【課題】部品点数が少なく、薄型化が簡単で、回路構成が簡単で、各々異なる再生帯域の音声を再生可能な複数のスピーカー部を有するスピーカーを提供することを課題とする。
【解決手段】スピーカー１は、エラストマー製または樹脂製の誘電層２０と、誘電層２０の表裏両面に配置される複数の電極層２１、２２と、を有する振動部２と、表側または裏側から見て、誘電層２０の表面の電極層２１と、誘電層２０と、誘電層２０の裏面の電極層２１と、が重複する部分に配置され、各々、音声の再生帯域が異なる複数のスピーカー部３、４、５と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】無指向性であって、各々異なる再生帯域の音声を再生可能な複数のスピーカー部を有するスピーカーを提供することを課題とする。また、スピーカーの有するスピーカー部の再生帯域を、簡単に調整することが可能な再生帯域調整方法を提供することを課題とする。
【解決手段】スピーカー１は、各々、音声の再生帯域が異なる複数のスピーカー部２、３を備える。スピーカー部２は、エラストマー製または樹脂製の誘電層２００と、誘電層２００の内周面および外周面に配置される複数の電極層２０１、２０２と、を有する筒状の振動部２０を有する。スピーカー部３は、エラストマー製または樹脂製の誘電層３００と、誘電層３００の内周面および外周面に配置される複数の電極層３０１、３０２と、を有する筒状の振動部３０を有する。 （もっと読む）

【課題】 横方向の振動に加えて縦方向の振動であっても良好に吸収し、地震等による縦揺れも吸収できる免震機能を備えた電子機器収納用ラックを提供する。
【解決手段】 免震部材を、コイルバネ４と３軸方向の振動を吸収するオイルダンパー５とで構成し、内側枠体３の上下端部と外側枠体２の間にコイルバネ４を縦方向に伸縮するよう配置し、内側枠体３を上下方向からコイルバネ４を介して外側枠体２に保持させる一方、外側枠体２の左側部と内側枠体３の左側部との間、及び外側枠体２の右側部と内側枠体３の右側部との間にオイルダンパー５を配置し、オイルダンパー５を介して側部同士を連結した。 （もっと読む）

【課題】 一つの低圧チャンバー内で、基材の表面の改質と該表面への成膜とを連続して行うことができるプラズマ改質成膜装置を提供する。
【解決手段】 プラズマ改質成膜装置１は、チャンバー１０と、基材Ｆを搬送する搬送手段２０、２００、２０１と、基材Ｆの表面を改質するＥＣＲプラズマ生成装置３と、基材Ｆの該表面に薄膜を形成する成膜装置６と、を備える。ＥＣＲプラズマ生成装置３は、マイクロ波を伝送する矩形導波管３１と、該マイクロ波が通過するスロット３２０を有するスロットアンテナ３２と、スロット３２０を覆うように配置され、プラズマ生成領域側の表面３３０はスロット３２０から入射する該マイクロ波の入射方向に平行である誘電体部３３と、誘電体部３３の裏面に配置される支持板３４と、支持板３４の裏面に配置される永久磁石３５と、を備え、ＥＣＲプラズマＰ１を生成する。 （もっと読む）

【課題】処理対象物の処理対象面の形状によらず、所定の改質処理を施しやすいマイクロ波プラズマ処理装置を提供することを課題とする。
【解決手段】マイクロ波プラズマ処理装置１は、内筒部３０と、外筒部３１と、内筒部３０と外筒部３１との間に配置される導波通路３３と、導波通路３３に連通し軸直方向幅が導波通路３３よりも狭いスリット３６と、プラズマ生成用ガスをスリット３６に供給するガス供給部３５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 酸素、水蒸気およびアウトガスを透過しにくいガスバリア性に優れたフィルム部材、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 フィルム部材は、樹脂フィルムからなる基材と、該基材の表裏少なくとも一方側に配置される酸窒化アルミニウム（ＡｌＯＮ）膜と、を有し、該酸窒化アルミニウム膜の組成は、Ａｌ：３９〜５５ａｔ％、Ｏ：７〜６０ａｔ％、Ｎ：１〜５０ａｔ％である。当該フィルム部材の製造方法は、スパッタ成膜装置１のチャンバー８内に、基材２０をアルミニウム製のターゲット３０に対向するように配置し、チャンバー８内を所定の真空度に保持する減圧工程と、チャンバー８内に、窒素を含む原料ガスとキャリアガスとを導入し、所定の真空度で、チャンバー８内の窒素ガス圧に対する酸素ガス圧の比率が２０％以下の雰囲気において、基材２０の成膜面に酸窒化アルミニウム膜を形成する成膜工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】低圧下で高密度のプラズマを生成可能なＥＣＲプラズマ生成装置、および表面の凹凸が小さい薄膜を形成可能なマグネトロンスパッタ成膜装置を提供する。
【解決手段】ＥＣＲプラズマ生成装置４は、マイクロ波を伝送する矩形導波管４１と、該マイクロ波が通過するスロットを有するスロットアンテナ４２と、スロットを覆うように配置され、プラズマ生成領域側の表面はスロットから入射する該マイクロ波の入射方向に平行である誘電体部４３と、誘電体部４３の裏面に配置される支持板４４と、支持板４４の裏面に配置される永久磁石４５と、を備え、ＥＣＲプラズマＰ１を生成する。マグネトロンスパッタ成膜装置１は、ＥＣＲプラズマ生成装置４を備え、基材２０とターゲット３０との間にＥＣＲプラズマＰ１を照射しながら、マグネトロンプラズマＰ２による成膜を行う。 （もっと読む）

【課題】周波数の異なる振動に対してそれぞれ有効な制振効果が発揮されると共に、外部からの振動入力によるヨーク部材のコイル部材に対する相対変位量の増大を防止しつつ、電磁式アクチュエータにおけるマス−バネ共振系の共振周波数をより低周波数にチューニングすることが可能とされた、新規な構造の能動型制振器を提供すること。
【解決手段】ヨーク部材３６，３８を制振対象部材に対して弾性的に連結する追加ばね５４を、支持ばね５１とは独立して設けると共に、ヨーク部材３６，３８と制振対象部材の何れか一方に対する追加ばね５４の接続状態と解除状態を切り替える切替手段５６を設けた。 （もっと読む）

【課題】 耐絶縁破壊性が高い誘電層を用い、かつ大きな静電引力を発生させることにより、大きな力を出力することができるトランスデューサを提供する。
【解決手段】 トランスデューサ１は、エラストマーを含み体積抵抗率が１０^１２Ω・ｃｍ以上の高抵抗誘電層１０と、高抵抗誘電層１０の表裏両側に配置される一対の電極１３、１４と、高抵抗誘電層１０の表裏少なくとも一方において、電極１３と高抵抗誘電層１０との間に介装されるイオン固定層１１と、を備える。イオン固定層１１は、エラストマー１１０と、金属酸化物粒子に第一イオン成分が固定化されてなるイオン固定粒子１１１と、該第一イオン成分と反対の電荷を持つ第二イオン成分１１２と、を有し、イオン固定粒子１１１はエラストマー１１０に化学結合されており、該第一イオン成分の電荷は隣接する電極１３の極性と同じである。 （もっと読む）