【課題】フランジ部とフロアとの間に水分等の凝縮液体が残留することを防止でき、Ｏリング及び周辺部品の腐食や作業環境の悪化を防止できるようにする。
【解決手段】縦型炉装置１０は、プロセスチューブ１及びフロア４を備えている。フロア４の上面におけるプロセスチューブ１の内周面の下端部が位置する部分を含む範囲内に、全周にわたってすり鉢状の第１の凹部４１を形成した。フロア４の上面で第１のフランジ部１１の底面と当接する部分における第１の凹部４１の外側には、全周にわたって第２の凹部４２を形成した。第２の凹部４２には、円周方向における複数の位置のそれぞれに、プロセスチューブ１の外部の気体源４５からに導入用パイプ４５及び連通孔４３を経由してＮ_２ガス等の不活性ガスを導入する。結露によって生じた水分等の凝縮液体を第１の凹部４１内の中心側に導き、蒸発させる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成および制御によって、チャンバ内部や排気管内部に結露の原因となり得る低温部が発生することを防止することにより処理時間を短縮することが可能な減圧乾燥装置を提供する。
【解決手段】減圧乾燥装置１０は、チャンバ上・下部１２，１４、排気管３２、減圧ポンプ２８、仕切りシート材１６、熱風発生器２０、および熱風導入管３４を備える。排気管３２は、チャンバ上・下部１２，１４内部に連通するように構成される。減圧ポンプ２８は、排気管３２を介してチャンバ上・下部１２，１４内部を減圧するように構成される。仕切りシート材１６は、少なくともチャンバ上・下部１２，１４における排気管３２との接続箇所と排気管３２とを囲んで閉空間を形成する。熱風発生器２０および熱風導入管３４は、仕切りシート材１６によって閉じられた空間内に所定温度の熱風を供給させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】 発熱体の表面のできるだけ多くの部分を断熱主体の外に露出させることができ、しかも断熱主体の発熱体支持部の強度を十分に確保できて、製造がより容易な加熱ユニットを提供する。
【解決手段】 加熱ユニットは、断熱材を主成分とする断熱主体1の表面に設けられた溝2の底部2aに、断熱主体1と別に作られた耐火物製溝底形成部材3が、溝2の底部2aを覆って溝2開口側の面3cが断熱主体1より露出するように断熱主体1に一体的に支持され、溝底形成部材3より溝2開口側の溝2の部分の横断面形状が、溝2開口側が広がった台形状であり、溝底形成部材3より溝2開口側の部分において、波形に加工された発熱体4の幅方向両側の彎曲部4aが溝2の両側壁2bより断熱主体1内に入ることにより、発熱体4が、溝底形成部材3に接触しない状態で断熱主体1に一定的に支持され、かつ溝2内で断熱主体1の外に露出しているものである。 （もっと読む）

【課題】一般的な熱処理システムにおいて広く使用可能であり、かつ、降温部で廃棄される熱を可能なかぎり多く回収し有効に再利用することを可能にする熱処理システムを提供する。
【解決手段】熱処理システム１は、ワーク１００に対して熱処理を行うように構成される。熱処理システム１は、第１の炉体８０、第２の炉体８２、ヒートパイプ１６、１８を備える。第１の炉体８０は、ワーク１００の温度を所定値まで上昇させる昇温部１２を少なくとも有する。第２の炉体８２は、ワーク１００の温度を所定値まで降下させる降温部１４を少なくとも有する。ヒートパイプ１６，１８は、昇温部１２に凝縮部が配置されるとともに降温部１４に蒸発部が配置されるように構成される。 （もっと読む）

【課題】外包体の内側面を外側面の材料に比べて線膨張係数が小さい材料で構成し、壁面の外面と耐熱真空断熱材の内側面との間に開放した間隙が形成されないようにして、加熱室の断熱性を維持する。
【解決手段】高温側に配置される第１部材１１を低温側に配置される第２部材１２に比較して線膨張係数が小さい素材により形成し、第１部材１１と第２部材１２との間に芯材１３を収納した後、内部を真空状態にする。第１部材１１の熱変形量と第２部材１２の熱変形量とに大きな差が生じないようにし、耐熱真空断熱材１が厚さ方向に変形して耐熱断熱材２１から離間することによる加熱室２０の断熱性の低下を防止する。 （もっと読む）

【課題】鋼材の表面硬度のバラツキを小さくして確実に所望の硬度が得られる窒化処理方法及び窒化処理装置を提供する。
【解決手段】窒化処理装置６内に、アンモニアと酸素とを含む雰囲気を導入し、所定の温度範囲に加熱する。窒化処理装置６内の酸素濃度を測定し、測定された酸素濃度に基づいて窒化処理装置６内の酸素濃度を調整する。予め鋼材の表面硬度と酸素濃度との関係に基づいて、必要な酸素濃度の範囲を設定し、測定された酸素濃度が設定範囲より大きければ窒化処理装置内６に導入される酸素の量を低減し、小さければ酸素の量を増加する。窒化処理装置内を加熱する加熱手段と、アンモニアガス導入手段２２と、酸素ガス導入手段２３ａと、窒化処理装置６内の酸素濃度を検出する酸素濃度検出手段３５ａと、酸素濃度測定手段３５ａにより検出された酸素濃度に基づいて窒化処理装置６内の酸素濃度を調整する酸素濃度調整手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率が高い基板焼成炉の給排気システムを提供する。
【解決手段】炉体１０にて加熱されるガラス基板Ｗからは多量の有機物が発生する。炉体１０の排気口１４からは有機物を含む熱排気が排出され、ファン２１によって循環経路２０に熱風の気流として送り出され、その気流がヒータ２２によって加熱された後に耐熱ＨＥＰＡフィルタ１３によって浄化されて吹き出し口１２から炉体１０の内部空間に再供給される。熱排気の一部は排気管３０に流れ込んで触媒ユニット３１を通過する。触媒ユニット３１では有機物の熱分解と酸化分解とが同時に生じ、排気気体中に含まれる有機物のほとんどが分解され、触媒ユニット３１の入口側温度よりも出口側温度が約２００℃上昇する。高温の排気気体が熱交換器５０に流入して給気気体との熱交換が行われることとなり、エネルギー効率を良好なものとすることができる。 （もっと読む）

【課題】過大なコストアップを招くことなく浸炭むらの発生を抑えるとともに、表面異常層の増加も抑制することのできる連続浸炭方法を提供する。
【解決手段】被処理物の搬送方向上流側に位置する仕切扉と、この仕切扉に続いて設けられた昇温ゾーンと、この昇温ゾーンに続いて炉内搬送方向下流側に設けられた浸炭ゾーンと拡散ゾーンとを備える浸炭炉の各ゾーンに、炭化水素ガスおよびエアーを直接供給して前記浸炭ゾーンと拡散ゾーンに浸炭性雰囲気を形成し、前記被処理物に連続的に浸炭処理を施す連続浸炭方法であって、前記被処理物を昇温ゾーンに搬入して前記仕切扉を閉鎖した直後、前記昇温ゾーンに供給される炭化水素ガスおよびエアーの混合気体に、所定流量のＣＯ₂ガスを、所定の時間添加することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高い耐摩耗性を有するとともに、剥離帯電が生じない基板ステージを提供する。
【解決手段】ステージ本体１１に形成された基板Ｗを載置するための載置面１２に、エンボス加工によって所定のエンボス形状Ｅを形成した上で、陽極酸化処理によってアモルファス状態のアルミナ皮膜Ａを形成する。アモルファス構造のアルミナ皮膜Ａは、緻密かつ強固である。このため、高い耐摩耗性を有するとともに、剥離帯電をほぼ防止することができる。 （もっと読む）

【課題】従来よりも熱回収効率を高めるとともに製造コストを抑制した、熱回収装置の提供を図る。
【解決手段】熱回収装置１００は、熱交換ユニット４と主予熱室１２と副予熱室１３とを備える。主予熱室１２には高温チャンバ２が設けられる。副予熱室１３には低温チャンバ３が設けられる。熱交換ユニット４は、高温チャンバ２から熱を回収し、低温チャンバ３に回収した熱を放熱する。副予熱室１３は、低温気体の通気路における低温チャンバ３の前段を構成し、主予熱室１２は低温気体の通気路における副予熱室１３の前段を構成する。主予熱室１２は低温気体に高温チャンバ２からの漏出熱を吸熱させる。 （もっと読む）