【課題】成膜装置の内部に設けられる治具、及び成膜装置の内壁に付着した蒸着材料を大気解放しないで除去するためのクリーニング方法およびそのクリーニング方法
を行うための機構を備えた成膜装置を提供する。
【解決手段】このクリーニングの際には、蒸着マスク１３０２ａと対向する位置に電極１３０２ｂを移動させる。さらに、成膜室１３０３にガスを導入する。成膜室１３０３に導入するガスとしては、Ａｒ、Ｈ、Ｆ、ＮＦ3、またはＯから選ばれた一種または複数種のガスを用いればよい。次いで、高周波電源１３００ａから蒸着マスク１３０２ａに高周波電界を印加してガス（Ａｒ、Ｈ、Ｆ、ＮＦ3、またはＯ）を励起してプラズマ１３０１を発生させる。こうして、成膜室１３０３内にプラズマ１３０１を発生させ、成膜室内壁、防着シールド１３０５、または蒸着マスク１３０２ａに付着した蒸着物を気化させて成膜室外に排気する。 （もっと読む）

【課題】半導体層に結晶性を有する酸化物半導体を用いた、移動度の高い酸化物半導体素子を提供する。
【解決手段】第１の酸化物半導体膜及び、第１の酸化物半導体膜に接して第１の酸化物半導体膜よりバンドギャップが大きい第２の酸化物半導体膜の積層構造を有する層を酸化物半導体層として用いた。これにより、チャネル領域は、第２の酸化物半導体膜と接する第１の酸化物半導体膜の界面近傍（つまり、バンドギャップが小さい酸化物半導体膜の界面近傍）に形成される。また、第１の酸化物半導体膜と第２の酸化物半導体膜の界面は、お互いの未結合手が結合し合っている。このため、第２の酸化物半導体膜と接する第１の酸化物半導体膜の界面近傍に形成されるチャネル領域では、未結合手による電子トラップなどに起因した移動度の低下を低減できる。 （もっと読む）

【課題】水素を効率的に安定して供給可能で、安全且つ環境負荷の小さい水素発生体を提供すること。また、当該水素の発生体が適用された水素発生装置を提供すること。また、当該水素発生装置を適用した発電装置、及び駆動装置を提供すること。
【解決手段】針状、又はドーム状のシリコン微小構造物を基材上に形成された水素発生体用い、これと水とを反応させることにより水素を効率的に発生させればよい。また、当該水素発生体を水素発生装置に適用すればよい。さらに、当該水素発生装置を、発電装置、及び駆動装置に適用すればよい。 （もっと読む）

【課題】欠陥の少ない半導体層を得ること、及び信頼性の高い半導体装置を得る。
【解決手段】半導体基板中に、Ｈ_２Ｏ^＋が水素イオン（Ｈ_３^＋）に対して３％以下、好ましくは０．３％以下であるイオンビームを照射することにより、前記半導体基板中に脆化領域を形成し、前記半導体基板の表面及びベース基板の表面を対向させ、接触させることにより、前記半導体基板及び前記ベース基板を貼り合わせ、貼り合わせた前記半導体基板及び前記ベース基板を加熱し、前記脆化領域において分離させることにより、前記ベース基板上に半導体層を形成するＳＯＩ基板の作製に関する。 （もっと読む）

【課題】光源（発光素子からの発光を含む）からの放射光を効率よく電力に変換し、消費電力が小さい光エネルギー再利用型の表示装置、発光装置、及び照明装置を提供する。
【解決手段】一対の基板間に光電変換素子を挟持し、該光電変換素子をカラーフィルタ（有色層）として機能させることで、光源（発光素子からの発光を含む）からの放射光を効率よく電力に変換し、消費電力が小さい光エネルギー再利用型の表示装置、発光装置、及び照明装置を実現できる。 （もっと読む）

【課題】発振周波数を給電装置と受電装置との距離に応じて動的に制御することなく、給電装置と受電装置との間で高い電力の伝送効率を得ることのできる共鳴方式による給電システムを提供する。
【解決手段】受電装置及び給電装置の双方において整合条件の調整をする構成を追加することで、給電装置と受電装置との間で高い電力の伝送効率を得るものである。特に受電装置及び給電装置の双方に送受信回路及び整合回路を設け、共鳴用コイルを介して整合回路の調整のための無線信号の送受信を行うものである。これにより給電装置は発振周波数を調整することなく、受電装置へ電力を効率よく供給することができる。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高いＥＬ表示装置を提供する。
【解決手段】アクティブマトリクス型のＥＬ表示装置において、ＥＬ素子はシール材とフレーム材により封止されており、ＥＬ素子の上部電極とフレキブルプリントサーキット（ＦＰＣ）とは接続配線により電気的に接続される。接続配線は、下部基板とシール材及びフレーム材との間を、上面がシール材と接するように設けられ、トランジスタのソース電極及びドレイン電極と同一層から形成される。この構造によりＥＬ素子の劣化を防止するとともに、ＦＰＣとの電気的接続もスムーズに行うことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、アクティブマトリクス型の表示装置において、配線の断面積を増大させることなく、相性の悪い２つの膜（ＩＴＯ膜とアルミニウム膜）からなる配線や電極等を接続し、且つ、大画面化しても低消費電力を実現することを課題とする。
【解決手段】本発明は、上層と、上層よりも広い幅を有する下層とからなる２層構造とする。ＴｉまたはＭｏからなる第１導電層を設け、その上に電気抵抗値の低いアルミニウム単体（純アルミニウム）からなる第２導電層を設ける。上層の端面から突出させた下層部分と、ＩＴＯとを接合させる。 （もっと読む）

【課題】発光装置の作製方法に関して、歩留まりがよく発光装置を得る技術を提供するこ
とを課題とする。
【解決手段】凹部６０７ａ及び凹部６０８ａを有する第二の基板６００ａで発光装置を作
製することで、シールパターン６０５ｂの幅を細く保つことができ、また、シール材のし
み出しを防止できる。よって、発光装置の狭額縁化が可能となる。さらに、凹部から端面
までの第二の基板の一部を分断する作製方法により、発光装置の狭額縁化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】酸化物半導体層の側面からの酸素の脱離を防ぎ、酸化物半導体層中の欠陥（酸素欠損）が十分に少なく、ソースとドレインの間のリーク電流が抑制された半導体装置を提供する。
【解決手段】酸化物半導体膜に対して第１の加熱処理を施した後に該酸化物半導体膜を加工して酸化物半導体層を形成し、その直後に該酸化物半導体層の側壁を絶縁性酸化物で覆い、第２の加熱処理を施すことで、酸化物半導体層の側面が真空に曝されることを防ぎ、酸化物半導体層中の欠陥（酸素欠損）を少なくして半導体装置を作製する。該半導体装置はＴＧＢＣ（Ｔｏｐ Ｇａｔｅ Ｂｏｔｔｏｍ Ｃｏｎｔａｃｔ）構造とする。 （もっと読む）