【課題】 高い特性を有する薄膜トランジスタを得る。
【解決手段】 非晶質珪素膜２０３の特定の領域２０５に選択的にニッケル元素を接して保持させる。そして加熱処理を施すことにより、２０７で示されるような基板に平行な方向への結晶成長を行わせる。さらにハロゲン元素を含有した酸化性雰囲気中での加熱処理を施すことにより、熱酸化膜２０９を形成する。この際、結晶性の改善、ニッケル元素のゲッタリングが進行する。そして上記結晶成長方向とソース／ドレイン領域との結ぶ方向とを合わせて薄膜トランジスタを作製する。こうすることで、移動度が２００(cm²／Vs) 以上、Ｓ値が１００(mV/dec)以下というような高い特性を有するＴＦＴを得ることができる。 （もっと読む）

【目的】 結晶性の優れた結晶性珪素膜得る。
【構成】 ガラス基板１０１上に下地膜１０２を成膜し、さらに非晶質珪素膜１０３を成膜する。そして、マスク１０４を用いて開口部１０５において非晶質珪素膜１０３の一部に接して珪素の結晶化を助長する金属元素であるニッケル元素が接して保持された状態とする。そして、６００℃以上の温度で、かつ普通の非晶質珪素膜が結晶化しない条件でもって加熱処理を施し、基板に平行な方向への結晶成長１０８だけを行わせる。このようにすることにより、１００μｍ以上というような長い横成長を行わすことができる。 （もっと読む）

【課題】液晶ディスプレイが有する視野角の狭さの問題を解決した構成の提供
【解決手段】アクティブマトリクス構成を有するＥＬ型の表示装置の画素において、同一平面内に所定の電位に保持された電極１０と、それに対となる薄膜トランジスタ５の出力に接続された電極２とを互に噛み合うような渦巻き状に配置する。そして、両電極間に形成される基板に概略平行な電界によってＥＬ材料を発行させる。 （もっと読む）

【課題】 液晶表示装置の画面以外の周辺領域の面積を減少することにより、液晶表示装置のコンパクト化を達成する。
【解決手段】 第１の基板（１０８）と、該第１の基板の第１の面に対向する第２の基板（１０９）と、該第１の基板と該第２の基板との間に狭持された液晶層とを備えた液晶表示装置であって、表示部内の電極と該電極に信号を供給する駆動回路（２０３）は、該第１の基板の該第１の面上に設けられており、該駆動回路を制御する制御回路は、該第１の基板の第２の面上に設けられている。 （もっと読む）

【課 題】 工程毎のバラツキを抑え、品質の揃った被膜を形成すると共に、反応装置の内壁や石英ホルダ等に存在するナトリウムの如きアルカリ金属を除去する被膜作製方法。
【解決手段】 プラズマ気相法によって、反応容器内に設けられた基板上に被膜を形成するに際し、プラズマ化させた水素中に１％ないし５％の塩化水素または塩素を添加した気体が前記反応容器に供給され、その内壁または基板ホルダに形成されたナトリウムの如きアルカリ金属をプラズマクリ−ニングする。その後、前記反応容器内に配設された基板上には、プラズマ気相法により被膜が形成される。 （もっと読む）

【目的】 ＴＦＴを有するアクティブマトリクス液晶表示装置のような静電表示装置において、ゲイトパルスのオフによって生じるΔＶを削減し、また、そのための画素電極・回路配置の最適な配置を提供する。
【構成】 画素電極がゲート線、データ線の周囲で決められたことを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】 画素領域と周辺駆動回路領域とが集積化されたアクティブマトリクス型の液晶表示装置の信頼性を向上させる。
【構成】 周辺駆動回路を構成する薄膜トランジスタ２０８を封止材２１０よりも内側（液晶側）に配置することで、周辺駆動回路を外部より保護する。こうすることで、周辺駆動回路の長期にわたる信頼性を高めることができる。また、周辺駆動回路を構成する薄膜トランジスタ２０８から画素領域に配置される薄膜トランジスタ２０７への配線も短くなり、配線抵抗の低減による表示特性の向上を果たすことができる。 （もっと読む）

【目的】 結晶化を助長する触媒元素を用いて、５５０℃程度、４時間程度の加熱処理で結晶性珪素を得る方法において、触媒元素の導入量を精密に制御する。
【構成】 ガラス基板１１上に形成された非晶質珪素膜１２上に極薄の酸化膜１３を形成し、ニッケル等の触媒元素を１０〜２００ｐｐｍ（要調整）添加した酢酸塩溶液等の水溶液１４を滴下する。この状態で所定の時間保持し、スピナー１５を用いてスピンドライを行なう。そして、５５０℃、４時間の加熱処理を行なうことにより、結晶性珪素膜を得る。上記構成において、溶液中の触媒元素の濃度を調整することで、完成した結晶性珪素膜中における触媒元素の濃度を精密に制御することができる。 （もっと読む）

【目的】 基板上に複数のＴＦＴを設けた装置において、必要とする特性を備えたＴＦＴを得る。
【構成】 例えば、アクティブマトリックス型の液晶表示装置において、周辺回路部分は、基板表面に対して平行な方向に結晶成長した結晶性珪素膜を用い、画素部分においては、基板表面に対して垂直な方向に結晶成長した結晶性珪素膜を用いる。そして、周辺回路部分においては、高移動度を有するＴＦＴを形成し、画素部分においては、電荷保持率を高めるためにオフ電流の小さいＴＦＴを形成する。 （もっと読む）