説明

神港精機株式会社により出願された特許

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【課題】 不安定な陽極グローの発生によって、真空槽内の構成要素が損傷したり、被膜の品質が不安定になったりするのを、防止する。
【解決手段】 この発明に係るプラズマCVD装置10によれば、真空槽10内に適宜のガスが導入された状態で、被処理物であるパイプ20,20,…に接地電位を基準とする非対称パルス電力Wpが供給されると、真空槽10内にプラズマが発生する。このとき、接地電位に接続された真空槽10が陽極として作用するため、当該真空槽10内に陽極グローが発生する。ただし、真空槽10内には、当該真空槽10よりも高電位とされた高融点金属製の補助アノード40が設けられているので、陽極グローはこの補助アノード40に集中する。つまり、陽極グローの発生位置が、補助アノード40に固定される。これによって、陽極グローが安定化され、当該陽極グローによる影響が排除される。 (もっと読む)


【課題】 期待通りの性能を奏する被膜を形成する。
【解決手段】 この成膜装置10によれば、真空槽12内のプラズマ領域64内でイオン化された材料、例えば窒素イオンおよびホウ素イオンは、当該プラズマ領域64内にある被処理物36,36,…に照射される。これによって、被処理物36,36,…の表面に、窒素およびホウ素の化合物であるcBN膜が形成される。ここで、被処理物36,36,…には、バイアス電力Ebとして、周波数fが10[kHz]〜300[kHz]のパルス電力が供給される。従って、例えば当該バイアス電力Ebとして高周波電力が供給される場合に比べて、表皮効果による影響が抑制され、ひいては被処理物36,36,…の変質が防止される。よって、期待通りの高硬度なcBN膜を形成することができる。 (もっと読む)


【課題】被接合物の接合面の表面活性化処理を効率よく行うことで該被接合物どうしの接合強度の向上を図ることのできる技術を提供する。
【解決手段】プラズマ処理前半において、酸素プラズマによって被接合物308の接合面を表面活性化処理した後、プラズマ処理後半において、酸素ラジカルを照射することで、被接合物308の接合面は、主にプラズマ中のラジカルと反応して、効率よく均一に表面活性化(親水化)処理される。さらに、続いて、効率よく均一に親水化処理された接合面に窒素ラジカルを照射することで、親水化処理された接合面に生成されたOH基が窒素置換されてON基に置換され、この状態で、被接合物どうしを重ね合わせることによって接合界面に窒素化合物(Si、O、Nの化合物)が形成され、常温〜100℃以下の低温でも被接合物どうしを強固に接合することができる。 (もっと読む)


【課題】 従来よりも簡単かつ安価な構成で真空ポンプの駆動動力を低減すると共に、ガスパージ処理を実施することができる真空装置を提供する。
【解決手段】 ドライポンプ12から排出された排気ガスは、主排気配管22を通り、さらに逆止弁24を通って、大気へと放出される。また、ドライポンプ12の排気ポート20付近は、エゼクタ26によって減圧される。これによって、ドライポンプ12の排気ポート20と吸気口18との間の圧力差が小さくなる。この結果、ドライポンプ12内のロータ16に掛かる負荷が軽減され、当該ドライポンプ12の駆動動力が低減される。
なお、エゼクタ26用の駆動ガスには、窒素ガス等のパージ用ガスが用いられ、このパージ用ガスを含むエゼクタ26からの吐出ガスは、主排気配管22を流れる排気ガスに合流される。これによって、排気ガスを希釈化するというガスパージ処理が実現される。 (もっと読む)


【課題】 油分による管球の汚染を防止し、かつ所望のタイミングで管球に真空排気やガス封入が行える。
【解決手段】 管球と連動される複数のヘッド26と、管球を連続的に排気するための真空ポンプ10a、10bと、管球にガスを連続的に封入するためのガス供給源10c乃至10eが設けられている。これらヘッド26と真空ポンプ及びガス供給源は、ロータリジョイント2を介して接続され、ロータリジョイント2は固定部材4と回転部材6とを有し、回転部材は、各ヘッドと共に回転する。ロータリジョイントは、真空ポンプをヘッドに連続的に連結し、ガス源を連続的にヘッドに連結する。各ヘッド26の制御弁34a、34bが真空ポンプと管球との間を開閉し、各ヘッドの制御弁34c乃至34eがガス供給源と管球との間を開閉する。 (もっと読む)


【課題】 高精度な外観検査を行うことができる照明装置を提供する。
【解決手段】 この発明に係る外観検査用照明装置20は、暗視野用の発光ダイオード群68と、明視野用の発光ダイオード群70とを、備える。暗視野法による外観検査時には、暗視野用の発光ダイオード群68のみが有効化され、明視野法による外観検査時には、明視野用の発光ダイオード群70のみが有効化される。それぞれの発光ダイオード群68または70から発せられた照明光は、拡散板74または78によって拡散されてから、検査対象物であるコンタクトレンズ50に照射される。従って、コンタクトレンズ50は、一様な明るさで照明され、いわゆる照度むらは生じない。このため、当該コンタクトレンズ50全体にわたって、一様な精度で外観検査を行うことができる。なお、暗視野法による外観検査時には、明視野用拡散板78の上方は、シャッタ板80によって覆われる。 (もっと読む)


【課題】 はんだ表面にしわが発生することを防止する。
【解決手段】 はんだ溶融温度よりも低い温度であってかつ大気圧よりも低い圧力の加熱チャンバー2において、はんだと、このはんだが接合される被はんだ付け部とを有する処理物6に、水素ラジカルを照射する。加熱チャンバー2を大気圧またはその近傍圧力の還元性雰囲気または不活性雰囲気として、はんだ溶融温度以上の温度に処理物を加熱板4によって加熱する。大気圧またはその近傍圧力の還元性雰囲気または不活性雰囲気にある冷却チャンバー24において、冷却装置30によって被処理物6を冷却する。 (もっと読む)


【課題】 検査対象物の外観検査作業をより効率的に行う。
【解決手段】 この発明に係る外観検査用容器34は、概略椀型の形状をしており、具体的には下方に向かってドーム状に突出した底部60と、この底部60の周縁から上方に向かって真っ直ぐに延伸する円筒状の壁部62と、から成る。そして、この容器34は、光源ユニット20の上面82に設けられた円形の容器載置孔84に載置される。さらに、当該容器34内には、検査対象物であるコンタクトレンズ50の乾燥を防ぐための液体70が注入され、この液体70が注入された容器34内に、コンタクトレンズ50が、その前面を下方に向けた状態で投入される。このように容器34内に投入されたコンタクトレンズ50は、重力に従って、おのずと当該容器34の底部62の中心Oに向かって収束する。そして、当該中心Oを基準とする一定位置に、セットされる。 (もっと読む)


【課題】 希望の用途に適したSiOx膜を形成する。
【解決手段】 反応室12内に基板20が設置された状態で、真空ポンプ24によって当該反応室12内が排気される。そして、ガス導入管26を介して反応室12内にアルゴンガスが導入され、さらに高周波電源装置18から整合器16を介して電極14に高周波電力が供給される。すると、アルゴンガスが放電し、反応室12内にプラズマ51が発生する。そして、ガス導入管28および30を介して反応室12内に原料ガスとしての酸素ガスおよびTMSガスが導入される。これら酸素ガスおよびTMSガスは、プラズマ52の作用によって分解され、さらに互いに反応し合い、この結果、基板20の表面にSiOx膜が形成される。ここで、各ガスの導入タイミングおよび高周波電力の供給態様を詳細に制御することで、当該SiOx膜の表面粗さをナノオーダで変化させることができる。 (もっと読む)


【課題】 水素ラジカル雰囲気を使用せずに半田の還元を行うことができ、かつボイドを溶融半田中から追い出す。
【解決手段】 圧力がほぼ大気圧の還元雰囲気または不活性雰囲気中において、半田6とこの半田によって半田付けされる基板2とIC4を加熱して、半田を溶融させる。この溶融状態で、前記圧力をほぼ大気圧から減圧する。次に、前記ほぼ大気圧の還元雰囲気または不活性雰囲気に戻す。この圧力変化後に、ほぼ大気圧の還元雰囲気または不活性雰囲気中で基板とICと半田とを冷却する。 (もっと読む)


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