【課題】基板に付着した異物を取り除きつつ、基板や該基板上に形成された膜の劣化を防止することができる基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】異物２２が付着し且つほぼ真空の雰囲気中に配されるウエハＷに向けて０．３ＭＰａ〜２．０ＭＰａのいずれかの圧力で洗浄ガスを噴霧して複数のガス分子２０からなるクラスター２１を形成し、該クラスター２１をイオン化することなくウエハＷへ衝突させる。 （もっと読む）

【課題】液化水素を用いるタイプの移動式ステーションにおいて、燃料電池車などへ水素を充填する際に充填準備期間を短縮し水素ガスのロスを減少させる。
【解決手段】液化水素貯蔵槽１から導出した液化水素を液化水素圧送ポンプ２、気化器５を経て、水素ガス受入容器７に供給する水素供給方法であって、液体水素圧送ポンプ２と気化器５とを連通接続する液化水素圧送路４から連出されているベントガス排出路11に気化器５からのバイパス路12を連通接続するとともに、前記ベントガス排出路11と液化水素貯蔵槽１に加圧用ガスを供給する加圧ガス供給路10とを連通接続する。水素供給の開始時に気化器５からの低温ガスをバイパス路12、ベントガス排出路11を介して液化水素貯蔵槽１に返送して、液化水素貯蔵槽１内を加圧するように構成した。 （もっと読む）

【課題】流量が大きく変動する超純水の比抵抗値を、所望の値に簡便に調整し安定させることができる超純水の比抵抗調整方法、及び超純水処理装置を提供する。
【解決手段】超純水に炭酸ガスを溶解して比抵抗値を調整する際に、供給する炭酸ガス圧力を調整してモータ駆動ロータリーバルブへ供給し、該モータ駆動ロータリーバルブの回転数に応じた炭酸ガスを気液接触室へ供給し、気液接触室から放出する超純水の比抵抗値を測定し、測定した比抵抗値をフィ−ドバックして前記モータ駆動ロータリーバルブの回転数を調整し、炭酸ガス溶解後の超純水比抵抗値を０．２〜１．０ＭΩ・ｃｍの範囲で一定にすることを特徴とする超純水の比抵抗調整方法、及び当該比抵抗調整方法に好適な超純水処理装置である。 （もっと読む）

【課題】超純水流量が変化したとき、従来よりも迅速かつ簡便に超純水の比抵抗値を所望の値に安定させることができる超純水の比抵抗調整方法、及び超純水処理装置を提供する。
【解決手段】炭酸ガスを超純水中に溶解させるとき超純水流量を測定し、超純水流量の変化が一定値以上の場合には、超純水流量と炭酸ガス量と比抵抗値の相関について予めインプットされたデ−タに基づいた量の炭酸ガスを超純水へ供給し、その後一定時間経過後には前記比抵抗計による測定値をもとに当該比抵抗値が０．２〜１．０ＭΩ・ｃｍの範囲で一定となるように、フィードバック制御する超純水の比抵抗調整方法及び当該方法に好適な超純水処理装置である。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム表面に、より緻密な酸化不動態膜を形成することのできる表面処理方法を提供する。
【解決手段】バリア型アノード酸化処理を施したアルミニウムからなる母材をオゾンガスに曝すことにより、さらにオゾンによる酸化処理を施すようにしたことを特徴とするアルミニウムの表面処理方法。 （もっと読む）

【課題】吸着剤に含有される金属がオゾンと反応することによるオゾン濃度の減少。
【解決手段】原料として酸素ガスに窒素ガスを数％未満添加したガスを使用して生成したオゾンガスを吸着剤としてシリカゲル７を充填した除去筒８に導入して、オゾンを飽和吸着させ、その後二酸化窒素をシリカゲルに吸着除去しながら、シリカゲル表面に吸着されたオゾンを低次の窒素酸化物と反応させることによって、より吸着性の高い二酸化窒素として捕捉する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、試験体の温度が過度に上昇することがなく、一定の昇圧率で圧力を印加することの出来る高圧水素試験設備や高圧水素充填設備での充填制御方法を提供する。
【解決手段】高圧圧縮機１、冷却部２、試験体３、高圧バッファタンク４をガス供給路５で接続して閉回路を形成し、高圧圧縮機１の吐出口1aと吸込口1bとを圧力調整弁７を介装したバイパス路８で接続し、高圧圧縮機１の吐出側でのバイパス路分岐部8aよりも下流側に流路開閉弁９を配置し、試験体３への流入口よりも上流側に圧力調整弁10を配置し、この圧力調整弁10の開度を昇圧率が一定となるように制御するように構成した。 （もっと読む）

【課題】移送作業の前後に、ガスパージや加温なしで容易に接続でき、ガスの外部への漏洩を抑制することの出来る極低温流体用配管の接続継手を提供する。
【解決手段】断熱二重管構造の一対の継手２，４であって、一方の継手の外管６での端部に開閉機構８を配置し、端部から後退させた箇所に他方の継手に装着した自己封止型遮断弁１０の開弁操作部１１を位置させる。他方の継手の挿入部を一方の継手の内管５内に挿嵌可能にし、挿嵌部分１４の外周を伸縮可能な外套管１５で被覆し、先端部分に装着した連結具１７の内周面と一方の継手の外周面とをシールを介して相対摺動可能に構成する。また、連結具の先端寄り部分の外周面を、開閉機構の箱部２３に形成した開口に気密嵌合可能に構成し、外套管の基端部と他方配管への接続部との間にリリーフ弁を介装したガス戻し管を配管し、このガス戻し管で漏洩ガスを他方接続継手の内管内に返送する。 （もっと読む）

【課題】ＰＦＣｓ分解ガスから乾式除害により高純度のＣaＦ_２を安定的に回収することのできるフッ素回収方法およびその装置を提供する。
【解決手段】カルシウム塩化合物からなる第１フッ素回収薬剤と、ナトリウム塩化合物からなる第２フッ素回収薬剤とに分解生成ガスを直列に通過させて反応させ、両薬剤の重量変化を測定検出し、その合計重量変化の変曲点を検出した時点を反応終了時期として、分解生成ガスの供給を停止するとともに、フッ素回収薬剤からフッ素成分を回収する。 （もっと読む）

【課題】加圧蒸発ラインの戻り管内を流通する過熱状態の水素ガスを液化水素貯槽内の液化水素で冷却することにより、液化水素貯槽内の水素ガスの過熱度を小さくして、液化水素貯槽内への液化水素充填時に液化水素貯槽内の圧力の上昇を小さくした液化水素貯蔵供給設備に関する技術である。
【解決手段】液化水素貯蔵供給設備１の加圧蒸発ライン４における液化水素貯槽２への戻り管４ｃを、液化水素貯槽２の下部から液化水素貯槽２内を上方に垂直に立設して液化水素貯槽２内の上方位置における液化水素のガス相に開口することにより、戻り管４ｃ内を流通する過熱水素ガスを液化水素で冷却し、液化水素貯槽２内の水素ガスの過熱度を小さくして、液化水素貯槽２内への液化水素充填時に液化水素貯槽２内の圧力の上昇を小さくした。 （もっと読む）