説明

東レエンジニアリング株式会社により出願された特許

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【課題】基板搬送路が一方向に連続的に延びる場合であっても、口金部を容易に交換することができる塗布装置を提供する。
【解決手段】一方向に延びる基板搬送路と、基板搬送路に基板を対面させた状態で基板搬送路の延びる方向に沿って基板を搬送する基板搬送部と、口金部が基板搬送路に対向した状態で固定して設置された塗布ユニットと、を備えた塗布装置であって、前記口金部を載置するものであり、塗布ユニットに取付けられた口金部と対向する口金受取位置と、前記口金部を交換する口金交換位置とに移動可能な口金移載ユニットをさらに備え、前記基板搬送路は、作業スペース形成部を有しており、この作業スペース形成部により、基板搬送路の一部が除去されて前記口金部を交換するための作業スペースが形成され、前記口金交換位置は、前記作業スペース形成部で口金部の交換作業が可能な範囲に設定されている構成とする。 (もっと読む)


【課題】 発光ダイオードを多数配列した面照明を使用した場合であっても、LEDの全点灯までの時間遅れの影響を受けることなく、検査時の照明光量を一定に保ちつつ、短時間で検査を行うことができる、膜厚むらの検出装置並びに当該装置を具備した塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板上に形成された皮膜の膜厚むらを検出する装置で、
基板保持部と、光源部と、撮像部と、制御部と、検査部とを備え、
光源部は複数の発光ダイオードを配置して構成された面照明であり、
制御部は、発光指令信号を出力してから複数の発光ダイオードが全点灯状態になるまでの点灯遅れ時間を登録する点灯遅れ時間登録部と、発光指令信号を入力してから登録された点灯遅れ時間経過後に、撮像部に対して撮像指令信号の出力を行う撮像ディレイタイマ部とを備えたことを特徴とする、膜厚むら検出装置。 (もっと読む)


【課題】 撮像カメラの処理能力に制約を受けることなく、検査時間を短縮することができる自動外観検査装置を提供する。
【解決手段】 テーブル部、走査ステージ部、ストロボ照明部、鏡筒部、撮像部並びに、予め登録しておいた検査条件に基づいて、撮像された検査対象物の画像の良否判断をする検査部とを備え、
走査ステージ部には、テーブルの現在位置を計測する位置計測手段が備えられており、
鏡筒部には、観察光を一部透過させると共に、角度を変えて一部反射させる、
光分岐手段が備えられており、
鏡筒部には、光分岐手段で分岐された光を各々撮像することができるように、撮像部が複数取り付けられており、
制御部は、ストロボ発光させる毎に、撮像に用いる撮像部を逐次変えて撮像を行う機能を備えていることを特徴とする、自動外観検査装置。 (もっと読む)


【課題】高輝度化、薄型化を可能にするとともに、高い生産性をもって製造可能であり、かつ、他の光学部材を組み合わせてバックライトユニットを構成する際に、他の光学部材の機能を併せもつことにより、全体としての光学部材の使用量を低減して、低コスト化を実現可能な導光板、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】内部で導光させるとともに、第1の主面で光路変換して他方の第2の主面から面状の光として出射する樹脂製導光板であって、第1の主面を形成する基材層と、該基材層の屈折率よりも低い屈折率を有し第2の主面を形成する出射層との積層構造を有し、基材層は、層内で導光させるとともに、第1の主面上に、層内を導光されてきた光の光路を変換する第1の微細構造パターンが形成されており、出射層は、第2の主面上に、第1の微細構造パターンにより光路変換された光を第2の主面から出射させるための第2の微細構造パターンが形成されていることを特徴とする導光板、およびその製造方法。 (もっと読む)


【課題】基板の搬送にともなう浮上環境の変化に速やかに応答し、基板を一定の浮上高さで搬送することができる浮上搬送装置を提供する。
【解決手段】噴出口11と吸引口12とが基板Wの搬送される方向に複数個ずつ配列された表面を有する浮上ステージ10と、吸引力供給手段30と、吸引力供給手段30と連通する主配管13と、主配管13と連通し、それぞれの吸引口12と連通する分岐配管15と、主配管13の途中に設けられた差圧ダンパ20と、を備える浮上搬送装置であり、差圧ダンパ20は、主配管13内と外気とを連通する経路であるマニホールド21および当該経路を遮断する弁22を有し、弁22は、主配管13内と外気との差圧が弁22に及ぼす外力によって開閉する動作をとり、差圧の変化に応じて弁22が動作して開度が変化することにより、所定の差圧を保持することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】検査対象物が大きくなっても、同じ撮像条件で得られた画像情報に基づいて膜厚むらの検査ができ、微妙な膜厚むらに対しても精度の高い検査ができる装置を提供する。
【解決手段】表面に皮膜が形成された検査対象物10の、皮膜形成面の少なくとも一部を撮像し、得られた画像情報に基づいて検査対象物上の皮膜の膜厚むらを検査する膜厚むら検査装置であって、検査対象物又は撮像部4の少なくとも一方を移動させる移動部2と、移動中に撮像部で撮像された所定範囲の画像を移動位置毎に移動位置情報を付加して登録する画像登録部と、移動位置情報が付加された所定範囲の画像を移動位置の順に並べ全体画像として合成する画像合成部と、合成された全体画像の画像情報に基づいて検査対象物の色むらを検出する色むら検出部とを具備し、撮像部で撮像された画像の所定範囲は、撮像部に対して同じ角度で観察された範囲であることを特徴とする膜厚むら検査装置。 (もっと読む)


【課題】太陽電池セルに損傷を与えることなく、太陽電池セルをステージ上に搬送し配列することができる太陽電池モジュールの製造装置を提供する。
【解決手段】 太陽電池セルを載置するステージと、
前記太陽電池セルを搬送し、前記ステージ上に載置するベルトコンベアユニットと、を備える太陽電池モジュールの製造装置であって、前記ベルトコンベアユニットは、ステージ上で進退移動可能なセル保持部と、固定プーリーと、この固定プーリーに対して接離する方向に移動可能な可動プーリーと、これら固定プーリーと可動プーリーとに架け渡されるエンドレスベルトの余長を調節する余長調節部とを有しており、前記可動プーリーが前進移動及び後退移動する場合に、エンドレスベルトの走行を一方向のみに規制するベルト走行規制機構をさらに備える構成とする。 (もっと読む)


【課題】予め規定した線幅や繰り返しピッチの精度を維持して、所定パターン加工をすることができる装置及び方法を提供する。
【解決手段】シート材10を搬送するシート材搬送部2と、シート材10を保持する保持部24と、レーザを照射するレーザ照射部35と、レーザ照射部35をシート材の搬送方向及び幅方向に相対移動させるレーザ照射位置変更部31,33と、どの場所にレーザを照射するかを登録する加工パターン登録部と、登録された加工パターンに基づいて照射位置の変更を行いながらレーザを照射する制御部とを備え、基準マーク観察部と、基準マーク間隔計測部5とを更に備え、制御部は、基準マークの位置及びマーク間の寸法と、登録された所定パターン情報に基づいて、レーザ照射位置変更部31,33の相対移動位置を逐次補正変更しながら、レーザを照射する装置及び方法。 (もっと読む)


【課題】多層構造のマイクロニードルにおいて気泡の巻き込みを抑制できるマイクロニードルシートおよびその製造方法、ならびにマイクロニードルシート用のスタンパを提供する。
【解決手段】シート状の母材の表面から裏面に向かって先細りに延在する複数の錐体状の凹部を有するマイクロニードルシート用のスタンパにおいて、それぞれの凹部の内周面は、錐体の先端側に配置された第1部分と、錐体の一部を形成しかつ第1部分に連続する第2部分とを備え、第1部分における錐体の対向する内側面のなす角度よりも、第2部分の内側面が大きな角度を有するマイクロニードルシート用のスタンパに対して、第1部分内に第1ニードル原料が充填された凹部内に、スキージを用いて第2ニードル原料を充填する。 (もっと読む)


【課題】使用環境の温度変化の影響を抑え、位置決め対象の正確な位置制御が可能なスケール装置を提供する。
【解決手段】一方向に目盛りが配列されたスケール11と、スケール11を取付けるベース部14と、スケール11の目盛りを読み取る読取ヘッド12と、を備えるスケール装置10であり、スケール11は、目盛りが付された方向である目盛り方向の一端においてベース部14に固定される固定部15と、反対側の端部において直動ガイド13を介してベース部14に取付けられるガイド取付け部18とでベース部14に取付けられており、直動ガイド13が動く方向と目盛り方向とが同一であることを特徴とする。 (もっと読む)


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