【課題】内部熱交換型蒸留塔の蒸留部に好適に用いることが可能な管・充填物ユニット、それを用いた、蒸留部を抜き出して洗浄することが可能な内部熱交換型蒸留塔、その製造方法を提供する。
【解決手段】管壁の内側と外側で熱交換を行わせる管１の内側に、管１の内周面に当接するように内側規則充填物層２を配設するとともに、管の外側に、管を包囲し、管の外周面に密着するように外側規則充填物層３を配設する。
管の外周面に、外周面と外側規則充填物層の密着性を向上させるための密着性促進処理を施す。
本願発明の管・充填物ユニットを、内部熱交換型蒸留塔の蒸留部に用い、管・充填物ユニットを構成する管の内側を内部熱交換型蒸留塔の管内とし、管の外側を内部熱交換型蒸留塔の管外とするとともに、管・充填物ユニットを構成する内側規則充填物層を管内の規則充填物層とし、外側規則充填物層を管外の規則充填物層とする構造を得る。 （もっと読む）

【課題】化学増幅ポジ型リソグラフィーにおいて使用され、溶解コントラスト等のリソグラフィー特性に優れた共重合体を提供する。
【解決手段】ポジ型リソグラフィー用共重合体は、式（Ａ）


で表される繰り返し単位（Ａ）と、式（Ｂ）


で表される、酸解離性溶解抑制基でアルカリ可溶性基を保護した末端構造（Ｂ）を有する。 （もっと読む）

【課題】 低い温度で成形が可能なビニルエーテル共重合体を提供する。
【解決手段】ビニルエーテル共重合体は、式（１）


(式中、ｎ及びｍはそれぞれ３０〜６００の整数を表す。)で表される。 （もっと読む）

【課題】化学増幅型ポジ型リソグラフィーにおいて、リソグラフィー薄膜のアルカリ現像液に対する最高溶解速度（Ｒｍａｘ）や現像コントラスト等のリソグラフィー特性に優れた、リソグラフィー用共重合体と該共重合体を含む組成物を提供する。
【解決手段】酸の作用で分解して極性基が生成する酸不安定構造を有する繰り返し単位（Ａ）と、極性基を有する繰り返し単位（Ｂ）とを含む共重合体であって、繰り返し単位（Ａ）が、式（１）で表される繰り返し単位（Ａ１）と、エステル部分が水酸基含有アダマンチル基である不飽和モノカルボン酸エステルで表される繰り返し単位（Ａ２）とを含む。
（もっと読む）

【課題】 平滑かつ緻密であるとともに電気的特性および機械的強度に優れた導電性高分子膜を製造する方法を提供すること。
【解決手段】 本発明は、π共役系複素環式化合物、共役系芳香族化合物およびヘテロ原子含有共役系芳香族化合物から選ばれる単量体を、支持電解質の存在下に、反応媒体として亜臨界状態のフルオロカーボンを含む電解媒体中で電解重合を行い、作用電極上に導電性高分子膜を形成する導電性高分子膜の製造方法であり、更に電極上の該高分子膜を剥がす導電性高分子の製造方法、および導電性高分子被覆膜の製造方法である。
前記フルオロカーボンとしては、炭素数１〜３のハイドロフルオロカーボンが好ましく、１，１−ジフルオロエタンが更に好ましい。単量体としては、ピロール、チオフェンまたはそれらの誘導体が好ましい。 （もっと読む）

【課題】 半導体リソグラフィーにおいて、現像コントラストやＤＯＦ等のリソグラフィー特性の優れた共重合体と該共重合体を含む組成物及び該共重合体を与えるチオール化合物を提供する
【解決手段】 本発明の半導体リソグラフィー用共重合体は、少なくとも、酸解離性溶解抑制基でアルカリ可溶性基を保護した構造を有する繰り返し単位（Ａ）と、式（Ｆ）
【化４６】


（式中、Ｘ_１及びＸ_２はそれぞれ独立して水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子が置換しても良い炭素数１〜４の炭化水素基を表し、Ｙ_１１〜Ｙ_１４は水素原子、若しくは、Ｙ_１１とＹ_１２の間又はＹ_１３とＹ_１４の間で形成したエーテル結合或いは炭素数１〜２の炭化水素結合を表し、Ｙ_２１〜Ｙ_２５はそれぞれ独立して水素原子又は炭素数１〜４の炭化水素基を表し、ｎは０又は１の整数を表す。）
で表される末端構造（Ｆ）を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体の製造において使用されるレジスト用ポリマーにおいて、ラフネスが小さく、現像欠陥が少なく、かつＤＯＦなどのリソグラフィー特性の優れたレジスト用ポリマーとその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の半導体リソグラフィー用共重合体は、少なくとも酸の作用でアルカリ可溶性が増大するカルボン酸エステル構造を有する繰り返し単位（Ａ）とカルボキシル基を有する繰り返し単位（Ｂ）とを含む共重合体であって、少なくとも繰り返し単位（Ａ）を与える単量体を（共）重合する工程（Ｐ）と、繰り返し単位（Ａ）を有する（共）重合体および／または繰り返し単位（Ａ）を与える単量体を酸と共存させて繰り返し単位（Ｂ）を生成する工程（Ｑ）とを経て得られることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造の微細なパターン形成に用いられ、従来品を上回る高感度な半導体リソグラフィーにおいて好適に使用されるポジ型感光性樹脂及び該ポジ型感光性樹脂を含むレジスト組成物を提供する。
【解決手段】 本発明のポジ型感光性樹脂は、酸の作用によって酸不安定保護基が解離し、アルカリ現像液に対する溶解度が増大するポジ型感光性樹脂であって、一般式（１）
【化１５】


（式中、X₁及びX₂は、互いに独立に、同一又は異なってもよく、炭素数1から３０の直鎖又は分岐の炭化水素基等を示し、これらの置換基は炭素数１−６の直鎖又は分岐の炭化水素又は−Ｏ−炭化水素で置換されていてもよく、Y₁及びY₂は、互いに独立に、同一又は異なってもよく、水素原子、炭素数１−６の直鎖又は分岐の炭化水素基等を示し、又、Ｚは、同一又は異なっていてもよく、酸素原子又は硫黄原子を示す。）
で表される構造を高分子主鎖に有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 効率よく高純度α−ヒドロキシ−ω−グリシジルエーテルの製造方法を提供する。
【解決手段】 ビニルオキシ基含有ω−グリシジルエーテルを酸触媒の存在下にジオールと反応させて脱ビニル化することを特徴とするα−ヒドロキシ−ω−グリシジルエーテルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 芳香族類であるトルエンから含酸素芳香族有機化合物であるベンジルアルコールを一段階で、しかも良好な選択性で効率良く製造する方法およびこれに使用される固体触媒を提供すること。
【解決手段】 遷移金属を担持させたシリカ系メゾ多孔体に、水分を接触させて得た触媒およびこの触媒の存在下、酸素とトルエンとを反応させることを特徴とするベンジルアルコールの製造方法。 （もっと読む）