【課題】 半導体チップが集積したウエハーなどに代表される被検査対象物の集合体の外観検査方法およびその方法を用いて検査する外観検査装置に関する。特に、個々の被検査対象物が、ランダムに位置している場合でも外観検査を効率良くおこなうことに関する。
【解決手段】 被検査対象物の集合体として多数個形成された被検査対象物の欠陥を検出する外観検査をおこなうに際し、検査レシピ条件に沿って、照明の種類や角度その他撮像の倍率が変わる回数だけ何回も検査する必要があるが、その各々の被検査対象物の角度が基準となる水平な角度とずれている量を補正データとして格納することによって、次回からの繰り返しの検査においては、当該格納された情報を呼び出し、補正した後に外観検査をおこなうことによって、都度の位置や回転角度の測定作業を回避することにより、外観検査時間を短縮する。 （もっと読む）

【課題】本塗布前の予備試験で消費する塗布液の消費量を軽減し、予備試験にかかる時間を短縮することができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】ステージに対して塗布ユニットを相対的に移動させて、走行速度計測部により計測された走行速度から実走行速度波形を形成し、塗布液ポンプに予め設定されたポンプ駆動指令を与えて塗布ユニットから塗布液を吐出させることにより、圧力計測部により計測された吐出圧力から実吐出圧力波形を形成し、前記実吐出圧力波形からポンプ駆動指令と実吐出圧力との対応関係を示す応答特性を取得し、前記応答特性を用いて、前記実吐出圧力波形が前記実走行速度波形の形状に近似するようにポンプ駆動指令を調節し、近似後の実吐出圧力波形が所定の許容範囲内である場合には、その近似後の実吐出圧力波形に基づくポンプ駆動指令を本ポンプ駆動指令に設定する。 （もっと読む）

【課題】 共振タグの製造方法において、少量多品種の共振タグを効率よく生産する共振タグ製造装置および共振タグ製造方法を提供すること。
【解決手段】 基材の片面にコイルに相当する螺旋状の回路パターンと、コンデンサの一方の電極に相当する電極板を形成し、絶縁体を介して、コンデンサの他方の電極に相当する電極板を形成し、共振回路を形成する共振タグ製造装置であって、電子写真法を用いて、基材の少なくとも一方に、コイルに相当する螺旋状の回路パターンとコンデンサの一方に相当する電極板、もしくは、コンデンサの他方に相当する電極板、を印刷する印刷部を備えた共振タグ製造装置および製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】検査対象の表面特性によるノイズから生じる測定精度の劣化を回避し、求めたい測定値を精度よく安定して測定することができる光学的測定方法及び光学的測定装置を提供する。
【解決手段】
検査対象の表面状態を測定するに際して必要な信号である注目信号とノイズ信号とを分離することにより注目信号のみを抽出する。抽出された注目信号と所定の閾値とを比較することを特徴とし、２次元画像の隣接する画素の光強度信号に順次差分処理を行い、隣接する画素間の差分値に基づいて注目画素の位置を認識することによりノイズ信号を算出し、ノイズ信号を除去することにより注目信号を抽出するアルゴリズムを有する。２次元画像に対し、アルゴリズムをＸＹ平面の異なる複数の方向に独立して適用し、結果から同じ座標に存在する注目画素を共通注目画素として認識し、共通注目画素から求めるべき測定信号を抽出する。 （もっと読む）

【課題】プリプレグの両面の樹脂膜の膜厚をそれぞれの面で制御することができ、プリプレグの内部に気泡が残存せず、生産性のよいプリント配線板用プリプレグの製造方法、及び、プリント配線板用プリプレグ製造装置を提供することを目的とする。
【解決手段】長尺に形成された基材シート３を長手方向に搬送して基材シート３の両面に樹脂液４を連続的に塗工する工程を有するプリント配線板用プリプレグの製造方法において、第１塗工装置１ａの塗工先端部２で押圧をかけて基材シート３を屈曲させた状態で基材シート３の片面を塗工した後、第２塗工装置１ｂの塗工先端部２で押圧をかけて基材シート３を屈曲させた状態で基材シート３の反対面を塗工する。第１塗工装置１ａ及び第２塗工装置１ｂとしては、ダイコーター又はロールコーターを使用することができる。 （もっと読む）

【課題】 多軸ワーク移載装置のテーブルの停止位置決め精度を向上する方法と装置を提供する。また、当該発明によって、移載装置の制御精度を高め、溝加工したテーブルの溝と搬送装置からのワークを搭載したフォークの幅とのはめあい精度を高めチャックピンからなるテーブルに付随の支柱を不要とする。
【解決手段】 ワーク移載用多軸ワーク移載装置において、設定された各移動軸の停止位置にて、停止する位置を設定するセンサが、各停止位置ごとに２個配備された停止位置用フォトセンサを用いる。フォトセンサーは、ライトＯＮ制御とダークＯＮ制御を用い、且つ両制御のＡＮＤ判定処理を含めて位置決めする。当該位置決め技術を溝加工したテーブルの溝幅とフォークの幅の寸法差を制御可能な範囲の最小幅とする精度向上に適用する。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置の基板テーブルを軽量化できるとともに、基板テーブルを平坦形状に調節し、その平面度を維持することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を載置する載置面を有する基板テーブルと、前記基板テーブルの載置面に載置された基板に対し、所定の処理を行なう基板処理部と、前記基板テーブルを支持するテーブル調整支持ユニットとを備え、前記テーブル調整支持ユニットは、前記基板テーブルの載置面が平坦形状になるように前記基板テーブルの平面度を調整する。 （もっと読む）

【課題】 ウエーハ外観検査装置の検査条件データを生成する方法において、複数台の検査装置に対する共通の検査条件データを生成し、機差を考慮した装置毎の検査条件データを短時間で生成できる方法及び検査システムを提供する。
【解決手段】 ウエーハ検査装置の検査条件データを生成する方法であって、同一の検査機能を有する複数台の検査装置の検査条件データが、各検査装置毎に設計値に対する機差を算出し、機差補正データを登録するステップと、選択されたいずれかの検査装置において、ウエーハを用いて検査条件データを作成するステップと、前記検査条件データと、前記選択されたいずれかの検査装置の前記機差補正データと、から共通検査条件データを生成するステップと、前記共通検査条件データと、各検査装置毎の前記機差補正データと、から各検査装置毎の検査条件データを生成するステップからなるウエーハ検査条件生成方法及び検査システム。 （もっと読む）

【課題】 大きな塗布領域に均一にムラなく、色度の仕様に関する要求を満たすカラーフィルターを低コストで実現する塗布装置を提供する。
【解決手段】 インクジェットヘッドが持つ前記の複数のインクジェットノズルを、その配列の長手方向に複数（ｎ）の群に分割し、前記の複数のインクジェットヘッドを、分割したインクジェットノズルの１つの分割単位でそのインクジェットノズルの配列の長手方向に位置をずらしてインクジェットヘッドの長手方向に、少なくともその分割した数（ｎ）＋１以上の列に規則的に配列して前記塗布対象物に塗布材を供給する （もっと読む）

【課題】 複数のバンプを有するチップ部品と回路基板の電極の接合力の測定精度を高め、測定結果から最適な接合条件を求めることができる接合強度測定装置および接合強度測定方法を提供すること。
【解決手段】 チップ部品の回路基板に接合する面と対向する面に、接着材を介して接続されるチップ部品を引き剥がす引き剥がしヘッドと、前記引き剥がしヘッドに、引き剥がし力を付与する引き剥がし力付与手段と、前記引き剥がし力を測定する、引き剥がし力測定手段と、回路基板とチップ部品の平行度を維持したまま、前記引き剥がし力が付与される回路基板を保持する平行度調整機構と、を備えた接合強度測定装置および接合強度測定方法を提供する。 （もっと読む）