【課題】 小型の被計測部材に形成されたアール部の寸法を測定するための治具を、簡単かつ安価な構成で実現する。
【解決手段】 被計測部材としての玉軸受内輪１０は、その内孔１８に挿入部２０６が挿入されることによって、幅方向計測治具２００に装着される。このとき、玉軸受内輪１０の一端面１２がベース部２０２の上面２０４に面接触し、内孔１８の内面１６が挿入部２０６の側壁２２２に当接する。挿入部２０６は、合焦面に位置する参照用面２１８を有しており、この参照用面２１８と玉軸受内輪１０の一端面１２とこれらの間に挟まれたアール部２０とを含む観測対象領域が、観測孔２１０を介して観測され、ひいては当該アール部２０の幅寸法（径方向の寸法）が計測される。なお、挿入部２０６は、円柱状の頭部を有するネジ状部材２１２の当該頭部によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも正確な視野検査を可能とする。
【解決手段】 この発明に係る視野計１０は、１つの光源１２を有している。そして、この光源１２から被検眼までの間には、偏光プリズム２０および２８と平面反射鏡３２および３４とによって、２つの光路が形成されている。さらに、一方の光路には、一部の領域５２が遮断領域とされた液晶シャッタ２０が設けられており、他方の光路には、当該液晶シャッタ２０と相補関係にある別の液晶シャッタ２８とチョッパ装置３０とが設けられている。かかる構成により、被検眼には、光源１２の輝度に応じた明るさの背景と、少なくとも当該背景以下の明るさの視標とが、呈示される。この結果、視標が呈示されることによる被検眼への刺激が抑制され、ひいては被検者による視標の点灯と点滅との誤認識が低減される。 （もっと読む）

【課題】 被接合物の接合面の表面活性化処理を効率よく行うことで該被接合物どうしの接合強度の向上を図ることのできる技術を提供する。
【解決手段】 プラズマ処理前半とプラズマ処理後半とでウエハー３０８の接合面を表面活性化する化学処理の強度を効率よく切り替えることで、ウエハー３０８の接合面を酸素プラズマによって効率よく親水化（表面活性化）することができる。このように、その接合面を効率よく親水化処理されたウエハー３０８どうしを適当な周知の接合装置によって重ね合わせてＯＨ基どうしによる水素結合により接合した後、Ｈ_２Ｏを接合界面から放出させるための低温（例えば、常温〜約２００℃）でのアニーリングを行うのみで十分な接合強度を得ることが可能となり、接合強度の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも低コストでＡｌ−Ｓｎ合金被膜を形成する。
【解決手段】 蒸発源１６を構成する銅製の坩堝１８内には、ＢＮ製のハースライナ２０が収容されており、このハースライナ２０の中に、Ａｌ−Ｓｎ合金被膜の材料となる蒸発材料２２が充填されている。つまり、蒸発材料２２と坩堝１８との間に、低熱伝導率のハースライナ２０が介在している状態にある。従って、蒸発材料２２の熱が坩堝１８に伝わり難くなり、これによって当該蒸発材料２２を十分に加熱し、蒸発させることができる。その結果、従来よりも高い成膜速度を得ることができ、ひいては成膜コストを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 簡単かつ安価に、しかも内径の小さい被処理物に内面コーティングを行う。
【解決手段】 真空槽１２内に被処理物としてのパイプ３０，３０，…をセットした後、当該真空槽１２内を排気する。そして、この排気後、放電用ガスとしてのアルゴンガスを真空槽１２内に導入すると共に、パルス電源装置４２から各パイプ３０，３０，…に非対称パルス電力を供給する。これによって、真空槽１２内にプラズマが発生すると共に、各パイプ３０，３０，…内にホロー放電が生じる。そして、真空ポンプ１６によって真空槽１２内の圧力を制御することで、当該ホロー放電を安定化させる。この状態で、真空槽１２内にアセチレンガス等の材料ガスが導入されると、各パイプ３０，３０，…の内面に、当該材料ガスに従う被膜が形成される。つまり、ホロー放電を積極的に利用することで、内面コーティングを実現する。 （もっと読む）

【課題】 保持可能な基板の種類が限定されず、かつ当該基板の温度を効果的に制御することができる新規な基板保持装置を提供する。
【解決手段】 この発明に係る基板保持機構１８は、例えば真空蒸着装置に適用されるものであり、図示しない液体冷却装置から冷却水が供給される水冷ジャケット３４を有している。そして、この水冷ジャケット３４の下面には、複数の押圧ユニット４０，４０，…が設けられており、それぞれの押圧ユニット４０は、水冷ジャケット３４を介して冷却水が注入される溶接ベローズ５２を有している。この溶接ベローズ５２の移動端（先端）には、中継冷却板５６が結合されており、冷却水の圧力に応じて当該ベローズ５２が伸縮すると、中継冷却板５６によってヒートシンク７０と共にウェハ１６が下方に押し付けられ、固定される。 （もっと読む）

【課題】 物体の形状や寸法等の検査に係る作業効率を向上させる。
【解決手段】 ＸＹＺステージ２０上に検査対象である物体が設置されると、この物体の光学像がＬＥＤ光源装置２２の中空部２４および有効レンズ２６を介して、ヘッド部１４内に設けられたＣＣＤ型のカメラの受光部に入射される。カメラは、受光部に入射された光学像を電気信号に変換し、変換された電気信号は、パーソナルコンピュータ１８を経由して、ディスプレイ３２に入力される。これによって、当該ディスプレイ３２の表示画面に、物体の拡大映像、言わば物体像が、表示される。さらに、この物体像に重畳されるように、当該物体の図面が、パーソナルコンピュータ１８によって表示される。従って、これら物体像と図面とを比較しての検査が可能となり、作業効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】 メンテナンスの負担を低減する。
【解決手段】 プラズマガン１８内で発生したプラズマ３４は、真空槽１２内に供給され、反射電極４０に向かって流れる。さらに、プラズマ３４は、１対の電磁コイル５０および５２によるミラー磁場によって、ビーム状に閉じ込められる。そして、材料ガス供給口８２からＴＭＳガスおよびアセチレンガスが真空槽１２内に導入されることで、シリコン含有ＤＬＣ膜の成膜処理が行われる。なお、この成膜処理時に、アセチレンガスに含まれる炭素が、反射電極４０に付着する。従って、この反射電極４０に付着した炭素が剥離して、被処理物５４，５４，…の表面に再付着することが、懸念される。そこで、反射電極４０の上面部分を金属製ウール４４によって形成する。このようにすれば、当該炭素の剥離を防止できることが、確認された。その分、メンテナンスの負担も低減される。 （もっと読む）

【課題】 材料ガスによるプラズマガン内の汚染を防止する。
【解決手段】 プラズマガン１８内で発生されたプラズマ３４は、アパーチャ２４を介して真空槽１２内に供給される。この状態で、真空槽１２内に材料ガスとしてのＴＭＳガスおよびアセチレンガスが導入されると、これらのガスはプラズマ化され、プラズマ化されたガスは、被処理物５４，５４，…の表面において化学反応を起こす。これによって、被処理物５４，５４，…の表面に、シリコンを含有するＤＬＣ膜が形成される。
なお、ＴＭＳガスおよびアセチレンガスは、アパーチャ２４を介してプラズマガン１８内にも流入する。そして、特にアセチレンガスに含まれる炭素によって、プラズマガン１８内が汚染される。しかし、この炭素は、エッチングガスとしての酸素ガスと反応して、二酸化炭素となり、真空ポンプ１６によって真空槽１２の外部に排出される。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡単でかつ低コストな表面処理装置を提供する。
【解決手段】 プラズマガン１８内で発生したプラズマ３４は、アパーチャ２４を介して真空槽１２内に供給され、反射電極４０に向かって流れる。この反射電極４０は、プラズマガン１８と同様、絶縁電位とされているので、プラズマ３４内の電子は、これら反射電極４０およびプラズマガン１８間で電界振動する。さらに、真空槽１２内には、電磁コイル５０および５２によって、当該プラズマ３４をビーム状に閉じ込めるべく磁場が作用している。従って、プラズマ３４の密度が向上する。なお、真空槽１２は接地電位に接続されているので、当該真空槽１２の内壁、特に上面部分に、プラズマ３４内の電子が流れ込もうとする。しかし、この上面部分は円板状のプラズマ安定電極４６によって覆われているので、当該電子の進行は阻止される。これにより、プラズマ３４が安定化される。 （もっと読む）