【課題】基板に塗布むらが発生するのを抑制でき、また、塗布むらの発生を抑制するための制御が簡単となる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板１２を載せるステージ１４と、基板１２に沿って相対的に移動すると共に当該基板１２に塗布液を吐出するノズル１０と、このノズル１０に塗布液を送り出すポンプ装置と、このポンプ装置が駆動することで当該ポンプ１内の塗布液に生じようとする圧力変動を抑制する動作を当該ポンプ１において行うアクチュエータ７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ヘッド体を装置本体の所定位置に簡単に取り付けることができ、さらに組み立て後に、ヘッド体の取り替え作業が容易となる塗布装置の組み立て方法を提供する。
【解決手段】ヘッド体作製工程では、規定形態のヘッド体を模写して得られたマスタＭを用いて、ヘッド体７を当該マスタＭと同じとなるようにして複数作製する。準備工程では、前記マスタＭを設置部９の正規位置に位置合わせし、位置合わせした当該マスタＭとの相対位置を定めて位置決定部材１１を設置部９に固定する。取り付け工程では、前記マスタＭを設置部９から取り外し、マスタＭに代えて、作製したヘッド体７を、位置決定部材１１に対する前記相対位置の関係を再現して、設置部９に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】洗浄工程を終えた基板から水分の除去を効果的に行って塗布基板を作製することができる塗布装置システムを提供する。
【解決手段】液体洗浄された基板に対して前処理を行う前処理装置と、前処理がされた基板に対して塗布液を塗布する塗布装置本体３とを備えている。前記前処理装置は、液体洗浄された基板に、プラズマによって生成されたラジカルを照射するプラズマ処理機５と、このプラズマ処理機５のヘッド部と基板とを相対的に基板の面方向に沿って移動させる駆動機構６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】インクが正常に吐出されているか否かを検査するための好ましい新たな技術的手段を備えたインクジェット装置を提供する。
【解決手段】装置本体１は、基板Ｗが載置されるステージ３、この基板Ｗにインクを吐出するヘッド４、及び、このヘッド４からインクが正常に吐出されているか否かを検査するために当該ヘッド４からインクを着弾させる帯状フィルム４０を存在させるテスト着弾部７を有している。供給装置１０は、帯状フィルム４０を収蔵すると共に当該帯状フィルム４０をテスト着弾部７に供給することができ、かつ、装置本体１外に設けられている。供給装置１０は、テスト着弾部７に供給する帯状フィルム４０に張力を与える張力付与手段１５を有している。 （もっと読む）

【課題】有機溶剤を含んだ二酸化炭素を超臨界状態の洗浄剤として、この洗浄剤を洗浄チャンバー内に配された被洗浄物に接触させることにより、前記被洗浄物の洗浄を行う洗浄方法及び洗浄装置において、洗浄時間の短縮化を図ること。
【解決手段】界面活性剤と有機溶剤と超臨界状態の二酸化炭素を混合し、混合流体を被洗浄物に接触させて洗浄する洗浄方法において、前記混合を管内混合手段で行い、該管内混合手段の直後に被洗浄物を配置するとともに、前記混合流体においての重量割合は、二酸化炭素に占める有機溶剤の重量割合を２０％以下とし、かつ界面活性剤の重量比率を有機溶剤と略同重量としたことを特徴とする洗浄方法及び洗浄装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】凹部に古い保管液が残るのを防止することが可能となるキャップの洗浄方法を提供する。
【解決手段】インクを吐出するノズル８を下面４ａに有しているインクジェットヘッド４を、凹部３１に溜めている保管液Ｒ１に当該下面４ａを浸漬させて、保管するためのキャップ３０を洗浄する方法である。キャップ３０を蓋部材１１により上から覆った状態とし、洗浄液と空気との内の一方又は双方を、凹部３１の底面３２よりも上から当該底面３２に供給しながら、蓋部材１１と凹部３１との間を吸引し、保管液Ｒ１を底面３２よりも上から吸い出す。 （もっと読む）

【課題】 複数の回路パターンが形成された回路基板の各回路パターンにチップ部品を樹脂を介して仮圧着した後、仮圧着の次の工程で複数チップ部品と回路基板を加圧および加熱してチップ部品を回路基板に本圧着して実装させる実装装置において、チップ部品の厚さにバラツキが生じていても、チップ部品の実装不良が発生しない実装装置および実装方法を提供すること。
【解決手段】 複数の回路パターンが形成された回路基板に、複数のチップ部品を樹脂を介して仮圧着する仮圧着部に、回路パターンにチップ部品を一つずつ実装する加圧ヘッドと、回路基板に仮圧着されたチップ部品の高さを検出する高さ検出手段を備え、仮圧着の次の工程でチップ部品を一括して本圧着を行う、複数のチップ部品の個数を単位として、前記高さ検出手段が検出した高さのバラツキを調べて、前記高さのバラツキに基づいてチップ部品の取り外しを判断するチップリペア判断手段を備える。 （もっと読む）

【課題】短時間で十分な加熱効果及び冷却効果の得られるマイクロリアクタを提供すること。
【解決手段】コイル状に巻回され内部にマイクロ流路（５）が形成されたマイクロチューブ（３２）と、マイクロチューブ（３２）を加熱するシースヒータ（３１）と、マイクロチューブ（３２）及びシースヒータ（３１）に冷却用流体を作用させる冷却部（６）とを備えるマイクロリアクタ（１）において、長尺円柱状且つ細径の細長いシースヒータ（３１）をコイル状に巻回し且つマイクロチューブ（３２）に伝熱可能な位置に設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】インクの着弾位置の検証が容易となる着弾位置検証方法を提供する。
【解決手段】インクジェット装置のノズル６ａからは、実基板Ｗ０に形成されているＢＭ格子１１により区画された多数の画素部１２に、インク９を着弾させることができる。インク９に対して撥液性を有している検証用基板Ｗ１に対して、ノズル６ａからインク９を着弾させる。検証用基板Ｗ１上に着弾させたインク９の画像を基準座標と対応つけて取得すると共に、取得した当該画像に、前記ＢＭ格子１１と同じ形状を有するように作成され前記基準座標と対応付けられている格子形状情報を、前記基準座標を一致させてモニタ２７にオーバーレイ表示する。 （もっと読む）

【課題】単結晶の欠陥の種類の判別を機械的に高い効率で行なうことができる欠陥密度測定方法を提供する。
【解決手段】単結晶の欠陥密度を欠陥の種類毎に測定する方法であって、下記の工程：
単結晶の観察面をエッチングして個々の欠陥にエッチピットを形成する工程、
同一観察視野中の複数のエッチピットについて一括して、個々のエッチピットの最大深さ、平均深さ、深さ曲率を測定する工程、および
個々のエッチピットの最大深さ、平均深さ、深さ曲率の基準値に対する大小関係により各エッチピットの種類を判定する工程を含む欠陥密度測定方法。 （もっと読む）