説明

株式会社大真空により出願された特許

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【課題】 圧電振動子の振動を阻害することなく、周波数調整によって金属材料の一部が飛散したとしても、異極の励振電極の絶縁性を確実に確保でき、かつ圧電振動片の周波数調整効率を低下させることないより信頼性の高い圧電振動片、圧電振動片を備えた圧電振動子、および圧電振動片の周波数調整方法を提供する。
【解決手段】 金属材料からなる電極の質量が増減されることで周波数が調整されてなる調整電極25,26と、当該調整電極から無電極領域212,222を介して、前記調整電極と異極に構成された励振電極231,241とを具備しており、前記無電極領域と前記励振電極の上部に絶縁膜3が形成され、前記無電極領域と励振電極の境界部を含む無電極領域の近傍の絶縁膜が他の領域より厚膜に形成した。 (もっと読む)


【課題】ベースへの圧電振動片の接着部材を用いた接着強度を上げることで、電極の断線や、圧電振動片のベースからの剥離を防止するとともに電極間の間隔が狭小化に伴う短絡等も防止することができる。
【解決手段】水晶振動子1は、水晶振動片2とベース31とキャップ32とからなり、ベース31とキャップ32とが接合されてパッケージ3が構成される。水晶振動片2の引出電極63,64とベース31の電極パッド51,52とが、接着部材4により接合され、水晶振動片2は、基部24においてベース31に片保持される。接着部材4は、パッケージ3の内部空間33のベース31上に水晶振動片2を片保持させるだけではなく、水晶振動片2の励振電極61,62と、パッケージ3の端子電極とを電気的に接続して導通状態にさせる。この接着部材4は、導通バンプ41と絶縁性接着剤42とが一体形成されてなる。 (もっと読む)


【課題】 外形サイズの異なる圧電振動板の搭載が可能で、圧電振動板の傾きや配線パターンとのショートの問題をなくし、かつ周波数調整する際の悪影響を抑制することができる圧電発振器を提供する。
【解決手段】 集積回路素子2と圧電振動板と、前記集積回路素子を収納する第1の収納部10aと、第2の収納部10bとを有してなる絶縁性ベース1とを有する表面実装型圧電発振器であって、前記第2の収納部には、前記圧電振動板の一端を保持する絶縁性の保持台10cと前記第1の収納部を介して前記保持台と対向する位置に枕部10dが形成され、前記保持台の上面には、前記圧電振動板用の一対の配線パターン12,13が形成されてなり、前記保持台の第1の収納部に近接する領域には、前記配線パターンより高さの低い絶縁性の補助保持部101cが形成されてなる。 (もっと読む)


【課題】複数の圧電振動片の周波数調整時において、複数の圧電振動片それぞれの周波数を個別調整する際、周波数調整を行っていない他の圧電振動片への周波数調整に関する干渉を防止する。
【解決手段】水晶振動子1は、2つの水晶振動片2,3と、ベース41と、キャップ42とからなり、ベース41とキャップ42とが接合されてパッケージ11が構成され、このパッケージ11内に内部空間12が形成される。2つの水晶振動片2,3は、ベース41上であって、内部空間12に積層状に配されている。内部空間12において積層状に配された2つの水晶振動片2,3の間には、2つの水晶振動片2,3それぞれの周波数調整に係わる基板領域2A,3Aを少なくとも隔壁した絶縁性の分離板8が介在されている。 (もっと読む)


【課題】 生産性に優れ、かつ測定における信頼性の高い圧電振動板の周波数測定方法および周波数測定装置を提供するとともに、圧電振動板の周波数分類方法および周波数分類装置を提供する。
【解決手段】 最初に下電極体31〜38の高さを測定し、動作補正情報を得る。その後パーツフィーダ1から第1の移載装置により水晶振動板Qを吸引し、インデックステーブルの搭載ステーションに位置する下電極体31の上面に順次移載する。当該測定ステーションSでは、周波数測定部が設置され、制御部の指示により、先に下電極体31に対する動作補正情報をメモリ71から読み出し、当該動作補正情報に基づく移動距離分上電極体が下電極体に近接する。非接触状態で水晶振動板Qの周波数の測定を行う。そして水晶振動板Qは排出ステーションOから第2の移載装置により収納箱に移載される。 (もっと読む)


【課題】 異物の発生を抑制するとともに、コストを抑制しながらケースの保守メンテナンスと再利用が行えるより信頼性の高い梱包ケースを提供する。
【解決手段】 上面が開口し側壁と底面を有する収容部が形成されてなる下ケース1と、当該下ケース1の開口部と下ケース1に収納された光学デバイス4を被覆する上ケース3とからなる光学デバイス用梱包ケースであって、上記下ケース1の収容部に着脱自在の状態で係止され、上記光学デバイス4を搭載する台座2を有し、上記台座2の上面に、上記光学デバイス4の一側面を固着してなる接着部材Tを形成した。 (もっと読む)


【課題】 特別なパッケージや実装基板を必要とせずに圧電振動板面における周波数調整を正確かつ効率的に行い、特性の良好な圧電振動子を提供する。
【解決手段】 圧電振動板1は矩形平板状のATカット水晶振動板からなり、その表裏面の中央領域に平面視矩形状の励振電極膜2,3が形成され、、また電極厚肉部2a,3aが形成されている。この電極厚肉部2a,3aは圧電振動板の厚さに最大バラツキが生じた場合でも、必ず当該電極厚肉部が周波数特性調整対象となるような厚さに設定され、調整領域となっている。当該領域に対しイオンミリング法により周波数特性調整を行う。 (もっと読む)


【課題】 表面実装型圧電発振器の小型化を妨げることなく、圧電振動板の安定搭載することができ、集積回路素子用の配線パターンの設計自由度が高く、より気密封止の信頼性の高い表面実装型圧電発振器を提供する。
【解決手段】 絶縁性ベース1と圧電発振回路を構成してなる集積回路素子2と圧電振動板3と蓋4を有する表面実装型圧電発振器であって、前記絶縁性ベースは、配線パターンが形成されるとともに前記集積回路素子を収納する第1の収納部と、当該第1の収納部の上部に保持台と配線パターンが形成されるとともに前記圧電振動板を収納する第2の収納部とを有し、前記第1の収納部は、幅広の収納領域と幅狭の収納領域が形成され、当該幅広の収納領域には前記幅狭の収納領域以上に前記集積回路素子用の配線パターンが形成されてなる。 (もっと読む)


【課題】圧電振動片の特性に悪影響を及ぼす外的応力を回避させる。
【解決手段】水晶振動子1は、水晶振動片2と、この水晶振動片2を保持するベース3と、ベース3に保持した水晶振動片2を気密封止するためのキャップ4と、水晶振動片2への外的応力を軽減させるサポート材5とからなる。この水晶振動子1では、ベース3とキャップ4とが接合されて筐体が構成され、筐体の内部のベース3上にサポート材5を介して水晶振動片2が保持されるとともに、筐体の内部が気密封止される。サポート材5は、脆性材である水晶片からなるZ板であり、水晶振動片2と接合するための水晶振動片用接合部511,512と、ベース3と接合するためのベース用接合部521,522と、外的応力を軽減するためのスプリング部53とから構成される。 (もっと読む)


【課題】ウエハから多数個の圧電振動片を製造する際、個々の圧電振動片の加工精度を高め、よって圧電振動片の特性のバラツキや悪化を抑制する。
【解決手段】水晶振動片1の製造装置には、ウエハ2を予め設定した水晶振動片1の寸法に基づき、ウエハ2のX,Z‘軸方向に沿ってウエハ2を切断するとともにX,Z‘軸方向に沿った水晶振動片1の形状を成形する切断成形部3が設けられている。切断成形部3には、ウエハ2を切断する切断部31と、予め設定した水晶振動片1の形状を成形する成形部32と、が設けられ、中心軸36を共通の軸として切断部31と成形部32が一体形成されている。この切断成形部3では、テーブル4をX,Z‘軸方向に移動させながら、切断部31及び成形部32を中心軸36を中心にして回転させることで、ウエハ2の切断と水晶振動片1のコンベックス加工を行う。 (もっと読む)


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