【課題】ワークが収容されているバスケットを流れる焼入油の流速を速めることが可能となる焼入装置を提供する。
【解決手段】焼入油を貯留する油槽１を備え、焼入温度に加熱にしたワークを収容したバスケット１０を焼入油に浸漬して急冷する。昇降籠２０に搭載したバスケット１０の直下で焼入油を取り入れる入口開口部３０を有しているダクト３と、焼入油を入口開口部３０から取り入れさせ焼入油をバスケット１０の上から下へと流す下降流を生じさせるスクリュ４とを備えている。ダクト３は、バスケット１０の下端面に接近した位置まで上へと延び上端部が入口開口部３０となる延長筒部３５と、この延長筒部３５の外周から外側に延び、昇降籠２０の脇を下方へ流れ昇降籠２０の下に達した焼入油が入口開口部３０に流れ込むのを阻止する遮断部材３６とを有している。 （もっと読む）

【課題】ワークにおける浸炭むらや、スーティングの発生を抑制する真空浸炭装置及び浸炭ガスの温度調節方法を提供する。
【解決手段】真空浸炭装置１は、液体炭化水素を気化して真空浸炭炉３０内に供給される浸炭ガスを予熱する予熱部４０と、予熱部４０により予熱された浸炭ガスの温度を測定する温度センサ５０と、温度センサ５０により測定された温度に基づいて予熱部４０を制御して、浸炭ガスの温度を所定範囲に保持する制御部６０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、焼入室内が負圧になった際の安全性を確保し、変性ガスの削減も可能とした熱処理炉を提供する。
【解決手段】熱処理炉１０は、加熱室４、油槽５、焼入室２、排気管９、および窒素ガス供給ライン２０を有する。加熱室４内には被処理品８が収容され、所定の変性ガスの雰囲気下で加熱処理が行われる。油槽５には、焼き入れ用の油が貯留される。焼入室２は、加熱室４に連設される。焼入室２内には、加熱処理後の被処理品８が搬入され、油槽５内の油に被処理品８を浸漬して焼き入れが行われる。排気管９は、焼入室２に接続され、加熱処理に使用された変性ガスを排気する。窒素ガス供給ライン２０は、排気管９に接続され、排気管９内に窒素ガスを供給する。 （もっと読む）

【課題】安価な支持部材を使用して、ワークが大型化しても支持部材とワークの接触面積を増やすことなくワークの外周部でワークの底面を確実に支持することが可能なワーク積載装置を提供する。
【解決手段】ワーク積載装置１０は、複数の支柱、および支持部材を含む。複数の支柱は、矩形の板状体であるワークの底面に当接する複数の支持部材を、上下方向に沿って等間隔に配置された複数の支持位置の各々で保持するものであり、各々が水平面内でワークＷより大きい矩形状の領域Ｒの対向する１対の辺の各々の一端および他端にそれぞれ配置される２本の第１の支柱２１Ａ，２１Ｂおよび２本の第２の支柱２２Ａ，２２Ｂからなる。支持部材は、第１の支持部材３１Ａ，３１Ｂおよび第２の支持部材３２Ａ，３２Ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】シャッター部材周辺への昇華物の固着および炉内温度への影響を効果的に防止し得る熱処理装置を提供する。
【解決手段】 この発明に係るこの熱処理装置１は、シャッター部材７、複数の接触部材９、弾性部材１０、およびダクト２７を備える。シャッター部材７は、搬出入口２０Ａを遮蔽するものである。複数の接触部材９は、シャッター部材７に設けられ、熱処理炉２０の搬出入口周縁部２０Ｂに圧接する。弾性部材１０は、シャッター部材７に設けられ、複数の接触部材９を圧接方向に付勢する。ダクト２７は、熱処理炉２０の搬出入口２０Ａの開口部に設けられ、シャッター部材７と熱処理炉２０の搬出入周縁部２０Ｂとの間の隙間１２に開口する複数の吸気孔２７Ａを有し、隙間１２を流れる空気を吸気孔２７Ａから吸い込んで戻り通路２５に排気する。 （もっと読む）

【課題】基板内の柔軟性の高いスペーサの変形をも防止でき、液晶基板のシール硬化処理に適用できるとともに、基板底面との当接部分の交換作業の容易な基板支持部材及び基板収納装置を提供する。
【解決手段】基板収納装置内の基板収納位置に対する基板の搬入方向に直交する方向に一定の間隔で複数配置され、前記基板収納位置に搬入された基板２００の底面に当接して該基板２００を支持する基板支持部材１０であって、該基板支持部材１０は、長手方向が前記搬入方向に平行な取付面１Ａを有する本体１と、前記取付面１Ａに固定され、上面及び前記搬入方向の両面に開放した凹部を有するガイド２と、前記取付面１Ａに沿って上側部分を前記凹部の上方に露出させた状態で前記凹部内に装入される耐熱樹脂チューブ３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】触媒活性化用の加熱器を熱処理用のもので共用でき、装置の大型化およびコスト増を抑制し得る熱処理装置を提供する。
【解決手段】 熱処理装置１Ａは、ワークＷが収容される熱処理炉２０、加熱器３２および送風機３３が設けられる空調部２３、並びに熱処理炉２０および空調部２３を連通する連通路２４，２５を有する断熱室２を備えている。この熱処理装置１Ａは、還流経路５および触媒６を備える。還流経路５は、空調部２３から流出した空気を、空調部２３における加熱器３２の設けられた位置よりも上流側の部分に戻すように構成される。触媒６は、ワークＷを熱処理する際にワークＷから発生する昇華物を分解するものである。触媒６は、空調部２３における加熱器３２の設けられた位置よりも下流側の部分に設けられる。 （もっと読む）

【課題】コストの上昇や装置の大型化を招くことなく、基板の供給不良による各基板の熱履歴の不均一化を防止する。
【解決手段】この発明の基板熱処理システム１０は、熱処理装置１、搬入コンベア２、搬出コンベア３、第１ラック４、搬送ロボット６、制御部７を備えている。熱処理装置１は、内部に複数の基板収納部１１を備えている。搬送ロボット６は、受入位置２２から各基板収納部１１へ順に基板１００を搬入する基板搬入、各基板収納部１１から順に取出位置３２へ基板１００を搬出する基板搬出、第１ラック４から基板収納部１１へ遮蔽板２００を搬入する遮蔽板搬入を行う。制御部７は、基板搬入時に搬送ロボット６が基板１００を受け取らなかった場合に基板搬入に代えて遮蔽板搬入を行うように搬送ロボット６の動作を制御する。 （もっと読む）

【課題】加熱処理されたワークを順次安定した姿勢で冷却液槽内に投入し、ワークの変形等を抑制して歩留まりを向上させる焼入れ装置を提供する。
【解決手段】焼入れ油１８を貯留する油槽１２と、水平面に沿った周回軌道上に所定のピッチで配列され、ワークを一定の姿勢で個別に保持する複数のワーク保持体１３と、油槽１２の外部に配置され、複数のワーク保持体１３を周回軌道に沿って循環させる移動機構１４と、油槽１２の外部に配置され、ワーク保持体１３を上下に昇降させて当該ワーク保持体１３で保持されたワークＷを油槽１２に貯留された焼入れ油１８の上方位置と焼入れ油１８の内部との間で上下方向に移動させる昇降機構１５とを備える。周回軌道上の所定位置には、ワーク投入領域Ａ１とワーク引上領域Ａ２とが設定され、昇降機構１５は、ワーク引上領域Ａ２とワーク投入領域Ａ１とでワーク保持体を昇降させる昇降制御手段を有する。 （もっと読む）

【課題】基板の底面における各辺の近傍の略全長に渡って当接するように支持部材を配置し、プロセスパターン領域に劣化を生じることなく基板の大きな撓みを防止する。
【解決手段】ワーク積載装置１０は、支柱２１，２２、第１固定支持部材３１、第２固定支持部材３２及び可動支持部材３３を含む。支柱２１，２２は、台座１１の４隅に配置され、支持部材３１〜３３を上下方向に沿って等間隔に配置された複数の支持位置の各々で保持する。第１固定支持部材３１及び第２固定支持部材３２は、ワーク１００の第１〜３の辺の各々に平行な上端が、ワーク１００の第１〜３の辺の各々の端部内で、全長にわたって水平となるように支柱２１，２２に固定される。可動支持部材３３は、ワーク１００の底面における第４の辺に平行な上端が、ワーク１００の第４の辺の端部内で、全長にわたって水平となるように支柱２２に上下方向に着脱自在に保持される。 （もっと読む）