【課題】本発明は、液化二酸化炭素を大気圧まで膨張させてスノー状ドライアイスを製造する装置及び製造する方法に係り、特に、液化二酸化炭素を供給する流路の途中に、構成の簡単な過冷却熱交換器を設けるようにしたものである。
【解決手段】本発明は、液化二酸化炭素をドライアイス生成ノズルに供給する流路の途中に、液化二酸化炭素を冷却し過冷却状態にする冷却管を備えた過冷却熱交換器を形成し、過冷却熱交換器に噴出ノズルにより液化二酸化炭素を噴出させて冷却管内を流通する液化二酸化炭素を過冷却するようにしたから、ドライアイスの原料と同じ液化二酸化炭素を過冷却の冷却源として、液化二酸化炭素の過冷却を簡単な構成で行なうドライアイス製造装置及びドライアイス製造方法とすることができるのである。 （もっと読む）

【課題】触媒、磁性材料、電極基板などの種々の用途、特にＭＬＣＣの電極に好適なニッケル粒子を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表されるニッケル錯体であって、
Ｎｉ（ＨＣＯＯ）₂（Ｌ¹）（Ｌ²）・・・・（１）
（但し、Ｌ¹及びＬ²はルイス塩基配位子を示し、Ｌ¹とＬ²とは互いに同一であっても異なっていても良い。）
ギ酸ニッケル二水和物、脂肪族アミンなどのルイス塩基及び溶媒を含む溶液を加熱することによって製造される。 （もっと読む）

【課題】いかなる濃度イオン注入がなされているレジストであってもアッシングできるようにする。
【解決手段】チャンバー７によって、レジストが塗布されているウェハに紫外光を照射する。チャンバー５によって、ウェハをオゾンガスに接触させてアッシングする。チャンバー６によって、レジストの成分に対応する半導体ガスを接触させる。チャンバー７によって、紫外光を照射したウェハに対してオゾンガスを接触させる。 （もっと読む）

【課題】 高い混合精度を維持するとともに、広いレンジアビリティを有し、なおかつ圧力損失を低く抑えた電源不要の混合器を提供する。
【解決手段】 大気温で液化するガスと、大気温で気体であるガスとを混合するガス混合器であって、濃度制御部(２)と自動切換機構(３)からなる。濃度制御部(２)は、液化ガス導入路(４)と、圧縮ガス導入路(５)にそれぞれ層流素子(６)(７)を配置し、圧縮ガス導入路(５)での層流素子(７)よりも上流側に均圧弁(８)を装着して両層流素子(６)(７)への流入圧力を同圧にし、層流素子(６)(７)よりも下流側の液化ガス導出路(10)と圧縮ガス導出路(11)とを逆止弁(９)を介して合流させてなる流量制御部(12)を複数並列に配置してある。自動切換機構(３)は、各流量制御部(12)での合流管(13)部分に自動切換弁(14)をそれぞれ装着し、各自動切換弁(14)を該自動切換弁(14)よりも下流側での圧力を検知して切換作動する。 （もっと読む）

【課題】水素ガスを利用してクリーンな燃焼を実現するとともに、入手しやすい従来の化石燃料に係る燃料ガスもあわせて利用することができるエンジンを備える発電装置と、走行装置を提供すること。
【解決手段】燃料ガスを燃焼させるエンジン３６により、発電機５２を駆動し、該発電機による電力で電気モータ６３を駆動して走行する走行装置であって、前記燃料ガスとしての水素１と、少なくとも水素よりも高カロリーな他の燃料ガス２をそれぞれ送る各燃料ガスの送り管と、各燃料ガスの送り管から開閉手段を介してひとつの管路にまとめて送る燃料ガスの供給管３１と、該供給管に設定した可変調圧器３４とを有しており、前記可変調圧器が、前記燃料ガスの供給管を介して燃料ガスを供給する際に、前記水素と、前記他の燃料ガスとにそれぞれ適合した圧力を選択して、適切な圧力で燃料ガスを供給する構成。 （もっと読む）

【課題】大人にとって操作しやすく、子供にとっては解除し難い安全機構を備えた着火器を提供すること。
【解決手段】炎を噴出するノズル部２と、燃料を導入する燃料導入部３ａと、導入された燃料を着火する着火部７と、を有し、着火部は、着火器の本体の一側に配置される着火操作部５が着火位置まで移動することによって着火する構成となっており、着火操作部の着火位置への移動を規制する規制部１５ｂ及び許可するための許可部１５ｃを有する移動規制部１５が前記着火操作部６に対して配置され、移動規制部は、移動することによって、規制部又は許可部を着火操作部の移動方向に対応して配置可能な構成となっており、移動規制部の移動を操作する移動規制部操作部は、着火器の本体の一側の反対方向の本体に配置されている着火器１。 （もっと読む）

【課題】微細化を可能にすると共に、安定して良好な腐刻を行うことを可能にする腐刻方法を提供する。
【解決手段】Ｓｉ，Ｓｎのうち１種類以上の原子で構成された物質を腐刻対象物として、腐刻用ガスの放電により腐刻を行う際に、腐刻用ガスとして炭素原子を含まないハロゲン間化合物ガスを使用する。さらに、この腐刻用ガスに、腐刻側壁を表面酸化することにより異方性腐刻の水平方向の腐刻速度を低下させて異方性を強調するために、酸素原子を含む酸化性ガスを添加して、腐刻対象物に対して腐刻を行う。 （もっと読む）

【課題】 オゾンガスと紫外線とを併用する酸化による表面処理方法において、酸化効率を向上させることのできる手段を提供する。
【解決手段】 キセノンガス等の希ガスとオゾンガスとの混合ガスを被処理物に作用させ、その混合ガスに紫外光を照射作用させる。混合ガス中の酸素分子密度を減じることでオゾンガスの分解を促進して、酸化効率を向上させ、原子状酸素を有効に基板表面に到達させる。 （もっと読む）

【課題】水素吸蔵量を低下させることなく、従来よりも低い反応温度で水素吸蔵・放出を行うことのできるマグネシウム系の水素貯蔵材料とその製造方法を提供する。
【解決手段】原料となる水素化マグネシウム（ＭｇＨ₂）とこの原料中のＭｇ量に対して所定の割合で添加されたケイ化ニッケル（Ｎｉ₂Ｓｉ）、あるいは、水素化マグネシウム（ＭｇＨ₂）および金属マグネシウム（Ｍｇ）からなる複合原料とこの原料中のＭｇ量に対して所定の割合で添加されたケイ化ニッケル（Ｎｉ₂Ｓｉ）から水素貯蔵材料を構成する。また、これら水素貯蔵材料は、原料となる水素化マグネシウム等と所定割合のケイ化ニッケルとを混合した後、不活性ガス雰囲気下で該混合物に機械的粉剤処理を施すことにより製造される。 （もっと読む）

【課題】 高い純度のフッ化カルシウムを得ることのできる乾式フッ素回収方法を提供する。
【解決手段】 カルシウム等のアルカリ土類金属の塩類、水酸化物又は酸化物の単独若しくはこれらの混合物からなるフッ素吸収薬剤を反応筒に充填して反応装置を構成し、この反応装置に少なくともＳｉＦ_４ガスとＨＦガスとを含む混合ガスを流通させ、ＨＦガスをフッ素吸収薬剤と反応させてアルカリ土類金属のフッ化物として回収する。このとき、前記反応筒から流出するＳｉＦ_４ガス濃度を測定監視し、流出ガスのＳｉＦ_４ガス濃度が所定濃度に達したことを検知して、反応筒への混合ガスの供給を停止し、反応筒からアルカリ土類金属のフッ化物を取り出すことにより、高純度のアルカリ土類金属フッ化物を得る。 （もっと読む）