説明

リックス株式会社により出願された特許

11 - 20 / 33


【課題】内部に形成された狭隘部を洗浄対象部位に含む被洗浄ワークを対象として、十分な洗浄性能を確保することが可能な洗浄方法および洗浄装置を提供する。
【解決手段】ライデンフロスト現象の作用により被洗浄面に付着した異物を除去する異物除去工程を、洗浄液を噴射インターバルT2毎に噴射継続時間T1だけ複数回噴射して供給する洗浄液間歇噴射工程と、被洗浄面に形成された蒸気層を介して洗浄液が被洗浄面に沿って液滴の状態で流動する状態を発生させる液滴流動状態形成工程と、被洗浄面に付着した異物を液滴によって捕集する異物捕集工程と、異物を捕集した液滴を洗浄液が気化した蒸気の流れによって移動させることにより洗浄対象部位から排除する液滴移動工程とで構成し、洗浄液間歇噴射工程において、先行して供給された洗浄液についての流動状態形成工程、異物捕集工程および液滴移動工程が完了した後に、後続して供給される洗浄液を噴射する。 (もっと読む)


【課題】シール面の摩耗によって発生する異物を簡便な構成によって供給される流体から完全に排除することができるロータリジョイントを提供する。
【解決手段】ロータリジョイント1において、ロータ4からフローティングシート8側へ同軸に延出する円筒軸部7を設け、この円筒軸部7の外周面と固定流路8fの内周面との間に面シール部10から固定部側に隔てた位置において閉止された円筒隙間Sを面シール部10を隙間形成範囲に含めて形成し、この円筒隙間S内において圧力損失を発生させることにより円筒隙間S内における流体の流動を抑制する流動抑制手段とを備え、さらに面シール部10のバランス比が流体が面シール部から所定の漏れ量で外部に漏洩するように設定する。これにより、面シール部10においてシール面の摩耗によって発生する異物は面シール部10から漏れる流体と共に排出される。 (もっと読む)


【課題】簡便な構成でクーラント供給配管系の流量の変動を防止することができるロータリジョイントを提供することを目的とする。
【解決手段】軸方向の回転流路4eが設けられた回転部1aおよび軸方向の固定流路7fが設けられた固定部1bを同軸配置した構成のロータリジョイント1において、回転部1aを構成し側端面に回転流路4eが開口した第1のシール面5bを有するロータ4の下流端部に、オリフィス孔4gを備えた絞り部4fを流量制限手段として設け、回転流路4e内を流れる流体の流量を制限し、過大な流量の流体がロータリジョイント1を流れるのを防止する。これにより、簡便な構成でクーラント供給配管系の流量の変動を防止することができる。 (もっと読む)


【課題】目標流量を変更する場合や、流量時間を変更した場合等に、補正係数を見直す必要なく、定流量ポンプの高い精度を保つようにすること。
【解決手段】
ステータ3とロータ4を備える回転容積型ポンプ1を所定の流量に制御するポンプ定量制御手段において、ステータ温度と、ロータ1回転あたりの流量との関係データを記憶する記憶手段と、ステータ温度検出手段と、ステータ温度検出手段が検出したステータ温度に対応する、関係データを記憶手段23から読み出して、目標とする時間あたり流量に対応するロータ回転速度に、ロータの回転速度を制御する。 (もっと読む)


【課題】内部に形成された狭隘部を洗浄対象部位に含む被洗浄ワークを対象として、十分な洗浄性能を確保することが可能な洗浄方法および洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被洗浄ワークであるノズル部品5を加熱して少なくとも洗浄対象部位であるニードル孔5gの被洗浄面である内表面5jの表面温度を洗浄液11についてライデンフロスト現象が発生する温度に保持しながら、ニードル孔5g内に洗浄液11を供給し、内表面5jに洗浄液11が蒸気層11bを介して液滴11aの状態で接触して流動するライデンフロスト現象を発生させ、液滴11aが内表面5jに沿って流動することによって異物32を捕集し、異物32を液滴11aと共にニードル孔5gから排出させる。 (もっと読む)


【課題】高い微粒化能力を安価な設備費用で実現することができる微粒化装置および微粒化方法を提供することを目的とする。
【解決手段】エア供給源41から供給される駆動エアによってジェットノズル7によって気体流を発生させ、固体粒子を含む溶液を気体流中に供給することによって加速して音速以上の微小液滴とし、加速された微小液滴を噴射空間6b内で回転衝突テーブル22に対して衝突させて、微小液滴中の固体粒子をナノサイズの微細粒子に微粒化する。これにより高い微粒化能力を安価な設備費用で実現することができる。 (もっと読む)


【課題】ワークを機械的に加工した加工部位に発生する微細なバリを高いバリ取り品質で効率よく除去することができるバリ取り洗浄装置およびバリ取り洗浄方法を提供することを目的とする。
【解決手段】樹脂基板8を切断した切断面に発生したバリを除去して洗浄するバリ取り洗浄において、ラバールノズルを応用したアイスブラストノズル22によって、洗浄水と圧縮空気を用いて洗浄水の凍結粒子23aおよび過冷却状態の液滴23bを含む洗浄媒体23を生成し、樹脂基板8に対して噴射する。これにより、銅などの延性に富む金属の微細なバリを対象とする場合にも、高いバリ取り品質で効率よく除去することができる。 (もっと読む)


【課題】アイスブラストを応用したバリ取り洗浄において、バリ取り難易度の異なる種々の形態のバリを対象とする場合にあっても、効率の良いバリ取り洗浄を実現することができるバリ取り洗浄装置およびバリ取り洗浄方法を提供する。
【解決手段】実装用の樹脂基板を個片に切断した後の切断面のバリ取り洗浄において、ウォータジェットノズル20から噴射された高圧のジェット噴流21によって付着強度の大きい面バリ18aをまず除去し、次いで、ラバールノズルを応用したアイスブラストノズル22によって水の凍結粒子23a、過冷却の液滴23bを含む固液2相の噴霧粒子群を洗浄媒体23として噴射し、残留した髭バリ18bを液滴23bが凍結固化した氷結体23cによって包み込んだ固形物27とすることによって樹脂基板8から剥離させる。これにより、ウォータジェットとアイスブラストの長所を組み合わせた効率の良いバリ取り洗浄が実現される。 (もっと読む)


【課題】薄型の半導体ウェハを対象とする場合においても良好な切削性を確保することができるダイシング装置およびダイシング方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェハ6を回転するブレード13によって切削することにより個片の半導体チップ6aに分割するダイシング装置において、ラバールノズルを用いてブレード13に対して洗浄水の凍結粒子20a、過冷却状態の液滴20bを含む洗浄媒体20を噴射するアイスブラストノズル15を配設し、ブレード13による半導体ウェハ6切削加工部位やブレード13の側面に対して噴射する。これにより、冷却効果とともにブレード13へ微細な有機異物が付着することによる目詰まりを防止して、薄型の半導体ウェハを対象とする場合においても良好な切削性を確保することができる。 (もっと読む)


【課題】面圧調整機構を必要とせずにシール面圧値の異なる複数種類の流体を送給対象とすることが可能な流体送給機構における回転シール機構およびこの回転シール機構に用いられるロータリジョイントを提供することを目的とする。
【解決手段】流体供給源7a、7bから供給される複数種類の流体を軸心廻りに回転する回転部2aへ固定部2bを介して送給する流体送給機構に用いられるロータリジョイント2において、ハウジング部材13の嵌合孔13bを大径部および小径部を有する段差形状とし、フローティングシート15の固定軸部15bを小径部に嵌合させ、大径部に嵌合する移動シリンダ14を固定軸部15bに対して接離自在にして、第1の流体および第2の流体の流体力がそれぞれ移動シリンダ14および固定軸部15bに個別に作用する構成とする。これにより、対象とする流体に応じた所望のシール面圧値を個別に設定することができる。 (もっと読む)


11 - 20 / 33