【課題】清掃時に塗布器から除去した塗布液が清掃部材を伝わって流出する速度を高めて塗布器への再付着が生じないことと、塗布液や洗浄用の溶剤等が残存せず塗布膜厚異常や塗布膜面の欠点を引き起こさないことが可能な清掃部材を提供する。
【解決手段】互いに対向する第１の面と第２の面を有し、塗布器の一方向に延在する吐出口の吐出口面と、当該吐出口面の両隣接面に接触しながら、当該一方向に摺動して、当該吐出口面と当該両隣接面との清掃に供される清掃部材は、前記第１の面側に設けられた、前記吐出口面と前記両隣接面とに同時に接触する清掃部と、前記清掃部を起点として、前記第２の面側まで延在する複数の流出経路面とを備え、前記流出経路面には、前記第２の面側で切欠き２２０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】不良品の発生を抑制しつつ塗布作業の効率を高める。
【解決手段】シートＷのＸ方向及びＹ方向それぞれに複数並んで形成されている画素部Ｇに対して塗布液を吐出するノズル９が、Ｙ方向に並んで複数設けられている塗布ヘッド７と、シートＷに対して塗布ヘッド７をＸ方向及びＹ方向に移動させる駆動装置１２と、Ｙ方向に並ぶ画素部Ｇに対してノズル９から塗布液を同時に吐出させる単位塗布動作を実行する制御を行う塗布動作制御部１４と、画素部Ｇを撮像するカメラ５を有し画素部Ｇの座標を取得する座標取得部２４と、取得した座標に基づいて、Ｙ方向に並ぶ複数の画素部Ｇのうち、前記単位塗布動作によって正規の位置に塗布液の滴下が可能となる画素部数を算出する演算部１５とを有している。 （もっと読む）

【課題】部材表面に形成された皮膜の膜厚むらを、光の位相特性を認識することができない場合においても適切に検査することが可能な膜厚むらの検査装置を提供する。
【解決手段】表面に皮膜が形成された部材を所定の移動方向に移動させる移動手段と、部材を移動させながら皮膜の外観画像を繰り返し撮像する撮像手段と、外観画像中の一の画素を特定する画素番号と、前記一の画素にて撮像された皮膜部分の皮膜上における位置を特定する位置座標と、上記一の画素における外観画像部分の輝度とからなる多次元データを格納するデータ格納手段と、外観画像が移動方向に分割されてなる一の分割画像領域内の画素に対応する画素番号を有する多次元データを抽出して一の部分集合を形成する部分集合形成手段と、該部分集合に含まれる多次元データの輝度の分布に基づいて皮膜の膜厚むらの有無を検知する膜厚むら検知手段を備えたことを特徴とする膜厚むらの検査装置。 （もっと読む）

【課題】吐出幅の変更が容易でありながら、塗布した塗布液による塗膜の幅方向寸法の変動を抑える。
【解決手段】幅方向に長いスリット１６からなる吐出口１１が形成され塗布液を吐出口１１から基板Ｗに対して吐出して塗布するスリットノズル１０と、このスリットノズル１０に対して基板Ｗを前後方向に移動させる駆動部４と、スリット１１内を幅方向に移動することにより吐出口１１の幅方向寸法を変更する吐出幅変更部材１７と、吐出口１１から吐出された塗布液の幅方向両外側の領域に対してエアを吹き付けるエアノズル２２を有し吐出口１１の幅方向寸法の変更に応じてエアノズル２２によるエアの吹き付け位置の調整が可能であるエア供給ユニット２１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】口金近くに設置された基板上の異物を検知する異物検知装置が気流等の外乱で検知精度が低下することを防止する。
【解決手段】シート状基板と相対的に移動することにより基板を走査し、基板表面に塗布液を吐出する塗布装置において、塗布液の吐出装置の走査方向上流側に配置され、基板上の異物を検知する検知装置を少なくとも有し、前記検知装置はレーザー光を基板表面と平行に照射する投光装置と、前記投光されたレーザー光を受光する受光装置と、少なくとも前記投光領域直下の空気流れを遮蔽する装置を設ける。 （もっと読む）

【課題】積層体の端面に沿って上下向きのバリなどの欠陥部位を精度よく求める。
【解決手段】撮像画像データから積層体の領域を求め、積層体の領域の画像データを利用して最小二乗法により当該領域を矩形近似し、当該矩形と積層体の領域合わせ込み、積層体の領域からフィッティング後の領域の差分をとり、塗布物質の欠陥部位を求めるとともに、芯材の領域の画像データを利用して最小二乗法により当該領域を矩形近似して芯材の領域と合わせ込み、芯材の領域からフィッティング後の矩形領域の差分をとり、芯材の欠陥部位を求める。 （もっと読む）

【課題】積層体の切断端面に沿って上向きおよび下向きのバリなどの欠陥部位を精度よく求める。
【解決手段】積層体の端面を撮影し、取得した画像データから積層体の領域を求め、積層体の領域の画像データを利用して当該領域に近似する矩形を求め、積層体の領域から矩形の領域の差分をとり、余った領域を予め決めた基準値との比較から塗布物質の欠陥部位を求め、取得した画像データから積層体の総厚みよりも薄い芯材の領域を算出し、求めた芯材の領域から予め決めた芯材の厚み分をノイズとみなして除去し、芯材の欠陥部位を求める。 （もっと読む）

【課題】複数の凹部が形成された可撓性を有する基材をより低工数かつ簡単な構成で位置決めして、凹部のそれぞれにインクジェット方式によりインクを塗布できる塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】長手方向Ｘに張力を受けて所定高さＨＲで保持されると共に、短手方向Ｙに位置決めされた基材Ｆが吸着プレート８上に画像表示領域Ｓ単位で供給されて固定され、吸着固定された画像表示領域Ｓの形状の歪みが検出され、検出された画像表示領域Ｓの形状の歪みに基づいて、当該画像表示領域Ｓに配設されている複数の凹部Ｐのそれぞれに対してインクを吐出するノズルを決定するマッピングデータＤｍが作成され、複数のノズル１３が基材Ｆの側部近傍のホームポジションＨＰから短手方向Ｙに移動されながら、当該複数のノズル１３の中の前記マッピングデータＤｍに基づいて選択されたノズルから、画像表示領域Ｓの複数の凹部Ｐのそれぞれにインクが吐出される。 （もっと読む）

【課題】短時間で精度良く全ノズルの吐出状態を検査することのできる吐出状態検査モードを備えた塗布装置および吐出状態検査方法を提供する。
【解決手段】各吐出ノズルからの液滴の吐出状態を検査する吐出状態検査モードを有する塗布装置であって、吐出状態検査モードにおいて、塗布ヘッド１０を検査面３１に対して平行な方向に速度ｖ_１で相対移動させている状態で吐出ノズル１１から検査面３１に向かって液滴を吐出することにより、液滴が検査面３１に対して平行な方向にシフト量ｄだけ移動して検査面３１上に着弾して液滴パターン２１を形成し、画像認識カメラが取得したこの液滴パターン２１の画像から液滴の位置を確認することにより、シフト量ｄを求め、このシフト量ｄをもとに液滴の吐出速度ｖ_２を算出し、これらシフト量ｄおよび吐出速度ｖ_２基づいて液滴の吐出状態を検査することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ピラーバンプなどの微細な半田バンプが形成されたチップを基板に熱圧着する実装方法において、ピラーバンプが基板の電極に良好に熱圧着されかどうかを判定することができる実装方法および実装装置を提供すること。
【解決手段】 チップを熱圧着ツールで保持して基板側に下降させる工程と、チップのピラーバンプが基板の電極に接触した後、チップを保持する熱圧着ツールの温度を半田溶融温度に昇温する工程と、予め設定されている押し込み量だけ、チップを基板側に押し込み、押し込みが完了した際の、基板の電極からの反力を測定する第１の反力測定工程と、ピラーバンプに設けられた半田溶融した際の基板の電極からの反力を測定する第２の反力測定工程と、前記第１の反力測定工程の測定結果と、前記第２の反力測定工程の測定結果から、溶融したピラーバンプと電極の位置合わせの良否を判定する反力判定工程と、を有する実装方法および実装装置を提供する。 （もっと読む）