説明

住友精密工業株式会社により出願された特許

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【課題】ミラーアレイの構成を簡略化する。
【解決手段】ミラーアレイ100は、ベース部2と、ベース部2に支持された複数のミラー110と、ミラー110に連結されてミラー110を駆動する複数のアクチュエータ1,1とを備え、ミラー110を互いに直交する主軸X及び副軸Y回りに回動させる。アクチュエータ1は、副軸Y方向に延びるアクチュエータ本体3と、アクチュエータ本体3の表面31に積層された圧電素子4とを有し、圧電素子4を伸縮させることによってアクチュエータ本体3を傾動させるように構成されている。各ミラー110には、副軸Yを挟んで並ぶ2つのアクチュエータ1,1が主軸Xに対して一方の側だけに設けられている。 (もっと読む)


【課題】安定性を向上させた圧電駆動式のアクチュエータ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】アクチュエータ1は、ベース部2と、ベース部2に支持されたアクチュエータ本体3と、アクチュエータ本体3を傾動させる圧電素子4と、アクチュエータ本体3のうちベース部2に支持された端部に対向して設けられた対向電極5とを備えている。アクチュエータ1の製造方法においては、SOI基板200の第1シリコン層210のうちアクチュエータ本体3となる部分と第2シリコン層230のうち対向電極5となる部分との間の酸化膜層220を犠牲層エッチングにより部分的に予め除去し、その際に、対向電極5となる部分231のうち後の工程で除去される部分232と隣接する端部51に設けられた酸化膜層220を除去せずに残しておく。 (もっと読む)


【課題】処理後の被処理物上に形成される余剰金属からなる層の厚さを最小限の厚さにすることができるとともに、被処理物上に開口するように形成された微小空間(ビア,貫通孔)に溶融金属を充填することのできる金属充填装置を提供する。
【解決手段】金属充填装置1は、半導体ウェハを保持する保持台H、保持台Hに対向して設けられ、保持面Hに対向する側に金属から構成される押付部が形成されたピストンPを備え、保持台Hに保持された半導体ウェハKに対してピストンPを押付可能に設けられた押付機構5などを備えてなり、保持台Hに保持された半導体ウェハK、ハウジングC及びピストンPによって気密状の処理室2が形成される。また、処理室2内の気体を排気して、当該処理室2内を減圧する減圧機構3、処理室2内に溶融金属Mを供給する溶融金属供給機構4、処理室2内に不活性ガスを供給する加圧ガス供給機構7などを備える。 (もっと読む)


【課題】充填不良や被処理物の割れを生じず、被処理物上に開口するように形成された微小空間に溶融金属を的確に充填する。
【解決手段】金属充填装置1であって、半導体ウェハKを保持する保持台Hと、ハウジングCと、ハウジングCの内部空間内に気密状に嵌入されたピストンPとを備え、半導体ウェハK又は保持台H、ハウジングC及びピストンPによって気密状の処理室2が形成され、更に、処理室2内を減圧する減圧機構3と、前記処理室2内に溶融金属Mを供給する溶融金属供給機構4とを備えるとともに、ピストンPは、少なくとも、その半導体ウェハKに対向する側が金属から構成されている。 (もっと読む)


【課題】ノード装置とユーザ機器との対応接続関係を簡便に特定する。
【解決手段】ネットワークシステム100は、要求電文を受信したときに要求電文に対する応答電文を返信する、複数のユーザ機器120,120,…と、ユーザ機器120,120,…にそれぞれ有線により接続され、ユーザ機器120からの応答電文を送信するときにはID情報を付加するように構成された、複数のノード装置110,110,…とを備えている。基地局ノード装置110Aは、送信先ユーザ機器120Bを特定した要求電文を他の子ノード装置110B,110B,…へ送信先となるノード装置を特定することなく送信し、要求電文に対する応答電文を受信すると、送信先ユーザ機器120Bが接続された子ノード装置110Bを応答電文に付加されたID情報に基づいて割り出し、ユーザ機器120Bと子ノード装置110Bとの対応接続関係を特定する。 (もっと読む)


【課題】ユーザ機器に接続されたノード装置を用いたネットワークシステムにおいて、トラフィックの増加を解消する。
【解決手段】ネットワークシステム1は、ユーザ機器120と、ユーザ機器120に有線により接続される複数のノード装置110とを備え、PC120Aから出力された電文をノード装置110間での無線通信を介して計測機器120Bへ送信する。ノード装置110は、異なる種類のユーザ機器120を接続可能に構成され、ユーザ機器120のプロトコルを設定可能であり、プロトコルを変更することによって異なる種類のユーザ機器120からの電文を解析できるように構成されている。ノード装置110Aは、電文を受信したときに、プロトコルに基づいて電文を解析して送信先アドレスを割り出し、送信先アドレスに対応した特定のノード装置110Bに電文を送信する。 (もっと読む)


【課題】 クロムなどの有害物質が含まれる凝縮水の系外排出による環境汚染のおそれがなく、合わせて設備の小型化、簡略化も可能な安全性、経済性ともに優れた水自立運転型の燃料電池システムを提供する。
【解決手段】 炭化水素系原料ガスを水素リッチの燃料ガスに改質する改質器を含む熱交換改質部20と、改質器で得られた水素リッチの原料ガスと酸化ガスとしての空気とを固体電解質層を介して化学的に反応させて電気を発生させる燃料電池本体10と、燃料電池本体10から排出される排ガスを冷却して凝縮水を生成すると共に、生成された凝縮水を前記改質器へ導く自立給水系80とを具備している。自立給水系80は縦型の筒状容器内にイオン交換樹脂を収容し、燃料電池本体10から排出される排ガスを冷却して生成された凝縮水を、前記筒状容器上部から導入し筒状容器下部から排出する浄化器82と、浄化器82の下流側に配置された吐出ポンプ83と、浄化器82と吐出ポンプ83との間に配置された縦管からなるオーバーフロー管87とを有する。 (もっと読む)


【課題】低温液化ガス気化用伝熱管表面の氷着状態を正確且つ容易に確認できるようにする。
【解決手段】ジグ10は、伝熱管2の表面に接触させるための接触部11と、接触部11を保持するロッド12と、接触部11とロッド12との間に介在する変形部13とを備えている。変形部13は、接触部11と伝熱管2の表面との接触状態に応じて変形すると共に接触部11が伝熱管2と接触しない場合には元の形状に復元する。 (もっと読む)


【課題】 平板型の単電池セルを使用するにもかかわらず、その弱点である固体電解質層の燃料極側と空気極側のガスシール性を高次元に安定的に維持することができる燃料電池用セルスタックを提供する。
【解決手段】 固体電解質層11の一方の表面側に燃料極12、他方の表面側に空気極13が配置された平板型の単電池セル10を挟んで平板状のインターコネクタ20を板厚方向に積層することにより燃料電池用セルスタックを構成する。単電池10セルおける燃料極側の反応空間と空気極側の反応空間とを、ガスシール用セパレータ60により、固体電解質層11の外縁より外側において遮断する。ガスシール用セパレータ60の厚みT1を10〜100μmとする。ガスシール用セパレータ60の両面に酸化チタンをコーティングする。 (もっと読む)


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