【課題】原子層堆積装置による反応空間内に残存する前躯体のパージが確実に行われ、各前躯体のガスが安定的に且つ均等に基板に対して供給されるようにする。
【解決手段】ガス供給管８を、同心状の内側管８１および外側管８２からなる二重管構造に形成する。内側流路８Ａの最大径での断面積とこの位置での外側流路８Ｂの断面積を同じにする。外側管８２の先端を内側管８１の先端より基板側とする。外側管８２の先端面をなす円の直径を内側管８１の先端面をなす円の直径以下とする。このガス供給管８を、ガスの流れが基板面に対して垂直になるように設置する。天板７を設けて、互いに平行な基板６と天板７の間に反応空間が形成されるようにする。基板６に対するガス供給時に、内側流路８Ａを通過するガスの流量と外側流路８Ｂを通過するガスの流量が常に同じになるように、内側流路８Ａおよび外側流路８Ｂへのガス導入量を制御する。 （もっと読む）

【課題】反応管に対する内挿管および回転軸の中心軸の倒れとズレを調整可能とし、内挿管や回転軸等の部品交換前後での成長膜厚のバラツキを低減し得る気相成長装置を提供する。
【解決手段】この気相成長装置１は、反応管１０の下流側でこれに内嵌する内挿管２０のフランジを挟持するジョイント２６、スペーサ２７およびキャップ２８が、それぞれ調整代をもつ締結構造を有する締結面で相互に締結されており、さらに、ジョイント２６およびスペーサ２７、並びに、スペーサ２７およびキャップ２８は、それぞれ互いに当接する締結面同士の、一方の面と他方の面とが、反応管１０の中心軸上を中心とする凹球面を有する面と、同じく凸球面を有する面と、でそれぞれ形成されている。 （もっと読む）

【課題】 優れた膜質の膜を成膜することができ、さらには、膜厚の制御性に優れた気相成長装置を提供すること。
【解決手段】反応ガス生成部１１と、反応部１５との間には配管１７が配置されている。また、配管１７のバルブ１７１よりも反応ガス生成部１１側には、配管１８が接続されている。配管１７により、反応ガス供給路Ｒ１が形成される。この反応ガス供給路Ｒ１は、反応ガス生成部１１〜１３で生成した反応ガスを反応部１５に供給するため経路である。
配管１７および配管１８により、排気経路Ｒ２が形成される。 （もっと読む）

【課題】 クレーンのウインチ作動時においては、ドラムシャフトとウインチドラムとの間に介装されるベアリングが回転するが、その回転中にドラムシャフトとウインチドラムとの間の電気抵抗が大きくなって、電気的に導通しにくくなるのを回避する。
【解決手段】 クレーンのウインチ５のドラムシャフト６とウインチドラム８との間に介装されるベアリング７の外輪と内輪とを電気的に導通させる導通部材２３をベアリング７の外側面に設けて、ドラムシャフト６とウインチドラム８との間を強制的に導通させる。 （もっと読む）

【課題】最低カメラ光軸の高さを、より低く設定可能とするとともに、狭い場所でも高い位置からの撮影を可能とし、さらに、被写体に対してその真上に近い位置からの撮影を可能とする。
【解決手段】このカメラ用ペデスタルは、水平移動可能なキャリア１８上に水平旋回可能に立設するポール支持部２６を有している。そして、このポール支持部２６の上側には、先端側にカメラ固定部９を有して長手方向に伸縮可能に構成された伸縮ポール２８が、その途中部分をポール俯仰軸２９で回動可能に連結されている。さらに、このカメラ用ペデスタルは、伸縮ポール２８を、その軸線を鉛直方向に向けた第一の位置、所定の傾斜角度に向けた第二の位置、およびその先端がポール俯仰軸２９の水平面より低くなる第三の位置それぞれに設定可能なポール俯仰位置設定手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】マグネシウム合金材の組織が微細結晶粒からなるマグネシウム合金材を簡便に得ることのできる超塑性マグネシウム合金材の製造方法を提供する。
【解決手段】マグネシウム合金に固有の周波数を発生する超音波振動子を複数用いて超音波を印加した後、マグネシウム合金を絶対温度で表されたその融点に０．３５乃至０．６を乗じた温度で加熱する。超音波として、周波数変調方式の超音波を使用することが最適である。 （もっと読む）

【課題】マグネシウム合金材の組織が微細結晶粒からなるマグネシウム合金材を簡便に得ることのできる超塑性マグネシウム合金材の製造法を提供する。
【解決手段】マグネシウム合金の表面を加工硬化処理した後、超音波を印加し、該マグネシウム合金を絶対温度で表されたその融点に０．３５乃至０．６を乗じた温度で加熱する。 （もっと読む）

【課題】 体幹の捻り力が小さな練習者であっても、スウィング動作を正確かつ容易に練習できるスウィング練習用装置を提供する。
【解決手段】
上部回転台２１と、上部回転台２１に対して逆回転する下部回転台２３と、下部回転台２３に設けたグリップ上下装置６４と、グリップ上下装置６４の軸方向に摺動するグリップ６６と、上部回転台２１及び下部回転台２３を支持する基台と、を備えるスウィング練習用装置１において、下部回転台２３に対する上部回転台２１の回転速度又は回転トルクを制御可能に構成した回転台モータ４１を設ける。 （もっと読む）

【課題】中温域において優れた熱電変換性能を有する高性能なｎ型熱電変換材料を提供する。【解決手段】ｎ型充填スクッテルダイトＹｂ_x Ｃｏ₄ Ｓｂ₁₂化合物に対し、下記（１）〜（４）の手法を適用した。その結果、無次元性能指数ＺＴが向上し、熱電変換効率の高い熱電変換材料が得られた。
（１）Ｙｂ_x Ｃｏ₄ Ｓｂ₁₂よりＣｏの量が多いＹｂ_x Ｃｏ_4+y Ｓｂ₁₂（ｘ及びｙは０超過１以下）なる組成とすること
（２）アルカリ土類元素Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａの少なくとも一種によってＹｂを完全置換あるいは部分置換すること
（３）Ｓｉ、Ｚｒ、Ｈｆの少なくとも一種を添加すること
（４）Ｆｅ、Ｒｕ、Ｏｓ、Ｒｈ、Ｉｒ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｐｔの少なくとも一種によってＣｏを部分置換すること （もっと読む）

【課題】 チョクラルスキー法による単結晶成長時の直径を、撮影した画像をもとに直接的に精度よく求める方法を提供する。
【解決手段】 単結晶２と原料融液４との境界部を、設定した単結晶の回転角度毎に少なくとも２回撮影し、その撮影した各画像から前記境界部の計測点をそれぞれ特定し、その特定した計測点の座標Ａ’、Ｂ’と、ＣＣＤカメラ１４の取り付け角αと、カメラ焦点Ｆから単結晶２の回転中心までの水平距離と、から当該計測点における単結晶２の半径Ｒiを算出する。 （もっと読む）