【目的】 長期安定性、温湿度依存性、品質安定性、薄膜依存性の点で優れ、例えば、アルコール類、ケトン類、アルデヒド類等の匂いを有するガスに対しても、これを感度良く、選択性よく検知することができる基板型半導体式ガスセンサ及びこれを備えたガス検出器を得る。
【構成】 基板上に酸化スズを主成分とする金属酸化物半導体膜層を備え、金属酸化物半導体膜層に電気的に接続された検出電極を備えて構成される基板型半導体式ガスセンサにおいて、酸化スズの平均一次粒子径が３５ｎｍから７０ｎｍに形成し、金属酸化物半導体膜層の膜厚を１０μｍから５０μｍまたは１５０μｍ以上に形成し、センサ温度を４５０〜５５０℃に設定して、匂いガス、水素ガスを検出する。 （もっと読む）

【目的】 ハウジング外部と内部との間でガスが流通可能な通気孔を備えた気密性ハウジング内に、検知対象ガス及びアルコールに感応する金属酸化物半導体よりなるガス検知素子を備え、通気孔にアルコールを吸着可能な吸着層を備えたガスセンサにおいて、その吸着層において、吸着層の製作作業性、吸着層内での活性炭の偏り、移動、微粉化等の問題が発生することはないガスセンサを得る。
【構成】 吸着層を、粒子状の活性炭と粒子状のフッ素樹脂とを加熱成型一体化した活性炭成型体７０で製造する。 （もっと読む）