【課題】 半導体ウエハの研磨工程に至る研磨液供給ラインに研磨液を供給する方法であって、容器から研磨液供給ライン研磨液を取り出すにあたり、研磨液を汚染することなく、一層均一な濃度の研磨液を取り出して供給できる研磨液の供給方法を提供する。
【解決手段】 研磨液の供給方法は、主に純水および砥粒から成る研磨液を研磨液供給ライン（１）に供給する方法であり、研磨液供給ライン（１）の一部に容器（２）を配置し、ポンプの吸引によって容器（２）から研磨液を取り出すにあたり、容器（２）に対し、当該容器に挿入される吸引管（３１）及び吐出管（３２）の間の流路（３３）にベローズポンプ（４）を介装して成り且つ吸引管（３１）の先端にジェットポンプ（５）が付設された循環装置（３）を取り付け、循環装置（３）に研磨液を循環させつつ、ジェットポンプ（５）により容器（２）内の研磨液を攪拌する。 （もっと読む）

【課題】 液塗布処理プロセスから回収された使用済シンナーを精製し、シンナー中の不純物の濃度を適正範囲内に調節して液塗布処理プロセスに再び供給する装置であって、不純物濃度を高精度に検出でき、十分に濃度管理されたシンナーを供給し得ると共に、シンナーの回収率を高めることが出来るシンナーのリサイクル供給装置を提供する。
【解決手段】 シンナーのリサイクル供給装置は、供給すべきシンナーを貯留する供給貯槽（１）、使用済シンナーを精製して供給貯槽（１）に送液する回収液精製機構（２）、シンナー原液を供給貯槽（１）に送液する原液供給機構（３）、精製シンナー中の不純物濃度を超音波伝播速度、電磁導電率または吸光度の少なくとも１つによって検出する濃度計（５）とを備えている。そして、濃度計（５）による検出濃度に基づき、精製シンナー及びシンナー原液の各送液を制御可能に構成される。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板のエッチング工程などから排出されたフッ酸廃液から蒸留法により精製フッ酸を回収するバッチ処理方式のフッ酸の回収方法であって、スケーリングの発生がなく、不純物の一層少ない精製フッ酸を高い収率で回収でき、装置を簡素化し得るフッ酸の回収方法を提供する。
【解決手段】 フッ酸の回収方法においては、蒸発釜（１）でフッ酸廃液を加熱して粗フッ酸を蒸気として取り出すと共に、蒸留塔（２）で粗フッ酸を蒸留して留出液を回収する操作を通じ、留出液のフッ化水素濃度が回収水上限濃度以下の場合は当該留出液を回収水として回収し、留出液のフッ化水素濃度が回収水上限濃度より高く且つフッ酸回収濃度未満の場合は当該留出液を中間液として回収し、留出液のフッ化水素濃度がフッ酸回収濃度以上の場合は当該留出液を精製フッ酸として回収する。そして、蒸留塔（２）のフッ酸廃液に金属成分の析出を抑制するに足る量の硫酸を添加する。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板のエッチング工程などから排出されたフッ酸廃液からフッ酸を回収する方法であって、スケーリングの発生がなく、不純物の一層少ない精製フッ酸を高い収率で回収できるフッ酸の回収方法を提供する。
【解決手段】 フッ酸の回収方法は、金属成分含有のフッ酸廃液から蒸留法によりフッ酸を回収するフッ酸の回収方法であり、蒸発釜（１）にフッ酸廃液を供給して加熱し、蒸気として粗フッ酸を回収すると共に濃縮廃液を分離する粗フッ酸蒸発工程と、第１の蒸留塔（２１）で粗フッ酸を蒸留し、濃縮フッ酸と回収水とに分離する第１蒸留工程と、第２の蒸留塔（２２）で濃縮フッ酸を更に蒸留し、精製された精製フッ酸と廃液とに分離する第２蒸留工程とを備えている。そして、粗フッ酸蒸発工程のフッ酸廃液に金属成分の析出を抑制するに足る量の硫酸を添加する。 （もっと読む）

【課題】反応生成物の収率を一層向上させることができ、第１熱媒を供給する動力を一層低減させることができる触媒反応器を提供すること。
【解決手段】触媒反応器１は、内部に触媒２１を配置してなる反応流路２と、反応流路２に隣接形成された熱媒流路３とを有してなる。反応流路２は、その内部に反応原料Ｍを導入すると共に反応原料Ｍと触媒２１とを接触させて反応生成物Ｐを生成し排出するよう構成されている。熱媒流路３は、その内部に第１熱媒Ｃ１を通過させて反応流路２との熱交換を行うよう構成されている。熱媒流路３内には、第１熱媒Ｃ１とは温度が異なる第２熱媒Ｃ２を噴出して第１熱媒Ｃ１に混合させる第２熱媒噴出ヘッダー６が配設されている。第２熱媒噴出ヘッダー６は、反応原料Ｍの流れ方向Ｌにおける上流側に配設されている。 （もっと読む）