、エアギャップ方式で水晶振動板Qの周波数の測定を行う。 (もっと読む)


【課題】パッケージ内に温度センサーまたは温度センサーを内蔵する電子部品と圧電振動素子を収納した圧電デバイスにおいて、実装基板からのセンサー部品への熱の影響を抑制し、温度センサーの測定値に基づく温度補償において、温度センサーの温度情報が圧電素子の温度と乖離せず正確な温度を得ることができる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】ケース体2と蓋体4からなるキャビティS1を有するパッケージ1があり、前記キャビティ内には凹部S2が形成されており、前記凹部内に温度センサー20または温度センサーを内蔵した電子部品を搭載し、前記凹部の上部となる同一キャビティ内に圧電素子10を搭載する圧電デバイスであって、前記温度センサーまたは前記温度センサーを内蔵した電子部品を搭載するケース体の凹部の裏面に熱遮断部100を形成した。 (もっと読む)


【課題】 貫通孔の小径化を図ることができるとともに穿孔時のチッピング等を防止した圧電振動デバイスの封止部材の製造方法と当該製造方法によって得られた封止部材を用いた圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は圧電振動素子の励振電極を気密に封止する圧電振動デバイスの封止部材の製造方法であって、前記封止部材の基材の両主面間を電気的に接続するための貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、貫通孔に導電性部材を形成する導電性部材形成工程とを有している。前記貫通孔形成工程は、前記基材の一主面200における開口径より当該基材内部における開口径が小さく、かつテーパー状の内側面61を備えた孔60を前記主面に形成する第1工程と、内側面61のうち、前記主面近傍から離間した位置から穿孔することによって貫通孔を形成する第2工程とから成っている。 (もっと読む)


【課題】安定した特性を得ることができる圧電振動子の接着剤塗布方法および圧電振動子の接着剤塗布装置を提供する。
【解決手段】接着剤塗布装置はパッケージのベース61に対して液状接着剤を塗布するディスペンサ1と、ディスペンサ1に対して移動動作を行う移動部2と、ビームセンサ3と、ビームセンサに対して移動動作を行うセンサ移動部4と、各構成部の動作を統合的に制御する制御部5とからなる。ディスペンサ1の接着剤吐出口に液状接着剤を吐出保持し、その後ビームセンサのビームBにより液状接着剤の高さを測定し、液状接着剤のサイズを特定する。液状接着剤のサイズに基づきディスペンサを降下させ液状接着剤の塗布をする。 (もっと読む)


【課題】 チッピング等の発生を抑制することができる圧電振動デバイスのパッケージ部材の集合基板の切断方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電振動素子に形成された励振電極を封止してなる圧電振動デバイス用のパッケージ部材が複数形成された集合基板100を、複数の前記パッケージ部材に分割するための切断方法であって、集合基板100の一主面101には、複数の前記パッケージ部材に分割するための分割溝5が複数形成されている。分割溝5は一主面101から集合基板100の厚み方向に漸次縮幅する傾斜部50を有しており、傾斜部50の一部の領域から集合基板100がダイシングブレードBによって切断される。 (もっと読む)


【課題】 安定した特性を得ることができる圧電振動子の接着剤塗布方法および圧電振動子の接着剤塗布装置を提供する。
【解決手段】 接着剤塗布装置は後述するパッケージのベース61に対して液状接着剤を塗布するディスペンサ1と、ディスペンサ1に対して移動動作を行う移動部2と、ビームセンサ3と、ビームセンサに対して移動動作を行うセンサ移動部4と、各構成部の動作を統合的に制御する制御部5とからなる。センサビーム3から照射されるビームBを電極パッドに照射し、この状態でディスペンサ1を移動部の駆動により電極パッドに向かって降下させる。そしてディスペンサ1の接着剤吐出口に吐出保持された液状接着剤Sが電極パッド611に接触すると、ビームBの反射情報が変化し、これを受光することにより液状接着剤Sが電極パッド611に接触したことを検出する。 (もっと読む)


【課題】 接合安定性のよい錫を主成分とした低融点金属ろう材を用いながら、低融点金属ろう材の錫の成分の拡散を抑制し、電極膜の膜食われや励振電極への流れ出しを抑制することができるより信頼性の高い電極構造が得られる鉛フリー対応した圧電振動子を提供する。
【解決手段】 リード端子21,22が植設された気密端子用のベース2と、励振電極13,14と電極パッド16,17とこれらを接続する引出電極とが形成された圧電振動片1とを有し、前記リード端子の先端部分に対して圧電振動片の電極パッドを錫が含有された鉛フリー低融点金属ろう材により電気機械的に接合してベースに圧電振動片を搭載してなる圧電振動子であって、前記電極パッドには、前記引出電極と比較して錫が拡散しやすい拡散電極部172,182を形成し、当該拡散電極部を前記引出電極の形成領域外に形成した。 (もっと読む)


【課題】小型化に対応するとともに良好な特性を得られる水晶振動板および当該水晶振動板を用いた水晶振動子を提供する。
【解決手段】稜部mが面取り加工された平面視略矩形状のATカット水晶振動板2であって、共振周波数が7MHz以上、9MHz以下で、前記矩形の長辺および短辺の各寸法が1.5mm以上、2.4mm以下の範囲の水晶振動板において、少なくとも主振動と副振動との周波数差が975kHz以上、1015kH以下の範囲を満足する水晶振動板となっている。 (もっと読む)


【課題】小型化に対応するとともに接合信頼性が高い貫通電極を有する圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】水晶発振器1は、集積回路基板2の一主面200に回路パターン5が形成され、他主面201に水晶振動素子4が蓋体3で気密封止されている。回路パターン5から他主面202までを貫く貫通孔の内壁面には導電膜が被着された中空状の貫通電極6が形成されている。貫通電極6の一端側には金属バンプB1が配されており、前記一端側から貫通電極6の内部に金属バンプB1の一部が埋没した状態で、樹脂接着材を介して金属バンプB1が水晶振動素子4と接合されている。 (もっと読む)


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