【課題】 本発明は、陽極接合装置に関し、安定した接合を提供し、且つ量産化時の接合プロセス時間を短縮することが可能な陽極接合装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 絶縁性断熱材９上にヒーター４を内蔵したステージ１〜３を設け、ステージ１〜３上に半導体シリコン基板５、パイレックスガラス基板６を載置し、さらにその上に金属押さえ電極７を置き、ステージ間に熱反射板８を設け、高電圧切替器１２により高電圧を印加する金属押さえ電極７を切り替えて、基板の昇温、高電圧の印加、接合、基板の冷却の接合プロセスを並行して進めるようにする。 （もっと読む）

【目的】 リボン巻の発生と綾角変化による巻き締めやパッケージ端の膨らみとを共に確実に防止し、高速化やパッケージ径の大径化に対してもパッケージの品質と解じょ性を向上させ得るトラバース制御方法と装置を実現する。
【構成】 パッケージ径の増大に伴って所定のワインド比の近傍に達すると、綾角が下限値から上限値に切り換わるようトラバース回数を急速に上昇させ、トラバース回数が綾角の上限値に対応する値に達し所定のワインド比を外れた後は、綾角が上限値から下限値まで徐々にトラバース回数を低下させ、かつ、パッケージ中間層部付近の所定範囲内の巻取り時における綾角の下限値を、それ以後の外層部の巻取り時における綾角の下限値より大きくして、中間層部でのパッケージ端面の膨らみを抑制する。 （もっと読む）

【目的】 外径が大きく異なるとともに外周が円周面であるワーク32をクランプ爪31により外側から良好にクランプする。
【構成】 ワーク32をクランプする場合にはクランプ爪31を同期して後方に移動させるが、この移動の際、各クランプ爪31は前方に向かって末広がりの円錐面上を直線状に延びる貫通孔28に沿って移動するので、半径方向内側へも移動し、これによりワーク32がクランプ部33により外側からクランプされる。 （もっと読む）

【目的】 走行型の玉揚げロボットを廃止し、大掛りな改修工事や多大な改修工事費用を必要とすることなく導入可能な巻取機の自動切替装置を提供する。
【構成】 巻取機械の複数のワークステーションが機台長手方向に連設され、各ワークステーションの巻取部に糸吸引装置２１、糸はね上げ板２２、糸切断装置２４、糸寄せアーム６１および糸掛けアーム６３等からなる糸条処理装置、クレール１３およびクレードル反転用モータ３１からなるクレードル反転装置、空紙管アーム５１等からなる空紙管装着装置並びにパッケージ受け部８３が設けられ、巻取機械の少なくとも１つの巻取部のパッケージＰが切替状態に達すると巻取部の糸条処理装置、クレードル反転装置、空紙管装着装置およびパッケージ受け部を作動させる制御手段が巻取機械に設けられている。 （もっと読む）