【課題】薄型化が可能な構造を有しつつ、操作部を好適に照明することができる静電容量式センサシートを提供する。
【解決手段】本発明の静電容量式センサシート３０は、光透過性を有し、自身の内部に入射された光を導光可能な基材３１と、少なくとも一部が光透過性を有するように形成され、基材３１の面上に設けられた静電容量式のセンサパターン部３３と、基材３１の面上に設けられ、基材３１の内部の光を基材３１の外部に出射させる出光パターン３２とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】接着層に粘着した粘着テープを剥離する場合に半導体ウェーハにクラックが生じるのを防ぐことのできる半導体ウェーハの取り扱い方法を提供する。
【解決手段】シート用支持板１０に粘着された微粘着性の粘着シート１１と、半導体サポート板に接着層３を介して接着され、周縁部４以外の領域に複数のチップ５を並べ備えた半導体ウェーハ１とを含み、粘着シート１１に半導体ウェーハ１の複数のチップ５を対向させて粘着し、半導体ウェーハ１から半導体サポート板を剥離し、半導体ウェーハ１の残留した接着層３に粘着テープ１２を粘着して剥離することにより、半導体ウェーハ１から残留した接着層３を除去する半導体ウェーハ１の取り扱い方法で、相対向する粘着シート１１と半導体ウェーハ１の周縁部４との間に、粘着テープ１２の周縁の剥離開始箇所１３に位置するスペーサ２０を介在して粘着固定し、その後、粘着テープ１２を剥離開始箇所１３から徐々に剥離する。 （もっと読む）

【課題】厚さの異なる複数枚の基板を保持することができ、作業の煩雑化や複雑化、部品点数の増大を防ぐことのできるリテーナ及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】厚さの異なる第一、第二の半導体ウェーハＷ１・Ｗ２を上下に並べて水平に収納可能な容器本体１と、容器本体１の開口した正面２を開閉する蓋体２０とを備え、蓋体２０の第一、第二の半導体ウェーハＷ１・Ｗ２に対向する裏面に、厚さの異なる第一、第二の半導体ウェーハＷ１・Ｗ２を保持可能なフロントリテーナ４０を装着する。フロントリテーナ４０を、第一、第二の半導体ウェーハＷ１・Ｗ２に対向するリテーナ本体４１と、リテーナ本体４１に設けられて第一の半導体ウェーハＷ１の前部周縁を保持溝で保持する第一の弾性保持片４６と、リテーナ本体４１に設けられて第二の半導体ウェーハＷ２の前部周縁を保持溝で保持する第二の弾性保持片５０とから構成する。 （もっと読む）

【課題】イオン液体を含有していたとしても現像剤が長期間にわたって表面に固着しにくい導電性ローラ、並びに、長期間にわたって高品質の画像を形成することのできる現像装置及び画像形成装置を提供すること。
【解決手段】軸体２の外周面に形成された弾性層３とその外周面に形成されたウレタンコート層４とを備えてなる導電性ローラ１であって、前記ウレタンコート層４は、ウレタン樹脂と、前記ウレタン樹脂１００質量部に対して１〜２０質量部の、ピリジニウム系イオン液体、アミン系イオン液体及び２つの水酸基を有するイオン液体より成る群から選択される少なくとも１種のイオン液体と、前記ウレタン樹脂１００質量部に対して０．１〜５質量部のフッ素系界面活性剤とを含有する導電性ローラ１、並びに、この導電性ローラ１と現像剤とを備えて成る現像装置及びこの現像装置を備えて成る画像形成装置。 （もっと読む）

【課題】作業の迅速化、簡素化、容易化を図ることのできる基板の固定治具を提供する。
【解決手段】剛性を有する支持板１と、この支持板１の表面に着脱自在に粘着されて薄化された半導体ウェーハＷを着脱自在に粘着保持する両面粘着シート３とを備え、支持板１の表面と両面粘着シート３の一部との間に非粘着層４を介在して積層し、支持板１には、非粘着層４に対向する空気孔２を厚さ方向に穿孔する。専用の厚い内リングと外リングとを使用する必要がないので、コスト削減を図ることができる他、作業の作業性を向上させることができ、作業の迅速化、簡素化、容易化が期待できる。 （もっと読む）

【課題】シリコーンゴム製の粘着シートから取り外した半導体ウェーハに移行物が移行して汚染が生じ、後の工程に不具合が生じるのを有効に防ぐことのできる半導体ウェーハの洗浄方法を提供する。
【解決手段】シリコーンゴム製の粘着シートの平坦な表面に半導体ウェーハＷを着脱自在に粘着保持させ、この半導体ウェーハＷに所定の処理を施した後、粘着シートから半導体ウェーハＷを剥離してその少なくとも粘着シートに粘着していた裏面をプラズマ洗浄装置１０でプラズマ洗浄する。例え粘着シートから半導体ウェーハＷにシリコーンゴムのシロキサンが移行して付着しても、シロキサンを酸素プラズマで分解洗浄するので、半導体ウェーハＷの汚染により、後の製造工程に支障を来たすおそれを排除できる。 （もっと読む）

【課題】電極の形状を安定させて検出結果や精度の向上を図ることのできる安価なタッチパッドを提供する。
【解決手段】基材層１と、この基材層１の表面ＸＹ方向に複数の電極１１が配列形成されるパターン電極層１０とを備え、任意の電極１１に指がタッチする場合にこれらの間にキャパシタを形成し、静電容量の変化を検出するタッチパッドで、基材層１を、絶縁性のポリエチレンテレフタレートフィルム２と、このポリエチレンテレフタレートフィルム２の表面に貼着される銅箔３と、ポリエチレンテレフタレートフィルム２の裏面に貼着されてシールド用のグラウンド層を形成する金属膜４とから多層構造に形成し、パターン電極層１０の複数の電極１１を、少なくとも基材層１の銅箔３をエッチングすることにより形成する。 （もっと読む）

【課題】多方向への操作と、クリック感のある操作との使い分けが可能な多方向操作部材およびそれを備える電子機器を提供する。
【解決手段】所定方向に列を為して配置される１または２以上の導電性弾性体１１を操作面の裏面側に備える操作板１０と、導電性弾性体１１に対向する位置にそれぞれ設けられた複数の電極２２，２３を非接触状態で配置して成る電極群２１を備える基板２０と、を有する入力部材２としている。 （もっと読む）

【課題】スライド操作を可能とすると共に、ユーザーが触れた位置毎に所定の入力値を入力できる入力部材およびそれを備える電子機器を提供する。
【解決手段】所定方向に列を為して配置される１または２以上の第一突出部１１を操作面の裏面側に備える操作板１０と、第一突出部１１に対向して設けられた導電性シート２０と、第一突出部１１に押圧方向で重なる位置にそれぞれ設けられた複数の電極３２，３３を互いに非接触状態で配置して成る電極群３１を備える基板３０と、を有すると共に、導電性シート２０と電極群３１との間には、所定の隙間が形成されている。 （もっと読む）

【課題】モールド金型やモールド樹脂を成形加工して得られる成形品との剥離性に優れ、また、モールド金型への追従性にも優れ、１８０℃前後の使用温度における耐熱性と機械的強度をも併せ有する離型用フィルムを提供する。
【解決手段】１種類あるいは２種類以上の熱可塑性エラストマーを組み合わせてなる樹脂組成物を成形して得られるフィルムの少なくとも一方の面に、加水分解性部位を含むシリル基を分子内に有するフルオロシリコーン化合物を含有する離型組成物を塗布、乾燥して得られるフルオロシリコーン化合物層が形成されている。 （もっと読む）