【課題】ダイコータによる塗布の直前に吐出口を複数の清掃部材で拭取るのは、安定した塗布膜を得るために効果的な方法であるが、ノズルを交換する毎に、清掃部材を取り替えて、個々に吐出口にフィットするように調整するのは、時間がかかっていた。
【解決手段】塗布装置は、支持部材上に支持された清掃部材による清掃ユニットと、前記清掃ユニットを前記拭取り方向に複数個載置可能で、上面に垂直な回転軸を有するθステージと、前記θステージを支持する台座を含む拭取りユニットを有し、前記清掃ユニットの前記支持部材と前記θステージには、高さ調節部材を挟持するための高さ調節面が形成されている清掃手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布装置内の雰囲気をパーティクルで汚染することなく、インクジェット吐出部の熱膨張を抑え、温度分布を均一に保つ塗布装置を提供する。
【解決手段】基板を載置するステージと、インクジェット方式により塗布液を吐出する吐出部３０と、この吐出部を冷却する冷却機構を備え、前記吐出部が、前記ステージ上の基板に対して相対的に移動しつつ前記吐出部のインクジェットヘッド５０から塗布液を吐出することにより基板に塗布膜を形成する装置において、前記冷却機構は、少なくとも冷却水供給装置４１と可撓性チューブ４４とを有し、前記冷却水供給装置から前記塗布ユニットの前記可撓性チューブに冷却水を循環させることによりを前記吐出部冷却することによりパーティクルを発生させずに塗布装置内を冷却することができる。 （もっと読む）

【課題】太陽電池用のセルを、縁部同士が重なるようにして複数枚並べる際に、セルが浮き上がったままの状態となるのを防ぐ。
【解決手段】ステージ１０に載せる対象となる太陽電池用のセル２の一部２１を保持可能でありかつ当該保持を解除可能な保持部１１と、セル２の長手方向を移動方向として保持部１１をステージ１０上で進退移動させる移動手段１２とを備えている。前進させた保持部１１が保持するセル２の前方側の端部２２を、ステージ１０に吸着させてから、当該保持部１１によるセル２の保持を解除した状態で、当該保持部１１を後退させる。保持部１１を後退させる際に、ステージ１０上に吸着していくセル２の上を、押さえ部材１３が通過して、当該押さえ部材１３が、セル２の浮き上がり部をステージ１０側へ押さえる。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルにおける塗布液の漏れを防止する性能を高める。
【解決手段】吐出幅変更手段９は、スリットノズル１０に形成されている幅方向に長い孔１５及びスリット１６に設けられ、幅方向に移動することによりスリット１６からの塗布液の吐出幅Ｄを変更する。吐出幅変更手段９は、孔１５の内壁面１５ａに接触するＯ形の弾性部材４１を有し孔１５を塗布液側とその幅方向外側とに区画するシール本体部１８と、スリット１６内で塗布液が幅方向外側へ流れ出るのを規制すると共に、弾性部材４１よりも硬質であって当該弾性部材４１の外周の一部に端縁部５７が食い込んでいる薄板状のスペーサ１７とを有している。 （もっと読む）

【課題】 表面に粘着材料を有する被搬送部材の粘着部分を把持しても確実に把持を解放できる、把持ハンドを提供する。
【解決手段】 表面に粘着材料を有する被搬送部材を把持するための、把持用ハンドにおいて、
先端部把持用ハンドの本体部には、
先端部被搬送部材の周辺部の上面及び下面を把持するための上爪部及び下爪部と、
先端部上爪部及び先端部下爪部の開閉動作をさせる開閉把持機構と、
先端部被搬送部材の上面又は上端部に当接可能なストッパー部とが備えられており、
先端部ストッパー部は、
先端部開閉把持機構が閉状態にあるときに、先端部ストッパー部側の先端部当接部が
先端部被搬送部材側の先端部当接部よりも上方に配置されていることを特徴とする、把持用ハンド。 （もっと読む）

【課題】全体のコンパクト化が図れるとともに、設置の際にブースを大幅に改造するのを抑えることができる塗布ムラ検査装置を提供する。
【解決手段】ステージ上の基板に光を照射する照射部と、塗布膜により反射された光を受光する受光部とを有し、受光部における受光状態から基板上に形成された塗布膜の塗布ムラを検出する塗布ムラ検査装置であって、前記塗布ムラ検査装置の照射部は、片面側に均一な光を照射する導光板と、この導光板の側面に設けられるＬＥＤ発光部と、を有しており、前記導光板の照射側と反対側には、導光板の一の側面側から吸気し他の側面側から排気することにより照射部から発生する熱を排出する排熱冷却部が設ける構成する。 （もっと読む）

【課題】 基板の保持部が撮像部の撮像領域に写り込まず、基板にキズや汚れを生じさせず、基板の位置ずれを起こすことなく、基板の検査を行うことができる装置及び方法を提供する。
【解決手段】 検査対象となる基板を保持して、一方向に移動させながら検査を行う基板検査装置及び方法であって、
基板移動部は、基板が光源と撮像部の撮像領域を通過するように、基板を保持して移動させる第１の基板移動部と、基板の光源と撮像部との間を通過した部分を保持して移動させる第２の基板移動部とを含んで構成され、
基板又は基板移動部の移動中の位置を検出する基板位置検出部を備え、
検出位置情報に基づいて、基板を第１の基板移動部と第２の基板移動部とで共に保持して移動させながら検査を行うこと特徴とする基板検査装置及び方法 （もっと読む）

【課題】塗布膜に形成されるムラの発生を抑えるとともに、タクトタイムを短縮できる塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】基板１０上に吐出装置３aから塗布液を吐出し、塗布後に塗布基板を乾燥装置５に浮上搬送機構６により搬送する塗布装置１であって、前記浮上搬送機構は振動浮上機構４２を有し、搬送工程において基板上に塗布された塗布膜を前記振動浮上搬送機構により基板に生じる振動により引き起こされるレベリング効果より塗布膜に生じる塗布ムラを解消する。 （もっと読む）

【課題】検査に適切な明るさやコントラストの画像を取得し、膜厚むら検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】表面に皮膜が形成された基板を一方向に移動させながら、基板に形成された皮膜の膜厚むらを検査する装置及び方法であって、皮膜の厚みを検出する膜厚検出部を備え、光源部は、撮像部側に配置された反射照明部３ａと、基板を挟んで撮像部に対向する位置に配置された透過照明部３ｂを備え、撮像部４は基板との相対角度を調節する撮像部角度調整手段を備え、反射照明部は反射照明部と基板との相対角度を調節する反射照明角度調整手段を備え、透過照明部は透過照明部と基板との相対角度を調節する透過照明角度調整手段を備え、膜厚検出部からの膜厚情報に基づき、反射照明角度調節手段及び透過照明角度調整手段を制御し、反射照明の光量及び透過照明の光量を調節する制御部を備えたことを特徴とする膜厚むら検査装置及び方法。 （もっと読む）

【課題】複数のチャンバーを設ける場合であっても、装置のコストを抑えることができる減圧乾燥処理装置を提供する。
【解決手段】複数のチャンバーと、チャンバー内を減圧する真空ポンプユニットと、を備え、チャンバー内を減圧してチャンバー内の基板を乾燥させる減圧乾燥処理装置であって、真空ポンプ部は、チャンバー内を予備的に排気させる予備排気ポンプ部と、チャンバー内を本排気させる本排気ポンプ部と、を有しており、予備排気ポンプ部は、チャンバーそれぞれに対して独立して設けられるとともに、対応するチャンバーにのみ配管で連結されており、本排気ポンプ部は、複数のチャンバーに対して共通して設けられるとともに、共通のチャンバーすべてに対して配管で連結されており、これら共通のチャンバーと本排気ポンプ部とを連結する配管それぞれには、配管を開閉する本排気バルブが設けられる構成とする。 （もっと読む）