説明

信越ポリマー株式会社により出願された特許

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【課題】薄膜が支持片と接触して剥離したり、クラックが発生するのを抑制し、基板に設計通りの加工等を施すことができ、基板の汚染や製品の歩留まり低下を防止できる基板用支持体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】表面から裏面の周縁にかけて金属薄膜が積層された半導体ウェーハ1を挟んで対向する一対の支持枠41と、各支持枠41に形成されて半導体ウェーハ1の側部周縁に沿う複数の支持片46とを備え、複数の支持片46に半導体ウェーハ1を水平に支持させる。各支持片46を、支持枠41の前部に形成される前部支持片47と、支持枠41の後部に形成されて前部支持片47の後方に位置する後部支持片51に分割し、前部支持片47と後部支持片51に支持突部60を形成する。各支持突部60の表面の一部を湾曲させて半導体ウェーハ1の裏面に接触可能とし、表面の残部を半導体ウェーハ1の裏面に非接触の傾斜面とする。 (もっと読む)


【課題】薄い半導体ウェハを比較的短時間で容易に製造することができ、かつ製品率を向上させることのできる基板スライス方法を提供する。
【解決手段】基板10上に非接触にレーザ集光手段16を配置する工程と、レーザ集光手段16により、基板10表面にレーザ光を照射し、基板10内部にレーザ光26を集光する工程と、レーザ集光手段16と基板10を相対的に移動させて、基板10内部に改質層12を形成する工程と、基板10側壁に改質層12を露出させる工程と、改質層12をエッチングする工程とを有する基板スライス方法。 (もっと読む)


【課題】ポインティングデバイスの誤作動を低減する。
【解決手段】ポインティングデバイス1の位置指示駆動体60は、その下方に、アース用の電極および電圧印加用の電極に接触する導電材料から成る導電部と、導電材料から成り、その駆動時に電位測定用の電極に接触可能である下方突出形状の球面部63と、を有する導電性弾性体62を備え、その球面部63が電位測定用の電極の上方になるように印刷回路基板70上に配置され、位置指示駆動体60の上方にその頭部を覆うように配置され、印刷回路基板70の平面と平行な面内をスライドさせて操作すると、位置指示駆動体60を駆動できるスライド部材30と、位置指示駆動体60の外側にあって、球面部63が電位測定用の電極に接触後、位置指示駆動体60への押圧方向の力を受けて、球面部63から印刷回路基板70への押圧を制限する押圧制限部材40,50を備える。 (もっと読む)


【課題】複雑な施錠機構を簡素化するとともに、施錠時の回転トルクが大きくなって開閉装置側に負担が掛かり、最悪の場合、停止してしまうといった問題を解決する。
【解決手段】開口を有し基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、前記蓋体には、一対の施錠機構9が配設されていて、前記施錠機構9が、カム溝19を有し、外部からアクセス可能な操作凹部を中央に有する回転部材13と、前記カム溝19に係合する一対の細長形状をしたラッチバー部材14と、ラッチバー14の先端に位置して蓋体側壁の内部から外部へと出没する係止部31を有し、係止部31が蓋体の幅方向にスライドして係止する。 (もっと読む)


【課題】フロントリテーナの基板に対する押圧力を増大させる必要がなく、蓋体取り外しの際、基板が飛び出すおそれを排除できる基板収納容器及び基板の取り扱い方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ1を水平に収納する容器本体と、容器本体を開閉する蓋体を備え、容器本体に、半導体ウェーハ1の後部周縁2をV溝18の谷20に接触させて保持するリヤリテーナ17を内蔵し、V溝18を一対の傾斜面により区画してその間の角度を45〜135°の範囲とし、蓋体に、半導体ウェーハ1を掬い上げてその前部周縁3を保持するフロントリテーナ33を装着する。容器本体内にロボットハンドを進入させて半導体ウェーハ1の下方に位置させ、ロボットハンドを容器本体の正面方向に向け斜め上方に移動させつつ半導体ウェーハ1を容器本体の支持片12から持ち上げ、ロボットハンド上に半導体ウェーハ1を吸着して後退させる。 (もっと読む)


【課題】薄い半導体ウェハを比較的短時間で容易に製造することができ、かつ製品率を向上させることのできる基板スライス方法を提供する。
【解決手段】基板10上に非接触にレーザ集光手段16を配置する工程と、レーザ集光手段16により、基板10表面にレーザ光22を照射し、基板10内部にレーザ光26を集光する工程と、レーザ集光手段16と基板10を相対的に移動させて、基板10内部に改質層12を形成する工程と、基板10側壁に改質層12を露出させる工程と、改質層12に溝(32a、32b)を形成する工程と、溝(32a、32b)を基点に基板10を剥離する工程とを有する基板スライス方法。 (もっと読む)


【課題】簡単な構造で容易に表示情報を移動操作する。
【解決手段】表示部3と、すくなくとも2方向に操作可能な方向キーを有する多方向操作キー1と、多方向操作キーの裏側に配置され、方向キーの押圧を受けてオンになる接点用電極と、当該多方向操作キーの操作に応じて処理を行う制御部と備え、制御部は、多方向操作キーの内の任意の方向キーがオンになったことを検出する手段と、当該検出手段による検出後から所定時間以内に、1または2以上の別のキーがオンになったかどうかを判別する手段と、当該判別の結果、1または2以上の別のキーがオンになったと判断された場合に、別のキーが多方向操作キーの中央に対して任意の方向キーと反対側にある反対方向キーを含むかどうかを判別し、当該判別の結果、反対方向キーを含むと判断された場合に、任意の方向キーと反対方向キーとを結ぶ線方向に、表示部に表示される情報30を移動する移動手段とを備える。 (もっと読む)


【課題】基板収納容器の蓋体を取り除くときに、瞬時に基板収納容器内外の圧力差を無くして、蓋体の開閉を問題なく行うことが可能な基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口部を有し基板を収納する容器本体2と、容器本体2の開口部をガスケット部材によってシール可能に閉鎖する蓋体3と、を有する基板収納容器1であって、基板収納容器1内外の圧力を平衡状態にする圧力調整手段が設けられていることを特徴とする基板収納容器。 (もっと読む)


【課題】低湿度環境下においてもかぶりのない画像を形成することのできる導電性ローラ、現像装置及び画像形成装置を提供すること。
【解決手段】軸体2の外周面に形成された弾性層3と前記弾性層3の外周面に形成されたウレタンコート層4を備えてなる導電性ローラ1であって、前記ウレタンコート層4は、ウレタン樹脂と、このウレタン樹脂100質量部に対して1〜20質量部の、ピリジニウム系イオン液体及びアミン系イオン液体より成る群から選択される少なくとも1種のイオン液体とを含有していることを特徴とする導電性ローラ1、この導電性ローラ1とプラス帯電現像剤とを備えてなる現像装置、並びに、前記導電性ローラ1を備えて成る画像形成装置。 (もっと読む)


【課題】ダイシング処理時に半導体ウェーハを適切に固定することができ、しかも、エキスパンド処理の際に複数の半導体チップの間隔を十分に広げることのできるダイシングテープ及び半導体ウェーハの加工方法を提供する。
【解決手段】フレーム1に粘着されてダイシングされる半導体ウェーハ10を保持するテープで、フレーム1の裏面に粘着されてその中空2を被覆し、フレーム1の中空2内に位置する半導体ウェーハ10を着脱自在に粘着する低張力層21と、この低張力層21の裏面に着脱自在に粘着される高張力層24とを二層構造に備え、低張力層21の粘着力を高張力層24の粘着力よりも大きくする。エキスパンド処理を施す場合、高張力層24を剥離してダイシングテープ20を低張力層21のみとするので、複数の半導体チップの間隔を十分に広げることができ、後の作業に支障を来たすことがない。 (もっと読む)


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