【課題】噴射する液滴の粒径を一層均一に微小化することにより、基板上に形成された微細素子へのダメージを防止し、微小異物の洗浄が可能となる基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】被洗浄基板８０が載置される基板載置部７０と、微小液滴を生成、加速する気体を供給する気体供給部５０と、微小気泡を発生して微小気泡含有液を生成する微小気泡含有液生成部６０と、微小液滴を噴射する２流体ノズル１とを有する。 （もっと読む）

【課題】加熱コイルを保護し、かつ、加熱コイル周辺に生じたガスを効率よく排気する。
【解決手段】略半円錐形状を備えた第１の上部と略円筒形状を備えた第１の下部とにより形成された先端部と、第１の上部から延設されたダクト部とを有し、ダクト部は上方に角部を有するようにして三角形状に突出した略三角屋根形状を備えた第２の上部と第２の上部の下端部から略垂直方向下方に垂れ下がり形成された第２の下部とにより構成され、第２の上部により形成される断面が略三角形状を備えた空間である上層と第２の下部により形成される断面が略四角形状を備えた空間である下層とが、仕切部により互いに連通することのないように仕切られた２層構造を備え、上層は先端部の第１の上部により形成される空間と連通して形成され、下層は先端部の第１の上部により形成される空間とはスペーサーにより仕切られて形成されてなり、下層に加熱コイルを形成する線材を挿通した。 （もっと読む）

【課題】パイプなどの内部が中空の管状形状などの形状を備えた金属部材たる母材と他の金属部材たる母材とを接合する際に、ろう付け部分やろう付け部周辺を酸化させることなく、作業効率を向上させることができるとともにコスト高を抑制する。
【解決手段】一方の母材を固定する固定手段と、一方の端部に設けられた孔から不活性ガスを吐出するピンと、他方の母材に対して一方の母材を押圧するとともに一方の端部に設けられた孔へピンから吐出された不活性ガスを流入させて気道を介して側面部から流出させるシャフトとにより構成された位置決め手段と、シャフトの側面部に設けられるとともに側面部から流出した不活性ガスを他方の母材の表面に沿って整流し、一方の母材と他方の母材とをろう材により接合するろう付け部分に向けて流出させる整流カラーと、ろう付け部分近傍を略閉鎖された空間に形成する閉鎖手段と、ろう付け部分を加熱する加熱手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】所定の熱風の生成量を制御することが可能で、且つ、熱風の清浄化において失われる熱損失の削減を図ることが可能となる熱風循環型乾燥装置を提供する。
【解決手段】熱源手段１０と、送風手段２０と、熱風清浄手段３０と、乾燥室４０とを有し、熱源手段１０は、熱源となるヒーター１４と、熱源のヒーターが配備された部位における熱風の経路の開口面積を制御する熱風制御板１６とを有し、熱風清浄手段３０の有する熱風清浄のためのろ過フィルターを格納する筐体３０−１、及び筐体３０−１の上蓋３０−２の内側が、断熱板３６を有する。 （もっと読む）

【課題】装置設計、コスト、メンテナンス等の負担を軽減し、洗浄工程に要する時間を軽減することが可能な、噴射蒸気により被洗浄物の洗浄を行なうスチームジェット用ノズルを提供する。
【解決手段】ノズル本体１０は、蒸気室１２と、空気室１４と、蒸気室１２に通じる蒸気入力口１５と蒸気噴射口１６と蒸気排気口１７と、空気室１４に通じる空気入力口１８とを有し、蒸気室内１２には、噴射用バルブ２０と排気用バルブ３０を有し、空気入力口１８から入力される圧縮空気により、噴射用バルブ２０と排気用バルブ３０を制御し、洗浄処理時には、蒸気入力口１５から入力された蒸気を、蒸気噴射口１６から噴出させ、待機時には、蒸気排気口１７から排気させる。 （もっと読む）

【課題】フェライトが発熱して温度上昇しても、アーキング現象を生じることなく、かつ、マイクロ波特性の劣化を生じさせない導波管サーキュレータを提供する。
【解決手段】所定の平面上に水平に位置して設けられるとともに分岐位置から異なる３方向に延長された方形導波管により略Ｙ字形状を形成する導波管の該分岐位置に、上記所定の平面と直交する高さ方向において上方側と下方側とに対向して２つのフェライトが配置された導波管サーキュレータであって、上記導波管の分岐位置近傍において上記高さ方向で拡張する拡張部を形成し、上記フェライト間の間隔を広げることにより低下したインピーダンスを補償する。 （もっと読む）

【課題】ヒートポンプにより発生される冷媒による加熱源と冷却源とを用いることにより、低消費電力で効率よくベーパーラインの形成が可能となる蒸気乾燥システムを提供する。
【解決手段】ヒートポンプ回路２０は、コンプレッサ２１と加熱コイル２２と膨張弁２３と冷却コイル２４、２５とを具備し、乾燥、貯液槽１０は、排気ダクト３０を具備し、冷却コイル２４、２５は、乾燥、貯液槽１０内と排気ダクト３０内に配置され、膨張弁２３において発生した冷却源となる冷媒が、排気ダクト３０内の冷却コイル２５を通過した後、乾燥、貯液槽１０内の冷却コイル２４を通過する。 （もっと読む）

【課題】台座に対するフェライトの固定位置を容易に位置決めすることができるとともに、１度に２つの台座のそれぞれに対してフェライトを固定することができるようにする。
【解決手段】ガイド部が設けられた筒形形状の柄部と、楔形形状を備えた端部をガイド部から突出するようにして柄部内に挿通したシャフト部と、側面に形成された開口部から楔形形状を備えた端部を内部に挿入した筒部と、筒部内に挿入された楔形形状を備えた端部を挟むように対向して配置された第１のピストンブロックおよび第２の面側に配置された第２のピストンブロックと、第１のピストンブロックに設けられた第１の保持手段と、第２のピストンブロックに設けられた第２の保持手段と、第１の保持手段に保持されるフェライトを筒部の中心軸に向けて付勢する第１の付勢手段と、第２の保持手段に保持されるフェライトを筒部の中心軸に向けて付勢する第２の付勢手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板上に滞留した洗浄液を一定方向に流し去ることにより液切り効果を向上させることが可能となる洗浄基板の液切り装置を提供する。
【解決手段】基板３０上に滞留する洗浄液９０を排除する液切りローラー２０は、基板３０を搬送する搬送ローラー４０により洗浄工程を経て搬入されてきた基板３０を、接触して上下から挟み込んで配備され、且つ、基板３０上に滞留する洗浄液９０が一方向に流出するよう、基板３０の進行方向に対し直角を除く任意の角度で設置される。 （もっと読む）

【課題】送信信号の一部が干渉信号として混入した受信信号を受信する際に、より有効に干渉信号を抑圧する装置を提供する。
【解決手段】リピータ装置の送信信号の放射を停止した状態で測定した初期遅延プロファイルと、リピータ装置の送信信号を放射した状態で作成した通常遅延プロファイルとの差分をとって、最終遅延プロファイルを作成する。この最終遅延プロファイルに基づき、干渉信号を抑圧するための抑圧信号を作成し、加算器４で受信信号に加算する。これにより、干渉信号が抑圧された信号を送信させることができる。 （もっと読む）