【課題】パネルパターンに応じてプロキシミティピンの位置変更作業を効率的かつ迅速に行うことを可能にするワーク支持部材およびワーク支持ピン位置調整方法を提供する。
【解決手段】基板支持部材２０、減圧乾燥装置１０における板状のヒータ１８上に配置され、熱処理されるガラス基板１６を下から支持するように構成される。基板支持部材２０は、複数のプロキシミティピン２６、複数のバー２４、およびフレーム部材２２を備える。バー２４は各々複数のプロキシミティピン２６を支持するように構成される。フレーム部材２２は、バー２４を着脱可能かつ位置変更可能に支持するとともに、搬送用ロボット３０によって搬送可能に構成される。 （もっと読む）

【課題】ワークに対する熱影響の発生を防止しつつ、連続焼成炉の設置面積を効果的に縮小させることを可能にする連続焼成炉の移載装置を提供する。
【解決手段】リフターユニット２０は、ワーク５０を第１の炉体１２および第２の炉体１４を順次移動させつつ、加熱、徐冷および冷却の一連の熱処理を行う連続焼成炉１０に設けられる。リフターユニット２０は、筐体２１、ヒータ２４、および断熱部材２６、２８を備える。筐体２１は、第１の炉体１２から排出されるワーク５０を受け入れ可能な第１の位置、および第２の炉体１４に対してワーク５０を導入可能な第２の位置の間で往復移動可能に支持されるように構成される。ヒータ２４は、筐体２１の内部に導入されたワーク５０の上面の端部に対向するように配置される。断熱部材２６、２８は、筐体２１におけるワーク５０の下方およびヒータ２４の上方にそれぞれ配置される。 （もっと読む）

【課題】 被処理物に生じる変形や歪みの量のばらつきが大きくなるのを抑制することができる焼入装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る焼入装置１は、焼入れ油Ｙが貯留された油槽５と、上面に被処理物Ｗが載置される載置台８と、被処理物Ｗを焼入れ油Ｙに浸漬するための搬送装置６とを有している。また、焼入れ油Ｙを上方に向けて吐出する吐出口７ｃを油槽５の底部に備えるとともに焼入れ油Ｙを循環する循環装置７をさらに有している。載置台８は、循環装置７による焼入れ油Ｙの流れをフォーク６ａの上方に導く整流板１１を有している。 （もっと読む）

【課題】低エネルギー消費量で、かつ低ランニングコストで、迅速な被処理物の浸炭処理を行うことができる浸炭ガスを生成することができる浸炭ガス生成装置及び浸炭ガスの生成方法を提供する。
【解決手段】混合流路１１と変成流路１２と浸炭ガス生成流路２１とを備える浸炭ガス生成装置１により、空気及び炭化水素ガスを混合して混合ガスを生成し、この混合ガスを変成させて変成ガスを生成し、この変成ガス中に含まれる窒素ガスの量を低減させ、浸炭ガスを生成する。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡素で、排気ガスの処理効率を高めることができる排気ガス処理装置を提供する。
【解決手段】 排気ダクト２に導入した昇華物を含む排気ガスを、冷却手段３によって冷却して昇華物を析出させ、この析出させた昇華物をフィルタ４によって捕集する。冷却手段３の空冷室１０とフィルタ４の下流側の第２管体２ｂとを、連通管１５によって連通する。空冷室１０と第２管体２ｂ内との差圧によって、空冷室１０内に外部の空気を連続的に吸引し、この吸引した空気を、フィルタ４を通すことなく第２管体２ｂ内に吸引する。 （もっと読む）

【課題】炉口廻りからの熱の漏出、炉口廻りの高温化、劣化した高耐熱断熱部材による汚損を防ぐとともに、高温の熱処理にも使用できるようにする。
【解決手段】横型炉装置１０は、プロセスチューブ１、ヒータ２、支持体３，４、高耐熱断熱部材６〜８を備えている。プロセスチューブ１は、第２の端面１２に導入管１５を備える。支持体３，４は、環状を呈し、ヒータ２の断熱部材２１，２２が全周にわたって外嵌する。支持体３，４とプロセスチューブ１及び導入管１５の外周面との間の間隙は、第１の高耐熱断熱部材５及び第２の高耐熱断熱部材６によって閉塞される。第２の支持体４は第１部材４１とこれに嵌入する第２部材４２とからなる。第１部材４１と第２部材４２との間には全周にわたって第４の高耐熱断熱部材８が配置される。プロセスチューブ１とヒータ２との間の熱がプロセスチューブ１の両端から外部に漏出することがない。 （もっと読む）

【課題】ワークの表面、特に円板状または円環状等のワークの端面に、浸炭むらの部位を生じさせることがなく、ワークの表面全面に均一な浸炭処理を施すことのできる誘導加熱式浸炭処理装置のワーク支持具を提供する。
【解決手段】シャフト１１と、このシャフト１１の上端に取り付けられた支持台１２とからなるワーク支持具１において、この支持台２の上面におけるワークと接触する領域に、載置された際にワークとの間に隙間を形成する複数の凸部１２ｃ，１２ｃ，・・・を形成する。この構成により、各凸部１２ｃ上に載置されたワークとの間に浸炭性ガスを流通させることのできる隙間を維持しつつ、少ない接触点（接触面積）でワークを安定して支持することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】余分なパージガスやパージ時間を必要とせず、熱処理の省エネルギー化とコストダウンを達成できるとともに、炉を取り扱う作業者の安全にも配慮した密閉式雰囲気熱処理炉を提供する。
【解決手段】密閉式雰囲気熱処理炉に、炉内の酸素濃度を検出する酸素濃度センサを装備するとともに、炉内の酸素濃度が所定の値以下へ低下した際に、この酸素濃度センサの信号により、高温かつ酸欠状態の炉内へのアクセスを防止する炉口扉ロック手段（炉口扉シャッタ４）を設けることにより、熱処理完了前に作業員が誤って炉口扉を開放してしまうことを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】バインダー成分を含む炉内の雰囲気ガスを強制排気するエジェクターの内面にバインダー成分が凝着するのを防止できる連続焼成炉を提供する。
【解決手段】被処理品より発生したバインダー成分を含む炉内の雰囲気ガスを炉外に排気する雰囲気ガス排気路８ａにエジェクター９を取付けた連続焼成炉において、エジェクター９にエアーを給気するエアー給気路１０に、エアーをバインダー成分の凝縮温度より高い温度に加熱するエアー加熱手段１１を設けた構成とする。エアー加熱手段１１でバインダー成分の凝縮温度より高い温度に加熱したエアーをエジェクター９に給気することによって、炉外に強制排気する雰囲気ガス中のバインダー成分が冷やされてエジェクター９の内面に凝着するのを防止する。 （もっと読む）

【課題】ランプヒータを熱源としているにもかかわらず、被加熱物を均一に加熱することができる加熱装置を提供する。
【解決手段】炉体２の内部に、ランプヒータ４によって被加熱物Ａを加熱処理する加熱室３を配置した。熱風供給手段５によって炉内２１に熱風を供給して、炉内２１を所定温度に昇温させることにより、被加熱物Ａの熱がコンベア６に伝導したり、加熱室３に流入した外気によって加熱室の温度が低下したりするのを抑制した。 （もっと読む）