【課題】長尺で幅の狭い薄板状被加熱物を効率よく加熱する高周波誘導加熱装置を提供する。
【解決手段】トランスバース型構造の高周波誘導加熱装置であって、薄板状被加熱物の幅より幅の広い中央に位置する第１の凸部に第１の誘導コイルが配設されたＥ字形状の第１の磁性部材と、第１の磁性部材と所定の間隙を開けて凹凸部が互いに対向するように配置され、薄板状被加熱物の幅より幅の広い中央に位置する第２の凸部に第２の誘導コイルが配設されたＥ字形状の第２の磁性部材と、第１の磁性部材と第２の磁性部材の両端に位置する凸部において第１の磁性部材と第２の磁性部材とを接合する第３の磁性部材とを有し、第１の凸部と第２の凸部とに挟まれて形成された空間内に長尺の薄板状被加熱物を第１の凸部および第２の凸部の幅方向に直交する方向に通過させるようにしたものである。
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【課題】 共振領域のサセプタンスを連続的に、かつ、容易に調整することができる導波管型帯域通過フィルタを提供する。
【解決手段】
管内に共振領域が形成される導波管本体１０と、共振領域のサセプタンスを調整するための調整機構とを有する。調整機構は、導波管本体１０の管内においてその軸部が電磁波の通過方向と垂直でかつ軸部回りに回転するように導波管本体１０に取り付けられた、断面非円形の導体棒１４を含む。各導体棒１４を回転させることにより、隣り合う導体棒１４との間隔が変化して、共振領域の共振周波数が変化する。この結果、共振領域のサセプタンスを調整することができる。 （もっと読む）

【課題】枚葉式フラットパネル洗浄システムの設計手直しを無くすため、仕様打ち合わせ時点で、主制御盤の大きさに関し、精度の高い寸法情報が得られる主制御盤設計システム、主制御盤設計方法及びそのプログラムを提供する。
【解決手段】主制御盤の大きさを設計するための計算を行う複数の計算手段の計算処理と、計算処理結果を基に主制御盤の大きさを決定する決定手段の決定処理とを行う処理手段１０と、主制御盤の大きさを設計するための条件を入力するための入力手段１４と、処理手段１０が入力条件に基づいて計算処理を行うための、ファイルデータを記憶する記憶手段１２と、処理手段１０の処理結果を基に、主制御盤の大きさを表示する出力手段１６とを具備する。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成で発振器の発振周波数の線形性を向上させた発振装置を提供する。
【解決手段】周波数制御信号の電圧に応じた周波数の出力信号を生成するＶＣＯ１２と、出力信号の周波数に相当する変換電圧を生成する周波数−電圧変換器１５と、変換電圧に基づく比較電圧と線形変化する所定の基準電圧との差分を増幅して出力する誤差増幅器１８と、誤差増幅器１８の出力によりＶＣＯ１２に入力される周波数制御信号を生成する可変電圧器１１と、を備える。周波数−電圧変換器１５及び誤差増幅器１１が、ＶＣＯ１２の出力信号の周波数に相当する変換電圧を可変電圧器１１に帰還する帰還回路を構成している。このような構成により、比較電圧が基準電圧に近づくように補正される。 （もっと読む）

【課題】コーティング液中に発生するダマを効率よく除去し、コーティング槽の底部から供給されるコーティング液の流速を均一にして、均一なコーティング処理を行うことができるコーティングユニットを提供する。
【解決手段】材料がコーティング液２６に浸漬されてコーティングされるコーティング槽１０と、所定の角度で折り曲げられたコーティング液注入部１２が、コーティング液排出部１４の内部に組み込まれ一体化されたコーティング液注入排出部１６と、コーティング槽１０から溢れ出したコーティング液２６を一時蓄えるコーティング液溜め槽１８と、コーティング液排出部１６とコーティング液溜め槽１８のコーティング液２６を回収し循環させるためのコーティング液回収槽２０とを有する。 （もっと読む）

【課題】制御ボードの取り替え時にシステムの実運用への影響が少ないシステムを提供する。
【解決手段】周辺機器２０の実装情報をＲＯＭ１２及びＲＡＭ２１ａ、ｂが記憶する。制御ボード１０の取り替え時に、ＣＰＵ１１は、ＲＯＭ１２の実装情報とＲＡＭ２１ａ、ｂの実装情報とを比較して、同じ場合にＲＯＭ１２の実装情報により周辺機器２０ａ〜ｉの異常監視、制御を行う。異なる場合には、ＲＡＭ２１ａ、ｂの実装情報で周辺機器２０ａ〜ｉの異常監視、制御を行うとともに、その旨を操作者に報知する。 （もっと読む）

【課題】組立が容易で信頼性が高く、かつ、機器の大型化を招くことなく電流が検出できる機能を備えた回路電流検出方法を用いたパワー機器を提供することを目的としている。
【解決手段】電流が流れる回路基板１と、回路基板１の電流検出部に立設された１次導体３と、１次導体３に流れる電流を計測できるように上記１次導体３に通して回路基板１に伏せて固定された電流検出器２と、電流検出器２の信号線を回路基板１に接合する接着剤７とを有するものとする。 （もっと読む）

【課題】異物の形状にバラツキがあっても、一つのブラシで異物を除去し、且つ、除去された異物を容易にブラシから遊離する基板洗浄ブラシを提供する。
【解決手段】基板洗浄ブラシ１００の洗浄ブラシの毛２０は、植毛される植毛面３０に対し、所定の角度で傾斜して植毛され、基板洗浄ブラシ１００は、洗浄ブラシの毛の毛先の部分が被洗浄基板の基板面３０に接触し、且つ、被洗浄基板３５が搬送される方向を示す第１の方向線と、所定の角度で植毛された洗浄ブラシの毛２０の植毛の方向を示す第２の方向線とが鋭角α２となるよう超音波基板洗浄装置２００に装着される。 （もっと読む）

【課題】効果的な超音波出力を安定して得ることができる超音波発振器を提供する。
【解決手段】超音波出力である力率補正された出力トランス２次側スイッチング高周波電力の電圧部分である出力トランス２次側スイッチング高周波電圧と電流部分である出力トランス２次側スイッチング高周波電圧とをそれぞれ出力電圧値検出電圧と出力電流値検出電圧とに変換し、変換された出力電圧値検出電圧と出力電流値検出電圧とから出力電力値検出電圧を算出するといった動作を、所定の時間間隔で周波数を初期設定発振周波数を中心として所定の周波数幅で掃引し、掃引する際の各周波数における出力電力値検出電圧が最大となる時の周波数を発振周波数として設定する。 （もっと読む）

【課題】 大型マスク基板を容易に洗浄、搬送することができ、且つコンパクトな洗浄槽により、広い作業スペースを必要とせず、操作性の良い洗浄装置を提供する。
【解決手段】 洗浄装置の門方基板操作部は、洗浄槽６０を跨いで門方を形成し、大型ガラス基板８５を洗浄槽６０内に降下させ、且つ降下した大型ガラス基板８５を洗浄槽６０内から上昇させる基板昇降部と、洗浄槽６０に対して移動動作を行う基板搬送部とを有し、洗浄槽６０の両側に設置された２本のガイドレール４０−１、２上を移動する。 （もっと読む）