説明

シチズンファインテックミヨタ株式会社により出願された特許

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【課題】 スプリアス周波数で発振する可能性の高いものをも確実に不良として選別可能な圧電振動子の検査方法を提供する。
【解決手段】 圧電振動子の発振回路にそのスプリアス周波数帯と同じ周波数帯の電気信号(ノイズ)を与えることでスプリアス周波数帯の帰還電圧を実質的に増大させ、その状態で圧電振動子を実際に駆動させてスプリアス周波数で発振したものを不良として選別する。この方法では、スプリアス周波数帯のピークが主振動周波数帯のそれに近く、使用先の電子機器等に組み込まれた際に場合によってはスプリアス周波数で発振してしまう可能性のある圧電振動子であっても、確実に不良として選別することができる。 (もっと読む)


【課題】 エッチャントの温度を安定化させることで安定したエッチング処理を行い、信頼性の高い基板のエッチング方法、および水晶振動子の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 水晶基板および水晶基板を収容した容器をエッチャント液温と同温になるようにクリーンオーブンで加温し、水晶基板、および水晶基板を収容した容器ごとエッチング処理槽に入れ、加温された弗酸・弗化アンモニウムなどのエッチャントにより水晶基板のエッチングを行う。 (もっと読む)


【課題】圧電デバイスの小型化・薄型化が進むに伴い、圧電デバイスのパッケージを構成する基板も薄肉化するため、パッケージに形成した保護膜の応力や、基板自身の応力により、パッケージの変形が発生しやすい。
【解決手段】第一基板と第二基板からなるパッケージ内に、圧電振動素子を収納した圧電デバイスであって、前記パッケージの表面に前記パッケージの残留応力を相殺する、引張応力材料及び/又は圧縮応力材料からなる応力膜が形成されている圧電デバイスとする。 (もっと読む)


【課題】マザーサファイア基板の分断面が分断毎にばらつくため、封口状態が分断状態によりに左右される。
【解決手段】所望の素子をシリコン面に形成したサファイアのR面からなるSOS基板で矩形状の第1基板と、前記第1基板の前記素子を備えた側の面と対向するように設けられた透明部材からなる矩形状の第2基板と、前記両基板の周辺部を液晶の注入口となる部分を残して封止することにより、前記両基板間に液晶層を形成する液晶表示素子領域を複数個形成したマザー基板を個々の液晶表示素子領域に分断する液晶表示素子において、前記第1基板の第2基板と対向する面側の分断ラインをダイシングし、封止した後、前記ダイシングラインに沿って分断した液晶表示素子とする。 (もっと読む)


【課題】信頼性の高い基板の成膜方法、および圧電振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電振動子の製造方法であって、少なくとも、圧電基板の被成膜領域を所定範囲で分割した開口を有するマスクに圧電基板を保持する工程と、蒸着法またはスパッタリング法により前記開口を通して前記圧電基板表面に薄膜を形成する工程と、前記薄膜上にレジスト膜を形成し、該レジスト膜を圧電振動子の形状にパターニングする工程と、圧電振動子の形状にパターニングされた前記レジスト膜をマスクとして露出した薄膜を除去する工程と、前記薄膜をマスクとして前記圧電基板をエッチングする工程と、を有する圧電振動子の製造方法とする。 (もっと読む)


【課題】小型で低価格な圧電デバイスの提供。
【解決手段】半導体基板に少なくとも圧電振動片を制御するための回路が形成された圧電デバイス用集積回路100において、前記集積回路100の回路形成面には、圧電振動片と前記集積回路を接続するための圧電振動片接続用端子102が形成され、前記集積回路100の回路形成面と対向する面には、前記半導体基板を貫通する貫通電極106によって前記圧電振動片接続用端子102と電気的に接続され、圧電振動片を搭載するための実装用端子105が形成されており、前記圧電振動片接続用端子102と前記実装用端子105は、前記集積回路形成面に鉛直な直線上にて互いに対向して配置される構成。 (もっと読む)


【課題】圧電デバイスのパッケージのキャビティー内に搭載される圧電振動片とキャビティー内側面との間のクリアランスを確保すると共に、蓋基板との接合面積をも充分に確保した圧電デバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】パッケージ2の壁部2aにはその内側面側に凹部2cが形成されている。この凹部2cは、壁部2bの蓋部材4と接合される上部と底部2aに接続される間のほぼ中央に形成されており、圧電振動片3の端部と対応する位置関係となる位置に形成されている。このような構成とすることによって、パッケージ2の外形が小さくなっても、圧電振動片3とキャビティーCの内側面との間のクリアランスを確保することができる。さらに、壁部2bの上面部と蓋部材4との接合面積は、従来構成と同等に保てるので接合面積の減少による接合不具合の問題もなく、高信頼性の圧電デバイスを得ることができる。 (もっと読む)


【課題】信頼性を充分に確保した圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイス1は、励振電極を形成した圧電振動素子2を、前記圧電振動素
子搭載パッド3に搭載し、貫通電極4を通じて前記外部端子5と電気的に接続している。前記圧電振動素子を収納する前記圧電デバイスパッケージ6内に前記圧電振動素子2を搭載した後、前記圧電デバイスパッケージ6上部に蓋7を接合して圧電デバイスパッケージ内部8を気密封止している。圧電デバイスパッケージ6の下面部には有機絶縁膜11が形成されている。前記貫通電極形成のための貫通孔を形成する際に、キャビティーと対向面からエッチングにより形成する事によって、前記キャビティー側から前記貫通孔を形成した際の、レジストが形成しにくいキャビティー側壁上部と接合面の角部のシリコンエッチングによる接合面積の低下を抑制する事ができ、安定なパッケージの気密封止が実現できる。 (もっと読む)


【課題】液晶表示パネルと、フレキシブル配線基板を接続する際に、液晶表示パネル電極基板と金属補強基板との短絡(ショート)を防止することが可能となり、電気的に安定した液晶表示素子を提供しようとするものである。
【解決手段】少なくとも、複数の画素電極を有する第一電極基板と該第一電極基板に相対する対向電極を有する第二電極基板を有し、前記第一電極基板と前記第二電極基板が所定の位置及び間隔でシール部材により貼り合わされた液晶表示パネルと、前記液晶表示パネルを、接着手段を介して配置固定する金属補強基板と前記液晶表示パネルとの電気的接続を成す回路基板と、を備えた液晶表示素子であって、前記電極基板と回路基板との導通をとる際に、前記電極基板と前記金属補強基板間の短絡(ショート)を防止するため、前記金属補強基板に防護壁を有する液晶表示素子。 (もっと読む)


【課題】 液晶表示素子の液晶分子のプレティルト角θへ影響を与えることなく、且つ前記液晶側の斜方蒸着膜構造をポーラスにすることにより、前記斜方蒸着膜の配向規制力を向上し、均一な液晶配向による均一な表示が可能な液晶表示素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 画素電極基板と透明電極基板とが液晶を介して互いに対向配置された液晶表示素子であって、前記画素電極基板と前記透明電極基板とのそれぞれの前記液晶に接する面側に形成された斜方蒸着膜において、密構造に形成された第1斜方蒸着膜と、ポーラス構造に形成された第2斜方蒸着膜とが積層され、斜方蒸着膜全体としての屈折率を単層構造時と同等とする。 (もっと読む)


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