【課題】排ガスの加熱効率及び処理効率が高く、装置の小型化が可能な排ガス処理装置を提供する。
【解決手段】排ガス処理装置１は、排ガスを内部に導入して当該排ガス中の除去対象物を燃焼させるチャンバー２と、チャンバー２の外部に設けられ、チャンバー２を加熱する加熱手段４とを備える。チャンバー２が排ガスを一端側から導入して他端側から排出する中空筒状のチャンバー本体３と、このチャンバー本体３の内部に当該チャンバー本体３の軸方向に沿って配置され、排ガスとチャンバー本体内の加熱雰囲気との熱交換を促進させる複数本の管体５とを有している。 （もっと読む）

【課題】シャッタの軽量化を可能にしつつ、熱変形をも抑制することができる縦型熱処理炉のシャッタ装置を提供する。
【解決手段】本発明は、炉体１１の下端に設けられた開口を開閉するシャッタ２５と、このシャッタ２５を開閉駆動する駆動機構２４とを備えている縦型熱処理炉１０におけるシャッタ装置２３において、前記シャッタ２５における炉体１１の中心部に対応する部分に、炉体１１の内部から遠ざかるように窪んでシャッタ２５の熱変形を抑制する凹部３３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】処理されるワークが大型化する場合であっても、装置の大型化を抑制し、かつ、プロセスチューブに対するワークの搬入および搬出に要する時間を短くすることが可能な熱処理装置を提供する。
【解決手段】 縦型炉１０は、ボート２２および昇降機構２６を少なくとも備える。昇降機構２６は、ワーク２０がプロセスチューブ１６の内部に配置される第１の位置、およびワーク２０がプロセスチューブ１６の外部に配置される第２の位置を含む複数の位置にボート２２を移動させるように構成される。ボート２２は、その上部に設けられ、かつ、開口部１８８を通過可能に構成された閉塞板２２４を備える。閉塞板２２４は、ボート２２が第２の位置に配置された際に、開口部１８８を塞ぐように開口部１８８内に配置される。 （もっと読む）

【課題】ワークを加熱した後に冷却する連続炉において、加熱に用いるヒータの消費電力を低減する。
【解決手段】ヒータ１６によってワークＷを加熱する加熱ゾーン１１を有している加熱処理部１と、この加熱ゾーン１１で加熱したワークＷを冷却する冷却ゾーン２１を有している冷却処理部２とを備えている。さらに、冷却ゾーン２１のガスを排出する排出ダクト７と、この排出ダクト７と連通し当該排出ダクト７によって排出された排出ガスを加熱ゾーンへ給気する給気ダクト５と、加熱ゾーンでワークＷを加熱するために用いられたガスを排気すると共に前記排出ダクト７中に一部が露出している排気ダクト６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 ワイヤを使用したウォーキング搬送機構によって、両面に塗布処理が施されたワークを適正に搬送し、塗布面の汚損や局部的な温度ムラの発生を防止しつつ連続的に熱処理を行うことが可能な連続熱処理装置を提供する。
【解決手段】 連続焼成炉１０は、加熱室１２、ウォーキング搬送機構４０、および複数の治具５０を備える。複数の治具５０は、第１ワイヤ１６および第２ワイヤ１８を挿通可能な中空部５１０が長手方向に形成された筒状を呈する。これら治具５０は、第１ワイヤ１６および第２ワイヤ１８におけるワーク１００の前端および後端に対応する位置にそれぞれ配置されワーク１００を下から支持するように構成される。複数の治具５０はそれぞれ、ワーク１００に向って先細りするように形成されたテーパ部５０６であって、ワークの前端または後端に当接するテーパ部５０６を備える。 （もっと読む）

【課題】加熱炉を大型化したとしても、装置のコストが高くなるのを抑制しつつ、加熱炉内の雰囲気ガスを効率よく循環させる。
【解決手段】ヒータ４を有しワークＷを加熱する加熱炉１と、前記加熱炉１内でワークＷを加熱する際に当該ワークＷを載せて支持する支持手段２と、前記加熱炉１内の雰囲気ガスを撹拌するために当該加熱炉１内に設けられた複数のファン３１，３２とを備えている。前記支持手段２は、一定間隔毎に設けられた複数のローラ２１からなる。前記複数のファン３１，３２は、それぞれのファン回転軸３４，３４が並列に配置され、かつ、隣り合うファン３１，３２同士で回転方向が異なる。 （もっと読む）

【課題】処理容器の姿勢を変更しなくても加熱処理後の被処理物を迅速に排出することができ、サイクルタイムを短縮することが可能な回転型熱処理炉を提供する。
【解決手段】本発明の回転型熱処理装置は、軸方向の一端部に被処理物の排出口２７を備えている筒状の処理容器１１と、処理容器１１内の被処理物を熱処理する加熱装置１２と、処理容器１１をその軸心回りに正逆両方向に回転駆動で、かつ被処理物の熱処理時には処理容器１１を一方向に回転駆動する回転駆動部１５と、を備えており、処理容器１１内には、当該処理容器１１の他方向への回転によって被処理物を前記排出口２７へ移送する移送羽根５４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ワークの投入状況に大きく影響されることなく安定した熱処理をワークに施すことができる熱処理装置又は熱処理方法を提供する。
【解決手段】この熱処理装置（方法）は、炉内の熱処理空間を通過させることによりワーク（ウェハ）に対して熱処理を施すものであって、熱処理空間内の互いに異なる位置で、かつ、ワークの有無によって検出温度が変化する位置に２つの温度センサを設け、制御装置１０によって、温度センサが検出した温度ｔ_１、ｔ_２に、係数総和が１となる重み係数ｍ_１、ｍ_２をそれぞれ乗じて総和の仮想温度を演算し、当該仮想温度に基づいて温度制御を行うものである。 （もっと読む）

【課題】特定位置のワークと他のワークとを異なる速度で搬送可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１１は、複数のワークＷを搬送方向に並べて配置可能な支持体１８と、昇降によって支持体１８との間でワークＷを受け渡しし、支持体１８から受け取ったワークＷを搬送する搬送体２０と、搬送体２０を駆動する駆動部２１とを備え、搬送体２０は、プレヒートゾーンＺ１のワークＷを支持体１８から受け取って搬送する第１搬送部３１と、第１搬送部３１より高位置にあり焼成ゾーンＺ２のワークＷを支持体１８から受け取って搬送する第２搬送部３２とを備え、駆動部２１は、プレヒートゾーンＺ１のワークＷを第１搬送部３１と支持体１８との間で受け渡しする第１の昇降ストロークｈ１と、第１の昇降ストロークｈ１よりも小さく、焼成ゾーンＺ２のワークＷを第２搬送部３２と支持体１８との間で受け渡しする第２の昇降ストロークｈ２で搬送体２０を昇降する。 （もっと読む）

【課題】マッフルの耐久性の低下を好適に抑制することができる連続加熱式マッフル炉を提供する。
【解決手段】本発明の連続加熱式マッフル炉は、マッフル８の外部に配置され、被処理物Ｗを加熱する複数のガスバーナ４ａ，５ａ，６ａと、マッフル８の外部に配置され、当該マッフル８を保温する電気ヒータ４ｂ，５ｂ，６ｂと、を備えている。 （もっと読む）