【課題】ドリル穴を密集して形成する穴明け加工密集領域が存在しても、プリント配線板にねじれや反りを生じさせない。
【解決手段】ドリルデータよりプリント配線板に穿設するドリル穴に関する情報を取得する第１のステップと、上記第１のステップで取得した情報に基づいて、上記ドリルデータが示すドリル穴についてＸ軸方向およびＹ軸方向において隣り合うドリル穴同士が互いに他のグループとなるように２以上の複数のグループに上記ドリルデータのグループ分けを行い、各グループごとに穿設順位を設定した分割ドリルデータを作成する第２のステップと、上記第２のステップで作成した上記分割ドリルデータをグループごとに１つのドリルデータツールに割り振る第３のステップと、上記第３のステップにおいて上記分割ドリルデータを割り振られたドリルデータツールにより、上記穿設順位に従ってプリント配線板にドリル穴を穿設する第４のステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】レドームを取り外すことなく副反射鏡の位置調整を可能とするパラボラアンテナを提供する。
【解決手段】一次放射器２０と副反射鏡１０とが各々の中心軸上で対向し、且つ、一次放射器２０及び主反射鏡３０の反射面がレドームで覆われたパラボラアンテナにおいて、副反射鏡１０を中心軸上で変位させるための変位機構をレドーム４０に設け、レドーム４０の外側から、副反射鏡１０の位置を微調整できるようにした。 （もっと読む）

【課題】微細気泡洗浄方法の洗浄効果をより高め、洗浄液の長寿命化を図り、コンパクトで操作性の良い洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液に被洗浄物を浸漬させる洗浄槽２１と、洗浄液に微細気泡を発生させ被洗浄物を洗浄する洗浄ノズルと、洗浄槽２１の上部の曲面３３にエアを吹き付けるエア吹付け部２６と、エア吹付け部２６のエアにより洗浄液面に浮上した油が追い出させるオーバーフロー槽２７を備える。 （もっと読む）

【課題】実用上十分な計測精度を備えたドップラーソーダーシステムを提供する。
【解決手段】音波を大気中に放射し、大気中に存在する密度の揺らぎの領域から反射された反射波を受信してこの反射波に含まれる周波数成分のドップラーシフト量から所望の高度の風速を検出するドップラーソーダーにおいて、音波を大気中に放射する送波器と、上記送波器により該大気中に放射された音波の反射波を受信する受波器とを有し、上記送波器は、音波として連続正弦波を大気中に放射するようにした。 （もっと読む）

【課題】大型ガラス基板の洗浄後の乾燥工程において、基板の搬送スピードが向上し、メンテナンス性に優れ、生産性の向上を図ることが可能な乾燥装置を提供する。
【解決手段】温水シャワーノズル２２とエアーナイフ２０とを有し、温水シャワーノズル２２から噴出される温水３４と、次にエアーナイフ２０から噴射される圧縮エアーとにより洗浄後のガラス基板３２を乾燥する。さらに温風ノズル２４を有し、温風ノズル２４は、エアーナイフ２０の圧縮エアー噴射に続いて、温風を噴出する。 （もっと読む）

【課題】洗浄品質の優れた被洗浄物の洗浄処理が得られると共に、装置コストおよび洗浄コストを低減した洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置１００は、被洗浄物を洗浄処理する洗浄槽１、洗浄処理に使用された洗浄液Ｒを貯留するサブタンク２、洗浄槽１とサブタンク２とを連通する循環用回収管３および循環用供給管４、サブタンク２をオーバーフローする洗浄液Ｒを外部に移送する移送管７、洗浄槽１に供給装置１０１から洗浄液Ｒを供給する供給管５などを備えた同一構成の４つの洗浄ユニット１０（１０Ａ〜１０Ｄ）が、被洗浄物の移動方向（ＡからＢ方向）の下流側から上流側に向かって（ＣからＤ方向）並列配置されている。そして、サブタンク２内に配設されたオーバーフロー管６によってサブタンク２内に貯留された洗浄液Ｒの液面高さが調節されて、洗浄液Ｒが被洗浄物の移動方向の下流側から上流側（ＣからＤ方向）に向かって移送される。 （もっと読む）

【課題】湿式枚用洗浄装置の最終液切りエアーナイフの液切り効果を高めるため、エアーナイフを上下して被洗浄物に対する気体の風圧を制御する上下動手段を具備した圧力変動エアーナイフを提供することにある。
【解決手段】基板６０の搬入方向Ｄに対し所定の角度θで設置されたエアーナイフ８と、エアーナイフ８から噴射される気体の噴射量を一定にした状態で、エアーナイフ８を上下動させる上下動手段２０と、被洗浄物６０の搬送位置を検出する１つ以上の位置検出センサ４０と、位置検出センサ４０の出力により上下動手段２０を制御する上下動制御手段５０とを有し、エアーナイフ８と被洗浄物６０との対向距離Ｇが、基板６０の搬送位置に応じて制御されることにより、基板面上に噴射される気体の風圧が制御される。 （もっと読む）

【課題】一辺が１ｍを超える大型ガラス基板の加工後の洗浄において、大型ガラス基板の各洗浄、乾燥工程間の搬送経路が短く、広い設置スペースを必要としないコンパクトな構成の大型基板洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】薬液用スプレーノズル３１と、該ノズルの上部に配置され、上方に非接触式洗浄ツールを具備して対向する一対の接触式洗浄ツールを１つ以上３２、３３有し、且つ、１つ以上の上方に非接触式洗浄ツールを具備して対向する一対の接触式洗浄ツール３３の最上部に配置された対向する一対のシャワーノズル３４と、該ノズルの上部に配置された対向する一対のジェットノズル３５とを有する洗浄部３０と、洗浄部３０の上方に配置された対向する一対のエアーナイフ４１を具備する乾燥部４０と、大型基板９０を直立させて保持する基板保持搬送治具５０と、洗浄部３０の下方に配置された投入払出部６０とを有する。 （もっと読む）

【課題】高周波電流の損失を抑え、加熱コイルに大きな高周波電流を給電するときにも装置が大型化することなく、安定して高周波電源の動作および制御を可能にする。
【解決手段】加熱コイルとマッチングトランスと高周波電流を出力する高周波電源とを有する高周波回路を複数配置し、該各高周波回路において生成された高周波電流を該各加熱コイルに同時に給電することにより、該各加熱コイルにより被加熱物を加熱する高周波誘導加熱装置において、隣接して配置された加熱コイルを有する高周波回路のマッチングトランスの１次側において、該高周波回路同士を逆結合させる逆結合トランスを有し、上記逆結合トランスにより、上記隣接して配置された加熱コイルを有する高周波回路間に発生する干渉起電力を相殺するようにした。 （もっと読む）

【課題】安定動作を維持する揺動機構と、搬送機構とを有し、メンテナンスの容易な湿式洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄槽１９と、洗浄槽１９の上部で昇降可能に設けられて中央部が開口して洗浄槽１９が開口した中央部を通過するように洗浄槽１９の周囲に枠状に延在した上下動板１２と、上下動板１２に着脱可能に設けて上下動する推力を伝達する昇降手段１８と、上下動板１２の上部両側に設けられて被洗浄物を搬送する搬送手段１６と、搬送手段１６を駆動させる駆動源１８と、上下動板１２の上部両側の搬送手段１６に載置して搬送する両側の側部と上部とを一体成形した枠体２２と、枠体２２の上部から中央に吊設されて被洗浄物を吊した状態に設置する設置部２４と、設置部２４が洗浄槽１９に浸漬されると設置部２４を揺動させる揺動手段３０とを有し、揺動手段３０は、偏芯カム３２とカムフォロア３５とモーター３７とを具備する。 （もっと読む）