【課題】ケーブル配線を設備することなく、現場機器から中央制御室に向けてセンサ信号を伝送するオンライン診断システムを提供する。
【解決手段】オンライン診断システムでは、中央制御室に設けられる制御用ＣＰＵ１３と、現場機器に設けられる子機ＣＰＵ２１との間で、高圧ケーブルの遮蔽層Ｌ１を用いて、交流信号の制御データ及びセンサ信号を伝送する。制御用ＣＰＵ１３は、複数の現場機器の内の１つを指定して、パルス幅変調された制御データを送り、指定された現場機器の子機ＣＰＵ２１は、制御データのコマンドに従って、パルス幅変調されたセンサ信号を制御用ＣＰＵ１３に向けて伝送する。 （もっと読む）

【課題】機械的攪拌手段を備えずに低動力で運転することが出来、構造が簡単で製作費が安価である、微細気泡発生手段を備えた気泡式攪拌装置を提供する。
【解決手段】液体が収容される容器（１）と、当該容器内の液体を混合する気泡式攪拌手段（２）と、当該容器内の液体中に微細気泡を形成する微細気泡発生手段（３）とから成る気泡式攪拌装置であり、本発明の好ましい態様においては、微細気泡発生手段（３）は、容器（１）の下部に設けられ且つ底面が解放された気体収容室（３１）と、当該気体収容室に接続された気体供給管（３２）と、当該気体収容室の内部においてその底面側の液面に向けて傾斜して配置された液体噴射ノズル（３３）とから主として構成されている。 （もっと読む）

【課題】機械的攪拌手段を備えずに低動力で運転することが出来、構造が簡単で製作費が安価である、微細気泡発生装置を提供する。
【解決手段】液体が収容される容器（１）の下部に設けられ且つ底面が解放された気体収容室（３１）と、当該気体収容室に接続された気体供給管（３２）と、当該気体収容室の内部においてその底面側の液面に向けて傾斜して配置された液体噴射ノズル（３３）とから主として構成されている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ研磨用の研磨液などの沈降性スラリーを収容する容器であって、外部のポンプによる循環操作により沈降成分を簡単に撹拌することが出来、沈降成分濃度を容易に均一化し得る沈降性スラリーの容器を提供する。
【解決手段】沈降性スラリーの容器１Ａは、略円筒状の胴部１が天井部１１及び底部１２で封止され且つ天井部１１に取出口３及び撹拌口２が設けられた構造を備えている。撹拌口２は、天井部１１の中心に配置され、取出口３、内法平均半径Ｒの５０〜９０％に相当する距離Ｌだけ撹拌口２から胴部１側へ偏った位置に配置される。そして、撹拌口２及び取出口３には、各々、下端高さｈ１が特定の高さに設定された吐出管４及び下端高さｈ２が特定の高さに設定された吸引管５が容器内部に向けて装着される。 （もっと読む）

【課題】液晶基板やプリント基板の現像プロセスから回収された現像液のアルカリ濃度および樹脂濃度を管理すると共に、一定濃度に再調製した現像液を現像プロセスに供給する現像液の供給装置を提供する。
【解決手段】現像液の供給装置は、現像液原液を供給する機構および新たな現像液または希釈水を供給する機構が付設された調整槽（１）、使用済現像液を調整槽（１）に送液する回収流路（２２）、再調製された現像液を現像プロセス（８）に送液する供給流路（２１）とを備え、回収流路（２２）には、現像プロセス（８）から送液される使用済現像液を装置外に排出する排出流路（２３）が設けられる。そして、調整槽（１）に回収された使用済現像液の量が再調整に必要な使用量を超えた場合に排出流路（２３）から使用済現像液を排出する様に構成される。 （もっと読む）

【課題】地上に立設された高層の構造物をクッションマウンド上に引き倒して解体する際に構造物の倒壊による地盤への振動を緩和させることが可能な構造物の引き倒し方法を提供する。
【解決手段】地上に立設された高層の構造物１０を引き倒して解体する方法であって、構造物１０の倒壊範囲に、クッションマウンド１２を設置し、構造物１０の倒壊による地盤１３への振動を緩和させて構造物１０を引き倒す。ここで、構造物１０をクッションマウンド１２に衝突させて中折れさせ、更に地盤１３への衝撃力を緩和することが好ましく、構造物１０がクッションマウンド１２に衝突する位置は構造物１０の重心位置より先端側で重心位置と構造物１０の先端との中心位置よりも重心側にするのがよい。 （もっと読む）

【課題】機能性樹脂フィルムや情報電子材料の多層薄膜のより薄い膜厚を一層高精度に且つ瞬時に非破壊で測定できる多層薄膜の膜厚測定方法および膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】多層薄膜の膜厚測定方法は、多層薄膜を有する試料（７）に白色光を照射し、試料（７）から得られる反射光または透過光を分光すると共に、得られたスペクトルを周波数信号に変換した後、ウェブレット処理を行うことにより、干渉信号のみを選択し、次いで、干渉信号に間引き処理を行った後、周波数解析処理を行うことにより、薄膜の膜厚を検出する。また、膜厚測定装置は、光源（１）、照射用光ファイバー（２）、受光用光ファイバー（３）、分光器（４）、マルチチャネルディテクタ（５）、および、上記の処理を行う演算処理手段（６）から成る。 （もっと読む）

【課題】一層高い品質の界面活性剤含有アルカリ現像液をオンサイトで効率的に製造することが出来る界面活性剤含有アルカリ現像液の製造装置を提供する。
【解決手段】界面活性剤含有アルカリ現像液の製造方法においては、純水に界面活性剤を添加して界面活性剤混合液を調製し、更にアルカリ系現像原液を添加する。界面活性剤に添加においては、目標濃度よりも低い界面活性剤濃度の界面活性剤混合液を調製する初期調製工程（Ａ）、界面活性剤混合液中の界面活性剤の濃度を測定する濃度測定工程（Ｂ）、界面活性剤の不足量を演算し、不足量の８５〜９９％の界面活性剤を界面活性剤混合液に供給する濃度調節工程（Ｃ）を実行すると共に、測定された濃度値が目標濃度の域値内の値となるまで工程（Ｂ）及び工程（Ｃ）を繰り返す。そして、界面活性剤の濃度を測定するに当たり、最大泡圧式表面張力計を利用したインライン型濃度測定装置を使用する。 （もっと読む）

【課題】窒素などの不活性ガスの消費量を低減でき且つ気泡が完全に除去されたフォトレジストを安定して連続供給できるフォトレジスト供給装置を提供する。
【解決手段】可フォトレジスト供給装置は、可搬式容器（１ａ）、（１ｂ）で搬入されるフォトレジストを処理プロセスへポンプ（４）により連続供給するフォトレジスト供給装置であり、可搬式容器（１ａ）、（１ｂ）からポンプ（４）へ至る送液ライン（Ｌ１）、（Ｌ２）…を複数系統備え、各送液ライン（Ｌ１）、（Ｌ２）には、可搬式容器（１ａ）、（１ｂ）から取り出されたフォトレジストを一旦収容する中間容器（２ａ）、（２ｂ）が設けられる。中間容器（２ａ）、（２ｂ）は、分離した気体を排出可能な気液分離器として構成され、そして、複数系統の送液ライン（Ｌ１）、（Ｌ２）は、中間容器（２ａ）、（２ｂ）の液量に応じて切替使用する様に構成される。 （もっと読む）

【課題】 瞬間地絡時の零相電流波形から、瞬間地絡を発生したフィーダを検出する地絡検出装置を提供する。
【解決手段】 地絡検出装置１０は、瞬間地絡発生後の各フィーダの零相電流波形を周期２μｓでサンプリングし、地絡発生時点でその前後の波形を記録する波形記録部１１と、順次に１つのフィーダを選択するフィーダ選択部１６と、フィーダ選択部１６で選択されたフィーダ以外の全フィーダの零相電流の和を演算する加算部１４と、加算部１４で加算された零相電流の和の波形を記憶する加算波形記憶部１５と、フィーダ選択部１６で選択されたフィーダの零相電流の波形の位相と、他のフィーダの零相電流の和の波形の位相とを比較する位相比較部１７と、全てのフィーダを選択してその位相比較を行った結果から、比較した零相電流の位相が相互に逆位相にある選択フィーダを特定する判定部１８とを備える。 （もっと読む）